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Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529
Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529
召开年:
2005
召开地:
Pittsburgh,PA(US)
出版时间:
-
会议文集:
-
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1.
Challenges in Large-Area Multi-Wafer SiC Epitaxy for Production Needs
机译:
大面积多晶片SiC外延对生产需求的挑战
作者:
Bernd Thomas
;
Christian Hecht
;
Rene Stein
;
Peter Friedrichs
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
epitaxial layers;
hot-wall CVD;
multi-wafer CVD;
planetary reactor;
2.
Investigation of in-grown dislocations in 4H-SiC epitaxial layers
机译:
4H-SiC外延层内向位错生长的研究
作者:
K. Kojima
;
T. Kato
;
S. Kuroda
;
H. Okumura
;
K. Arai
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
4H-SiC;
homoepitaxial growth;
dislocation;
propagation;
conversion;
surface damage;
in-situ H_2 etching;
3.
4H-SiC Epitaxial Growth on Carbon-Face Substrates with Reduced Surface Roughness
机译:
具有降低的表面粗糙度的碳面衬底上的4H-SiC外延生长
作者:
T. Aigo
;
M. Sawamura
;
T. Fujimoto
;
M. Katsuno
;
H. Yashiro
;
H. Tsuge
;
M. Nakabayashi
;
T. Hoshino
;
N. Ohtani
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
4H-SiC;
carbon-face;
epitaxial growth;
surface morphology;
AFM;
residual donor concentration;
4.
Investigation of the mechanism and growth kinetics of homoepitaxial 4H-SiC growth using CH_3Cl carbon precursor
机译:
CH_3Cl碳前驱体生长同质外延4H-SiC的机理和生长动力学研究
作者:
Huang-De Lin
;
J. L. Wyatt
;
Y. Koshka
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
epitaxial growth;
chemical vapor deposition;
chlorine;
halo-carbon precursors;
kinetics;
5.
Homoepitaxial Growth of 4H-SiC Using a Chlorosilane Silicon Precursor
机译:
使用氯硅烷硅前体的同质外延生长4H-SiC
作者:
M.F. MacMillan
;
M. J. Loboda
;
G. Chung
;
E. Carlson
;
J. Wan
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
SiC epitaxy;
chlorosilane;
hot wall CVD;
6.
Investigation of Structural Stability in 4H-SiC Structures with Heavy Ion Implanted Interface
机译:
重离子注入界面的4H-SiC结构的结构稳定性研究
作者:
A. Galeckas
;
A. Hallen
;
A. Schoener
;
J. Linnros
;
P. Pirouz
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
stacking faults;
luminescence;
imaging spectroscopy;
antimony;
implantation;
defects;
7.
3-Dimensional Non-Destructive Dislocation Analyses in SiC Measured by Planar Electron-Beam-Induced Current Method
机译:
平面电子束感应电流法测量SiC中的三维无损位错分析
作者:
Y.Yanagisawa
;
T.Hatayama
;
H.Yano
;
Y.Uraoka
;
T.Fuyuki
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
EBIC;
dislocation;
minority carrier diffusion length;
8.
Investigation of Mechanical Stress-Induced Double Stacking Faults in (11-20) Highly N-doped 4H-SiC Combining Optical Microscopy, TEM, Contrast Simulation and Dislocation Core Reconstruction
机译:
(11-20)高N掺杂4H-SiC的机械应力引起的双堆垛层错研究,结合光学显微镜,TEM,对比模拟和位错核重构
作者:
M. Lancin
;
G. Regula
;
J. Douin
;
H. Idrissi
;
L. Ottaviani
;
B. Pichaud
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
4H-SiC;
double-stacking faults;
HRTEM;
WBTEM;
dislocation core composition;
9.
Examining Dislocations in SiC Epitaxy by Light Emission from Simple Diode Structures
机译:
通过简单二极管结构的发光检查SiC外延中的位错
作者:
Kendrick X. Liu
;
Robert E. Stahlbush
;
Karl D. Hobart
;
Joseph J. Sumakeris
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
stacking faults;
dislocations;
V;
degradation;
PiN diodes;
10.
