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1.
A pattern-driven design regularization methodology
机译:
模式驱动的设计正则化方法
作者:
Jason P. Cain
;
Norma P. Rodriguez
;
Jason Sweis
;
Frank E. Gennari
;
Ya-Chieh Lai
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
Pattern matching;
design for manufacturability (DFM);
design regularity;
layout;
topological;
2.
Systematic Data Mining Using a Pattern Database to Accelerate Yield Ramp
机译:
使用模式数据库加速产量提升的系统数据挖掘
作者:
Edward Teoh
;
Vito Dai
;
Luigi Capodieci
;
Ya-Chieh Lai
;
Frank Gennaril
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
pattern;
classification;
analysis;
database;
design rule;
process;
verification;
data mining;
clustering;
canonical correlation;
3.
Bridging the Gap from Mask to Physical Design for Multiple Patterning Lithography
机译:
弥合从掩模到物理设计的差距,以实现多图案光刻
作者:
Bei Yu
;
Jhih-Rong Gao
;
Xiaoqing Xu
;
David Z. Pan
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
4.
A fast triple patterning solution with fix guidance
机译:
具有修复指导的快速三重图案解决方案
作者:
Weiping Fang
;
Srini Arikati
;
Erdem Cilingir
;
Marco A. Hug
;
Peter De Bisschop
;
Julien Mailfert
;
Kevin Lucas
;
Weimin Gao
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
triple patterning;
multi-patterning;
fix guidance;
layout decomposition;
5.
Self-Aligned Quadruple Patterning-Aware Routing
机译:
自对准四重模式感知路由
作者:
Fumiharu Nakajima
;
Chikaaki Kodama
;
Hirotaka Ichikawa
;
Koichi Nakayama
;
Shigeki Nojima
;
Toshiya Kotani
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
Multiple patterning;
Self-Aligned Quadruple Patterning;
SAQP;
Optical lithography;
Routing;
DFM;
6.
Model Based Multilayers Fix for Litho Hotspots beyond 20nm node
机译:
针对超过20nm节点的光刻热点的基于模型的多层修复
作者:
Asmaa Rabie
;
Kareem Madkour
;
Kirolos George
;
Wael ElManhawy
;
Jean-Marie Brunet
;
Joe Kwan
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
Model Based Fix;
Double Patterning Technology (DPT);
Design Rule Check (DRC);
Litho Hotspot;
7.
Configurable Hot Spot Fixing System
机译:
可配置的热点固定系统
作者:
Masanari Kajiwara
;
Sachiko Kobayashi
;
Hiromitsu Mashita
;
Ryota Aburada
;
Nozomu Furuta
;
Toshiya Kotani
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
layout modification;
hot spot fixing;
SRAF, DFM;
8.
Layout Induced Variability and Manufacturability Checks in FinFETs Process
机译:
FinFETs工艺中布局引起的可变性和可制造性检查
作者:
Yongchan Ban
;
Jason Sweis
;
Philippe Hurat
;
Ya-chieh Lai
;
Yongseok Kang
;
Woohyun Paik
;
Wei Xu
;
Huiyuan Song
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
Layout;
Variability;
Optimization;
Design-for-Manufacturability;
FinFET;
DFM-Via;
Pattern matching;
Topological squish;
9.
Lithography yield estimation model to predict layout pattern distortions with a reduced set of lithography simulations
机译:
光刻产量估算模型,通过减少的光刻模拟集来预测布局图案变形
作者:
Sergio Gomez
;
Francesc Moll
;
Joan Mauricio
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
Design for manufacturability;
lithography hotspots;
yield estimation;
layout design;
10.
Optimizing Standard Cell Design for Quality
机译:
优化标准电池设计以提高质量
作者:
Chimin Yuan
;
Dave Tipple
;
Jeff Warner
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
design for quality;
design for reliability;
standard cell;
automotive quality;
11.
Design technology co-optimization for a robust 10nm Metall solution for Logic design and SRAM
机译:
针对逻辑设计和SRAM的强大10nm Metall解决方案的设计技术共同优化
作者:
Boris Vandewalle
;
Bharani Chava
;
Sushil Sakhare
;
Julien Ryckaert
;
Mircea Dusa
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
triple patterning;
negative tone development;
source mask optimization;
design technology cooptimization;
12.
Yield-aware Decomposition for LELE Double Patterning
机译:
LELE双重图案的产量感知分解
作者:
Yukihide Kohira
;
Yoko Yokoyama
;
Chikaaki Kodama
;
Atsushi Takahashi
;
Shigeki Nojima
;
Satoshi Tanaka
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
Double Patterning;
LELE;
Desing for Manufacturability;
13.
