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【24h】21世纪国际COE“原子制造技术”研讨会

【摘要】2003年,我们在大阪大学的研究小组被选为日本教育,文化,体育,科学和技术部支持的“ 21世纪COE计划”之一。我们成立了“原子制造技术中心”,以促进表面创建系统的发展,以实现纳米级的精度。我在这里介绍“原子制造技术”和我们的21世纪COE计划。经常以原子级精度实现特定类型的光学或电子设备是在21世纪基础科学和先进工业中取得突破的关键因素。这样的光学装置的示例是用于X射线自由电子激光器,硬X射线显微镜和极紫外光刻的超精密反射镜。下一代绝缘体上硅器件和宽带隙半导体SiC或GaN器件是电子器件的示例。即使扩展了传统的制造技术并根据经验使其变得复杂,也无法通过扩展传统的制造技术来制造这些极其精确的“产品”。为了制造开拓领域所需的新设备,有必要在科学本身的基础上开发制造技术的新概念,我们称之为“原子制造技术”。

【作者】Katsuyoshi Endo;

【作者单位】21st Century COE Program 'Atomistic Fabrication Technology', Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita 565-0871, Japan;

【年(卷),期】2007(8),3

【年度】2007

【页码】p.135-136

【总页数】2

【原文格式】PDF

【正文语种】eng

【中图分类】TB3;

【关键词】

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