机译:网格增强等离子体源离子注入中的双重温度和密度现象,用于管子的内表面改性
PSH; grid; inner surface; TiN;
机译:网格增强等离子体源离子注入中的双重温度和密度现象,用于管子的内表面改性
机译:网格增强等离子体源离子注入中的双重温度和密度现象用于管子的内表面改性
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