Localization concept of re-decomposition area to fix hotspots for LELE process
机译:
重新分解区域的本地化概念可修复LELE过程的热点
作者:
Yoko Yokoyama
;
Keishi Sakanushi
;
Yukihide Kohira
;
Atsushi Takahashi
;
Chikaaki Kodama
;
Satoshi Tanaka
;
Shigeki Nojima
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
Double patterning;
DFM;
LELE;
layout modification;
hotspot;
decomposition;
14.
Resist Profile Aware Source Mask Optimization
机译:
抵抗轮廓识别的源蒙版优化
作者:
Ao Chen
;
Yee Mei Foong
;
Michael Hsieh
;
Andrew Khoh
;
Stephen Hsu
;
Mu Feng
;
Jianhong Qiu
;
Chris Aquino
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
SMO;
resist profile;
process window;
overlapping depth of focus;
OPC model;
edge placement error;
15.
A Layout Decomposition Algorithm for Self-Aligned Multiple Patterning
机译:
自对准多图案的布局分解算法
作者:
Jun You
;
Hongyi Liu
;
Yijian Chen
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
self-aligned multiple patterning (SAMP);
self-aligned quadruple patterning (SAQP);
self-aligned sextuple patterning (SASP);
layout decomposition;
coloring;
16.
SCANNER CORRECTION CAPABILITIES AWARE CMP LITHOGRAPHY HOTSPOT ANALYSIS
机译:
扫描仪校正功能注意CMP光刻热分析
作者:
Ushasree Katakamsetty
;
Hui Colin
;
Sky Yeo
;
Perez Valerio
;
Yang Qing
;
Quek Shyue Fong
;
Narayana Samy Aravind
;
Ruhm Matthias
;
Schiwon Roberto
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
CMP;
Topography;
Lithography;
Scanner;
Depth of Focus;
Best Focus;
DFM;
Fill.;
17.
Lithography-Induced Limits to Scaling of Design Quality
机译:
光刻术对设计质量缩放的限制
作者:
Andrew B. Kahng
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
18.
Systematic Physical Verification with Topological Patterns
机译:
具有拓扑模式的系统物理验证
作者:
Vito Dai
;
Ya-Chieh Lai
;
Frank Gennari
;
Edward Teoh
;
Luigi Capodieci
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
topology;
pattern;
physical verification;
design rule;
manufacturability;
automation;
constraint;
19.
Synthesis of Lithography Test Patterns through Topology-Oriented Pattern Extraction and Classification
机译:
通过面向拓扑的图案提取和分类来合成光刻测试图案
作者:
Seongbo Shim
;
Woohyun Chung
;
Youngsoo Shin
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
Lithography;
test pattern;
pattern extraction;
pattern classification;
20.
Layout Pattern-Driven Design Rule Evaluation
机译:
布局模式驱动的设计规则评估
作者:
Yasmine Badr
;
Ko-wei Ma
;
Puneet Gupta
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
Design Rules;
Manufacturability;
Bad Patterns;
Hot Spots;
Design for Manufacturing;
Design Technology Co-optimization (DTCO);
Layouts;
21.
Demonstrating production quality multiple exposure patterning aware routing for the 10NM node
机译:
演示10NM节点的生产质量多重曝光模式感知路由
作者:
Lars Liebmann
;
Vassilios Gerousis
;
Paul Gutwin
;
Mike Zhang
;
Geng Han
;
Brian Cline
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
Self aligned double patterning;
sidewall image transfer;
color-aware placement;
multiple-patterning aware routing;
22.
Benchmarking Process Integration and Layout Decomposition of Directed Self-Assembly and Self-Aligned Multiple Patterning Techniques
机译:
定向自组装和自对准多重图案化技术的基准测试过程集成和布局分解
作者:
Yijian Chen
;
Jun Zhou
;
Jun You
;
Hongyi Liu
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
directed self-assembly (DSA);
self-aligned multiple patterning (SAMP);
self-aligned quadruple patterning (SAQP);
template;
mandrel;
layout decomposition;
23.
Accurate Lithography Hotspot Detection based on PCA-SVM Classifier with Hierarchical Data Clustering
机译:
基于PCA-SVM分类器的分层数据聚类精确光刻热点检测
作者:
Jhih-Rong Gao
;
Bei Yu
;
David Z. Pan
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
24.
'Smart' source, mask, and target co-optimization to improve design related lithographically weak spots
机译:
“智能”源,掩模和目标共同优化,以改善与设计相关的光刻弱点
作者:
No-Young Chung
;
Pil-Soo Kang
;
Na-Rae Bang
;
Jong-Du Kim
;
Suk-Ju Lee
;
Byung-Il Choi
;
Bong-Ryoul Choi
;
Sung-Woon Park
;
Ki-Ho Baik
;
Stephen Hsu
;
Rafael Howell
;
Xiaofeng Liu
;
Keith Gronlund
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
RET;
manufacturable PW;
SMO;
SmartDRO;
CTM;
Design (Layout) Optimization;
25.
