...
机译:放电室几何形状对低压射频电容放电的点火的影响
A-SI-H; OPTICAL-EMISSION SPECTROSCOPY; FREQUENCY GLOW-DISCHARGES; RADIOFREQUENCY DISCHARGES; MASS-SPECTROMETRY; PLASMA PARAMETERS; NEGATIVE-IONS; BREAKDOWN; RADICALS; DEPOSITION;
机译:放电室几何形状对低压射频电容放电的点火的影响
机译:接地电极尺寸对氩气中低压射频电容放电的点火电压的影响
机译:接地电极尺寸对氩气中低压射频电容放电的点火电压的影响
机译:放电室几何形状对低压射频电容放电点火的影响
机译:低压电容性射频中的护套加热会放电。
机译:使用极不对称电容性射频放电的六甲基二硅氧烷涂料的PECVD
机译:放电室几何形状对低压射频电容放电的点火的影响
机译:高压电容放电引起的燃油点火