Enhanced Carrier Lifetime in Bulk-Grown 4H-SiC Substrates
机译:
块状生长的4H-SiC衬底的载流子寿命延长
作者:
J. R. Jenny
;
D. P. Malta
;
V. T. Tsvetkov
;
M. K. Das
;
H. McD. Hobgood
;
C. H. Carter
;
Jr.
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
lifetime;
bulk-growth;
MPCD;
DLTS;
EBIC;
11.
Growth of micropipe free crystals on 4H-SiC {03-38} seeds
机译:
4H-SiC {03-38}种子上无微管晶体的生长
作者:
T. Furusho
;
R. Kobayashi
;
T. Nishiguchi
;
M. Sasaki
;
K. Hirai
;
T. Hayashi
;
H. Kinoshita
;
H. Shiomi
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
4H-SiC {03-38};
micropipe free crystal;
sublimation growth;
12.
Electronic Structure and Magnetic Properties of Transition Metal Doped Silicon Carbide in Different Polytypes
机译:
不同多型掺杂过渡金属碳化硅的电子结构和磁性
作者:
M. S. Miao
;
Walter Lambrecht
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
transition metal;
polytype;
defect level;
dilute magnetic semiconductor;
13.
Co-doping of Er-doped SiC with Oxygen - a Promising Way Towards Efficient 1540 nm Emission at Room Temperature?
机译:
掺Er的SiC与氧气共掺杂-在室温下实现1540 nm高效发射的有前途的方法吗?
作者:
U. Gerstmann
;
E. Rauls
;
S. Sanna
;
Th. Frauenheim
;
H. Overhof
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
3C-SiC;
rare earth ions;
oxygen;
room temperature emission;
density-functional theory;
14.
Europium Induced Deep Levels In Hexagonal Silicon Carbide
机译:
ium诱导的六方碳化硅深层
作者:
G. Pasold
;
F. Albrecht
;
C. Huelsen
;
R. Sielemann
;
W. Witthuhn
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
rare earth;
europium;
DLTS;
deep level;
radiotracer;
15.
Hydrogen Nanochemistry Achieving Clean and Pre-Oxidized Silicon Carbide Surface Metallization
机译:
氢纳米化学可实现清洁和预氧化的碳化硅表面金属化
作者:
P. Soukiassian
;
M.G. Silly
;
C. Radtke
;
H. Enriquez
;
M. D'angelo
;
V. Derycke
;
V.Yu. Aristov
;
F. Amy
;
Y.J. Chabal
;
P. Moras
;
M. Pedio
;
S. Gardonio
;
C. Ottaviani
;
P. Perfetti
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
hydrogen;
metallization;
clean and oxidized surfaces;
cubic silicon carbide;
synchrotron radiation;
core level and valence band photoemission spectroscopies;
scanning tunneling microscopy and spectroscopy;
infrared absorption spectroscopy;
16.
Growth acceleration in FLASiC assisted short time liquid phase epitaxy by melt modification
机译:
FLASiC辅助短时间液相外延熔融改性的生长加速
作者:
J. Pezoldt
;
F.M. Morales
;
Th. Stauden
;
Ch. Foerster
;
E. Polychroniadis
;
J. Stoemenos
;
D. Panknin
;
W. Skorupa
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
3C-SiC;
silicon;
liquid phase epitaxy;
heteroepitaxy;
flash lamp annealing;
FLASiC;
17.
Hetero-epitaxial Growth of 3C-SiC on Silicon Substrates by Plasma Assisted CVD
机译:
等离子体辅助CVD法在硅衬底上异质外延生长3C-SiC
作者:
Hideki Shimizu
;
Yosuke Aoyama
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
18.
Diuacancy and its identification: Theory
机译:
虚假及其鉴定:理论
作者:
A. Gali
;
M. Bockstedte
;
N.T. Son
;
T. Umeda
;
J. lsoya
;
E. Janzen
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
divacancy;
ionization energy;
ab initio hyperfinc signature;
19.
Divacancy model for P6/P7 centers in 4H- and 6H-SiC
机译:
4H和6H-SiC中P6 / P7中心的离差模型
作者:
NT. Son
;
T. Umeda
;
J. Isoya
;
A. Gali
;
M. Bockstedte
;
B. Magnusson
;
A. Ellison
;
N. Morishita
;
T. Ohshima
;
H. Itoh
;
E. Janzen
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
divacancies;
electron paramagnetic resonance;
ab initio calculations;
20.
