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【摘要】为了测量非对称和非球面轮廓，已经开发了一种新的超精密轮廓仪。在本研究中，表面上每个点的法向矢量是由反射光束完全返回与入射光束相同的路径确定的。根据法线矢量计算每个点的表面梯度，并通过积分梯度获得表面轮廓。测量仪器是根据上述测量方法原理设计的。在设计中，将四个超高精度测角仪用于光轴的调整，以进行法向矢量测量。在测量仪器中，每个测角仪的角度定位分辨率和精度分别为1.8×l0〜（-8）rad和2×l0〜（-7）rad。已经开发出具有离轴抛物面镜的同轴，以用作光学腔。最重要的工程技术是测量亚纳米级反射表面的轮廓。目前的测量仪器正在评估，以具有用于这种抛物线镜轮廓测量的纳米表面测量精度的能力。抛光了焦距为150 mm的同轴离轴抛物面反射镜。镜子的外径和内径分别为360毫米和258毫米。同轴方向的厚度是50mm。焦点位于反射镜的同轴中心和同轴方向的中心。已经证明了这种反射镜的轮廓测量。特别地，讨论了用于从测量数据中提高测量位置精度的自校准方法。
【作者】Y.Higshi；K.Endo；T.Kume；K.Enmi；J. Uhikoshi K. Ueno；Y.Mori；
【作者单位】Applied Research Laboratory, High Energy Accelerator Research Organization, Oho 1 - 1, Tsukuba, Ibaraki, 305-0801, Japan; Research Center for Ultra-Precision Science Technology,Graduate School of Engineering, Osaka University, Yamada-oka 2-1, Suita, O;
【年(卷),期】2007(),
【年度】2007
【页码】P.12.1-12.8
【总页数】8
【原文格式】PDF
【正文语种】eng
【中图分类】TH741;
