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21st Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, Mar 11-13, 2002, Santa Clara, CA
21st Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, Mar 11-13, 2002, Santa Clara, CA
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1.
Statistical Quantification of Uncertainty Associated with Single Element Reference Materials
机译:
单元素参考物质不确定性的统计量化
作者:
Nimi Kocherlakota
;
Ralph H. Obenauf
会议名称:
《21st Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, Mar 11-13, 2002, Santa Clara, CA》
|
2002年
2.
Ultrapure Water Production for Semiconductor Industries from Reclaimed Sewage
机译:
再生污水为半导体行业生产超纯水
作者:
Bala Viswanath
;
Kiran Kekre
;
GuiHe Tao
;
Karen Ng
;
Harry Seah
会议名称:
《21st Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, Mar 11-13, 2002, Santa Clara, CA》
|
2002年
3.
Quantification Method of Trace Amines in Cleanroom Atmosphere by Capillary Electrophoresis-Mass Spectrometry Following Filter Sampling
机译:
过滤采样后毛细管电泳-质谱法测定洁净室大气中的痕量胺
作者:
Reiko IIKAWA
;
Kana MOMOJI
;
Kikuo TAKEDA
;
Makoto IMAI
;
Taketoshi FUJIMOTO
会议名称:
《21st Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, Mar 11-13, 2002, Santa Clara, CA》
|
2002年
4.
Native Oxide Growth on Wafer Surface During Final Rinse
机译:
最终冲洗过程中晶片表面上的原生氧化物生长
作者:
Fuhe Li
;
Marjorie K. Balazs
会议名称:
《21st Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, Mar 11-13, 2002, Santa Clara, CA》
|
2002年
5.
Fundamental Cleaning Mechanisms in Post-CMP Cleaning of Thermal Oxide Wafers
机译:
CMP后热氧化物晶片的基本清洁机理
作者:
Ahmed Busnaina
;
Naim Moumen
;
Hong Lin
;
Kenneth Macavy
;
Clifford O. Morgan
;
Michael J. Macdonald
;
George Ouimet
会议名称:
《21st Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, Mar 11-13, 2002, Santa Clara, CA》
|
2002年
6.
Improved Technology for Dissolved Oxygen Measurement
机译:
溶解氧测量的改进技术
作者:
David M. Gray
会议名称:
《21st Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, Mar 11-13, 2002, Santa Clara, CA》
|
2002年
7.
Interactions Between Particles and Solid Surfaces
机译:
粒子与固体表面之间的相互作用
作者:
Sheng-Bai Zhu
会议名称:
《21st Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, Mar 11-13, 2002, Santa Clara, CA》
|
2002年
8.
Metallic Contamination Removal and Addition in Modified SC-1 Solutions
机译:
改进的SC-1解决方案中的金属污染去除和添加
作者:
Christopher Beaudry
;
Jennifer Baker
;
Steven Verhaverbeke
会议名称:
《21st Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, Mar 11-13, 2002, Santa Clara, CA》
|
2002年
9.
Membrane Filtration of Copper CMP Slurry
机译:
铜CMP浆液的膜过滤
作者:
Holly Linkowich
;
Thomas B. Gutowski
;
Anthony Shucosky
会议名称:
《21st Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, Mar 11-13, 2002, Santa Clara, CA》
|
2002年
10.
Post CMP Cleaning for STI Ceria Slurries
机译:
STI Ceria浆料的CMP后清洁
作者:
Robert Small
;
Brandon Scott
会议名称:
《21st Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, Mar 11-13, 2002, Santa Clara, CA》
|
2002年
11.
A New Innovation in Coatings
机译:
涂料的新创新
作者:
George Fisher
;
Fisher Moore
会议名称:
《21st Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, Mar 11-13, 2002, Santa Clara, CA》
|
2002年
12.
Metals Contamination from Fluoropolymer Filters Used for Semiconductor Process Chemical Filtration
机译:
含氟聚合物过滤器中的金属污染,用于半导体工艺化学过滤
作者:
Thomas Gutowski
;
Anthony Shucosky
会议名称:
《21st Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, Mar 11-13, 2002, Santa Clara, CA》
|
2002年
13.
Undetectable TOC in UPW Can Influence DUV Photolithography Processes
机译:
UPW中不可检测的TOC可能影响DUV光刻工艺
作者:
John Rydzewski
;
Richard Godec
会议名称:
《21st Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, Mar 11-13, 2002, Santa Clara, CA》
|
2002年
14.
Surfactant Selection for a Modified SC-1 Only Clean
机译:
仅改性SC-1清洁剂的表面活性剂选择
作者:
Jennifer Baker
;
Christopher Beaudry
;
Steven Verhaverbeke
会议名称:
《21st Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, Mar 11-13, 2002, Santa Clara, CA》
|
2002年
15.
An Optimal Way to Sterilize Carbon Beds
机译:
碳床灭菌的最佳方法
作者:
Otto Chan
会议名称:
《21st Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, Mar 11-13, 2002, Santa Clara, CA》
|
2002年
16.
Impedance Spectroscopic Quantitation of Anions and Transition Metals in IC Wafer Cleaning Water
机译:
硅晶片清洗水中阴离子和过渡金属的阻抗谱定量
作者:
Melvin Keith Carter
;
Robert Small
会议名称:
《21st Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, Mar 11-13, 2002, Santa Clara, CA》
|
2002年
17.
How Low Can Impurities in Pure Water be Determined by ICP-MS
机译:
ICP-MS如何测定纯净水中的杂质
作者:
Katsu Kawabata
;
Yoko Kishi
会议名称:
《21st Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, Mar 11-13, 2002, Santa Clara, CA》
|
2002年
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