Evidence of the ground triplet state of silicon-carbon divacancies (P6, P7 centers) in 6H SiC: An EPR study
机译:
EPR研究:6H SiC中硅碳空位(P6,P7中心)的基态三重态的证据
作者:
I.V. Ilyin
;
M.V. Muzafarova
;
E.N. Mokhov
;
V.I. Sankin
;
P.G. Baranov
;
S.B. Orlinskii
;
J. Schmidt
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
defect;
vacancy;
EPR;
21.
Electron paramagnetic resonance study of the HE/4/S/5 center in 4H-SiC
机译:
4H-SiC中HE / 4 / S / 5中心的电子顺磁共振研究
作者:
T. Umeda
;
N. T. Son
;
J. lsoya
;
N
;
Morishita
;
T. Ohshima
;
H. ltoh
;
E. Janzen
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
semi-insulating SiC;
defect;
deep level;
EPR;
22.
Carbon related split-interstitials in electron-irradiated n-type 6H-SiC
机译:
电子辐照n型6H-SiC中与碳有关的裂隙
作者:
M.V.B. Pinheiro
;
E. Rauls
;
U. Gerstmann
;
S. Greulich-Weber
;
J.-M. Spaeth
;
H. Overhof
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
6H-SiC;
split-interstitials;
EPR;
hyperfine interaction;
density-functional theory;
23.
Giant Burgers Vector Micropipe-Dislocations in Silicon Carbide Investigated by Atomic Force Microscopy
机译:
原子力显微镜研究碳化硅中的巨型汉堡矢量微管位错
作者:
E. Pernot
;
J. Haertwig
;
M. Pons
;
R. Madar
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
micropipe;
AFM;
large burgers vectors;
24.
Comparison Between Measurement Techniques Used for Determination of the Micropipe Density in SiC Substrates
机译:
用于确定SiC衬底中微管密度的测量技术之间的比较
作者:
E. Emorhokpor
;
E. Carlson
;
J. Wan
;
A. Weber
;
C. Basceri
;
J. Jenny
;
R. Sandhu
;
J. Oliver
;
F. Burkeen
;
A. Somanchi
;
V. Velidandla
;
F. Orazio
;
A. Blew
;
M. Goorsky
;
M. Dudley
;
W.M. Vetter
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
micropipes;
4H-SiC;
6H-SiC;
ASTM;
round-robin;
25.
A New Method of Mapping and Counting Micropipes in SiC Wafers
机译:
SiC晶片中微管映射和计数的新方法
作者:
J. Wan
;
S.-H. Park
;
G. Chung
;
E. Carlson
;
M.J. Loboda
会议名称:
《》
|
2005年
关键词:
micropipe;
KOH etching;
laser light scattering;
26.
Identification of Polytypes in Sublimation Grown 4H-SiC Crystals by High Resolution X-Ray Diffractometry
机译:
用高分辨率X射线衍射法鉴定升华生长的4H-SiC晶体中的多型
作者:
Jie Dong
;
Li Wang
;
Xiaobo Hu
;
Xianxiang Li
;
Juan Li
;
Shouzhen Jiang
;
Xiufang Chen
;
Xiangang Xu
;
Minhua Jiang
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
high resolution X-ray diffraction;
polytype identification;
27.
High energy local vibrational modes of carbon aggregates in SiC: experimental and theoretical insight
机译:
SiC中碳聚集体的高能局部振动模式:实验和理论上的见解
作者:
A. Mattausch
;
M. Bockstedte
;
O. Pankratov
;
J. W. Steeds
;
S. Furkert
;
J. M. Hayes
;
W. Sullivan
;
N. G. Wright
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
photoluminescence;
carbon clusters;
point defects;
localized vibrational modes;
28.
Characterization of SiC Substrates Using X-Ray Rocking Curve Mapping
机译:
使用X射线摇摆曲线映射表征SiC衬底
作者:
M. Yoganathan
;
E. Emorhokpor
;
T. Kerr
;
A. Gupta
;
C. D. Tanner
;
I. Zwieback
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
X-ray diffraction;
rocking curve;
mapping;
broadening;
lattice tilt;
misorientation;
29.
