【24h】用于半米长的X射线镜的微针迹干涉仪和相对角度可确定的针迹干涉仪

【摘要】已经为半米长的X射线反射镜开发了具有纳米级精度的表面轮廓仪系统。该系统基于微缝线干涉仪（MSI）和相对角度可确定的缝线干涉仪（RADS1）。使用弹性铰链和线性致动器，我们分别为半米长的X射线镜设计了MSI和RADS1的5轴和6轴位移台。使用长度为0.5 m的测试镜来测量所提出系统的高度精度（1.4 nm，单位为rms）和横向分辨率（36μm）。

【期刊名称】

【会议名称】 Advances in Metrology for X-Ray and EUV Optics II; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6704

【会议地点】San DiegoCA(US)

【作者】Haruhiko Ohashi；Takashi Tsumufa；Hiromi Okada；Hidekazu Mimura；Tatsuhiko Masunaga；Yasunori Senba；Shunji Goto；Kazuto Yamauchi；Tetsuya Ishikawa；

【作者单位】Light source Optics Division, Japan Synchrotron Radiation Institute (JASRI/SPring-8), 1-1-1 Koto Sayo, Hyogo, Japan 678-5198; JTEC Corporation, 5-5-2 Minatojima-minami, Kobe, Hyogo, Japan 650-0047; Graduate School .of Engineering, Osaka University, 2-1;

【授予单位】

【学科】

【学位】

【授予单位】Light source Optics Division, Japan Synchrotron Radiation Institute (JASRI/SPring-8), 1-1-1 Koto Sayo, Hyogo, Japan 678-5198;JTEC Corporation, 5-5-2 Minatojima-minami, Kobe, Hyogo, Japan 650-0047;Graduate School .of Engineering, Osaka University, 2-1;

【学科】

【授予学位】

【导师姓名】

【发表时间】

【会议组织】

【会议召开年】2007

【年(卷),期】2007(),

【年度】2007

【页码】P.4.1-4.8

【总页数】8

【原文格式】PDF

【正文语种】eng

【中图分类】TH741;

【关键词】X射线;同步辐射;镜;拼接干涉仪；