利用PCVD工艺制备多层梯度复合膜

摘要

采用ＰＣＶＤ工艺在高速钢和硬质合金基体上制备Ｔｉ（Ｃ．Ｎ）多层梯度复合膜，测试膜的显微硬度，结合强度及断口形貌，进行Ｘ射线衍射分析及Ｘ光电子谱分析。