Microwave Dielectric Loss Characterization of Silicon Carbide Wafers
机译:
碳化硅晶片的微波介电损耗表征
作者:
Timothy Bogart
;
Bill Everson
;
Rick Gamble
;
Ed Oslosky
;
David Snyder
;
Eugene Furman
;
Steve Perini
;
Michael Lanagan
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
microwave loss;
dielectric loss;
resistivity;
electrical characterization;
30.
Columnar Pore Growth in n-type 6H SiC
机译:
n型6H SiC的柱状孔生长
作者:
Y. Ke
;
F. Yan
;
R.P. Devaty
;
W.J. Choyke
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
porous;
photoelectrochemical;
etching;
columnar;
31.
Brillouin Spectra of Porous p-Type 6H-SiC
机译:
多孔p型6H-SiC的布里渊光谱
作者:
G. T. Andrews
;
C. Young
;
A. Polomska
;
M. J. Clouter
;
Y. Ke
;
R. P. Devaty
;
W. J. Choyke
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
porous SiC;
brillouin scattering;
surface acoustic waves;
elastic properties;
32.
Characterization of bulk < 111 > 3C-SiC single crystals grown on 4H-SiC by the CF-PVT method
机译:
通过CF-PVT方法表征在4H-SiC上生长的块体<111> 3C-SiC单晶
作者:
L. Latu-Romain
;
D. Chaussende
;
C. Balloud
;
S. Juillaguet
;
L. Rapenne
;
E. Pernot
;
J. Camassel
;
M. Pons
;
R. Madar
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
3C-SiC;
bulk growth;
characterization;
33.
Growth of SiC single crystal from Si-C-(Co, Fe) ternary solution
机译:
Si-C-(Co,Fe)三元溶液生长SiC单晶
作者:
Nobuyoshi Yashiro
;
Kazuhiko Kusunoki
;
Kazuhito Kamei
;
Mitsuhiro Hasebe
;
Toru Ujihara
;
Kazuo Nakajima
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
solution growth;
ternary solution;
6H-SiC;
carbon solubility;
CALPHAD;
34.
Multi-Scale Simulation of MBE-Grown SiC/Si Nanostructures
机译:
MBE生长的SiC / Si纳米结构的多尺度模拟
作者:
A.A. Schmidt
;
Yu.V. Trushin
;
K.L. Safonov
;
V.S. Kharlamov
;
D.V. Kulikov
;
O. Ambacher
;
J. Pezoldt
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
Monte Carlo;
molecular dynamics;
rate equations;
self-ordering;
35.
Structure of Carrot Defects in 4H-SiC Epilayers
机译:
4H-SiC外延层中胡萝卜缺陷的结构
作者:
X. Zhang
;
S. Ha
;
M. Benamara
;
M. Skowronski
;
J.J. Sumakeris
;
S. Ryu
;
M.J. Paisley
;
M.J. O'Loughlin
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
carrot defects;
4H-SiC;
epitaxy;
x-ray topography;
TEM;
stacking faults;
dislocations;
EBIC;
p-n diode;
36.
Conditions and Limitations of Using Low-Temperature Photoluminescence to Determine Residual Nitrogen Levels in Semi-Insulating SiC Substrates
机译:
使用低温光致发光确定半绝缘SiC衬底中残余氮水平的条件和限制
作者:
E.R. Glaser
;
B.V. Shanabrook
;
W.E. Carlos
;
H.J. Chung
;
S. Nigam
;
A.Y. Polyakov
;
M. Skowronski
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
nitrogen;
4H- and 6H-SiC;
photoluminescence;
SIMS;
37.
Evaluating and Improving SIMS Method for Measuring Nitrogen in SiC
机译:
评价和改进SIMS法测定SiC中氮的方法
作者:
Howard E. Smith
;
Kurt G. Eyink
;
William C. Mitchel
;
Mark C. Wood
;
Mark A. Fanton
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
SIMS;
secondary ion mass spectrometry;
nitrogen;
n-type;
detection limit;
38.
Characterization of SiC Wafers by Photoluminescence Mapping
机译:
SiC晶片的光致发光映射表征
作者:
M. Tajima
;
E. Higashi
;
T. Hayashi
;
H. Kinoshita
;
H. Shiomi
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
photoluminescence;
mapping;
deep level;
dislocation;
micropipe;
stacking fault;
vacancy;
semi-insulating wafer;
39.
