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【摘要】长痕迹轮廓仪（LTP）已在全球许多同步加速器辐射实验室中使用了十多年，用于测量长掠入射X射线镜的表面斜率轮廓。另一方面，大多数镜子制造商都在使用Fizeau型的相位测量干涉仪（PMls）来完成相同的任务。但是，尺寸超过菲索（Fizeau）干涉仪孔径的大镜子需要在掠入射时进行测量，而非球面光学器件则需要使用空透镜。 LTP可直接测量ID斜率轮廓，而PMI可测量区域高度轮廓，可通过微分算法从中获得斜率。我们发现这两种仪器的测量值非常吻合，但是据我们所知，尚无已发表的文章直接比较这两种仪器。本文记录了该比较。我们用在高级光子源（II型LTP）和Fizeau型PMI干涉仪（Wyko 6000型）上运行的LTP测量了两个不同的名义上的平面镜。一个镜子长500毫米，由Zerodur制成，另一个镜子长350毫米，由硅制成。这些仪器的斜度误差结果在中等质量的Zerodur反射镜（标称斜度误差为3 uradμrms）的近100％范围内（LTP为3.11±0.15 urad，Fizeau PMI干涉仪为3.11±0.02 urad）。使用质量更高的硅镜观察到了显着差异。对于Si镜，LTP测量的斜率误差数据为0.39±0.08μrad，而PMI干涉仪测量的斜率误差数据为0.35±0.01μrad。标准偏差表明，Fizeau PMI干涉仪具有更好的测量重复性。
【作者】Jun Qian；Lahsen Assoufid；Albert Macrer；
【作者单位】Advanced Photon Source, Argonne National Laboratory, Argonne, IL 60439;
【年(卷),期】2007(),
【年度】2007
【页码】P.11.1-11.7
【总页数】7
【原文格式】PDF
【正文语种】eng
【中图分类】TH741;