High Epitaxial Growth Rate of 4H-SiC using Horizontal Hot-Wall CVD
机译:
使用水平热壁CVD的4H-SiC高外延生长速率
作者:
R.L. Myers
;
Y. Shishkin
;
O. Kordina
;
I. Haselbarth
;
S.E. Saddow
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
homo-epitaxy;
hot-wall;
CVD;
40.
Homoepitaxial Growth of iron-doped 4H-SiC using BTMSM and t-butylferrocene precursors for semi-insulating property
机译:
使用BTMSM和叔丁基二茂铁前体同质外延生长掺铁4H-SiC,以实现半绝缘性
作者:
Ho Keun Song
;
Jeong Hyun Moon
;
Jeong Hyuk Yim
;
Hyeong Joon Kim
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
4H-SiC;
semi-insulating;
CVD;
BTMSM;
t-butylferrocene;
41.
Epitaxial growth of 4H-SiC on 4° off-axis (0001) and (000-1) substrates by hot-wall CVD
机译:
通过热壁CVD在4°离轴(0001)和(000-1)衬底上外延生长4H-SiC
作者:
Keiji Wada
;
Tsunenobu Kimoto
;
Kimito Nishikawa
;
Hiroyuki Matsunami
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
hot-wall CVD;
C face;
homoepitaxy;
42.
Identification of Deep Level Defects in SiC Bipolar Junction Transistors
机译:
SiC双极结晶体管中深层缺陷的识别
作者:
P. M. Lenahan
;
N. T. Pfeiffenberger
;
T.G. Pribicko
;
A. J. Lelis
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
spin dependent recombination;
recombination centers;
bipolar transistors;
deep level defects;
43.
Evidence for Phosphorus on Carbon and Silicon Sites in 6H and 4H SiC
机译:
6H和4H SiC中碳和硅位点上的磷的证据
作者:
F. Yan
;
R.P. Devaty
;
W.J. Choyke
;
A. Gali
;
I.B. Bhat
;
D.J. Larkin
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
phosphorus;
photoluminescence;
carbon sites;
silicon sites;
44.
A simple method to synthesize nano-sized 3C-SiC powder using hexamethyldisilane in a CVD reactor
机译:
在CVD反应器中使用六甲基乙硅烷合成纳米级3C-SiC粉末的简单方法
作者:
Aparna Gupta
;
Chacko Jacob
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
3C-SiC nanopowder;
HMDS;
CVD;
HRTEM;
45.
In-situ observation of mass transfer in the CF-PVT growth process by X-ray imaging
机译:
通过X射线成像原位观察CF-PVT生长过程中的传质
作者:
D. Chaussende
;
P. Wellmann
;
M. Ucar
;
M. Pons
;
R. Madar
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
mass transfer;
HTCVD;
sublimation;
bulk growth;
X-Ray;
46.
High Quality SiC Crystals grown by the Physical Vapor Transport Method with a New Crucible Design
机译:
采用新的坩埚设计,通过物理气相传输法生长的高质量SiC晶体
作者:
Kap-Ryeol Ku
;
Jung-Gyu Kim
;
Jung-Doo Seo
;
Ju-Young Lee
;
Myung-Ok Kyun
;
Won-Jae Lee
;
Geun-Hyoung Lee
;
Il-Soo Kim
;
Byoung-Chul Shin
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
sublimation;
PVT;
crystal boules;
crucible;
guide tube;
tantalum foil;
47.
Active Thermal Interaction of Source and Crystal Surfaces in PVT SiC Crystal Growth
机译:
PVT SiC晶体生长中源和晶体表面的主动热相互作用
作者:
K.Grasza
;
E.Tymicki
;
J.Kisielewski
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
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2005年
关键词:
growth from the vapor;
micropipes reduction;
basal plane dislocations;
crystallization front shape and morphology;
48.
Investigation of the Displacement Threshold of Si in 4H SiC
机译:
4H SiC中硅的位移阈值研究
作者:
W. Sullivan
;
J.W. Steeds
会议名称:
《Silicon Carbide and Related Materials - 2005 pt.1; Materials Scinece Forum; vols.527-529》
|
2005年
关键词:
displacement threshold;
photoluminescence microscopy;
neutral silicon vacancy;
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