Layout optimization of DRAM cells using rigorous simulation model for NTD
机译:
使用严格的NTD仿真模型优化DRAM单元的布局
作者:
Jinhyuck Jeon
;
Shinyoung Kim
;
Chanha Park
;
Hyunjo Yang
;
Donggyu Yim
;
Bernd Kuechler
;
Rainer Zimmermann
;
Thomas Muelders
;
Ulrich Klostermann
;
Thomas Schmoeller
;
Mun-hoe Do
;
Jung-Hoe Choi
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
DRAM;
SMO;
NTD;
Manufacturability;
OPC;
SRAF;
rigorous simulation;
26.
Technology-Design-Manufacturing Co-optimization for Advanced Mobile SoCs
机译:
用于高级移动SoC的技术-设计-制造共同优化
作者:
Da Yang
;
Chock Gan
;
P. R. Chidambaram
;
Giri Nallapadi
;
John Zhu
;
S.C. Song
;
Jeff Xu
;
Geoffrey Yeap
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
Mobile SoCs;
design-technology co-optimization;
design rule;
double patterning;
local interconnect;
27.
Analysis and Optimization of Process-Induced Electromigration on Signal Interconnects in 16nm FinFET SoC (System-on-Chip)
机译:
16nm FinFET SoC(片上系统)中信号互连上的过程感应电迁移的分析和优化
作者:
Yongchan Ban
;
Changseok Choi
;
Hosoon Shin
;
Yongseok Kang
;
Woohyun Paik
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
Electromigration;
Signal-EM;
Process;
Variability;
Optimization;
Design-for-manufacturing;
sub-20nm;
FinFET;
28.
Physical verification and manufacturing of contact/via layers using grapho-epitaxy DSA processes
机译:
使用石墨外延DSA工艺进行接触/通孔层的物理验证和制造
作者:
J. Andres Torres
;
Kyohei Sakajiri
;
David Fryer
;
Yuri Granik
;
Yuansheng Ma
;
Polina Krasnova
;
Germain Fenger
;
Seiji Nagahara
;
Shinichiro Kawakami
;
Ben Rathsack
;
Gurdaman Khaira
;
Juan de Pablo
;
Julien Ryckaert
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
DSA;
DFM;
Lithography checks;
layout verification;
layout portability;
self assembly;
directed self assembly;
29.
ECO Fill - Automated fill modification to support late-stage design changes
机译:
ECO填充-自动填充修改以支持后期设计更改
作者:
Greg Davis
;
Jeff Wilson
;
JJ. Yu
;
Anderson Chiu
;
Yao-Jen Chuang
;
Ricky Yang
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
DFM;
ECO Fill;
dummy fill;
mask density;
30.
A Generalized Model to Predict Fin-Width Roughness Induced FinFET Device Variability Using the Boundary Perturbation Method
机译:
利用边界摄动法预测鳍宽引起的FinFET器件变化的通用模型
作者:
Qi Cheng
;
Jun You
;
Yijian Chen
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
FinFET;
device variability;
fin-width roughness (FWR);
line-edge roughness (LER);
Poisson's equation;
31.
Decomposition-aware layout optimization for 20/14nm standard cells
机译:
用于20 / 14nm标准单元的可分解的布局优化
作者:
Lynn T.-N. Wang
;
Sriram Madhavan
;
Shobhit Malik
;
Eric Chiu
;
Luigi Capodieci
会议名称:
《》
|
2014年
关键词:
Double patterning;
decomposition;
litho-etch-litho-etch;
scoring;
layout design optimization;
standard cells;
DPT;
manufacturability;
32.
Robust and automated solution for correcting hotspots locally using cost-function based OPC solver
机译:
使用基于成本函数的OPC求解器在本地校正热点的强大而自动化的解决方案
作者:
Carl Babcock
;
Dongok Yang
;
Sarah McGowan
;
Jun Ye
;
Bo Yan
;
Jianhong Qiu
;
Stanislas Baron
;
Taksh Pandey
;
Sanjay Kapasi
;
Chris Aquino
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
Hotspot;
OPC;
Optical Proximity Correction;
FMO;
Flexible Mask Optimization;
Co-Opt;
Co-Optimization;
33.
Work smarter not harder - How to get more results with less modeling
机译:
变得更聪明而不是更辛苦-如何以更少的建模获得更多结果
作者:
Kareem Madkour
;
Fedor Pikus
;
Mohab Anis
会议名称:
《Design-Process-Technology Co-optimization for Manufacturability VIII》
|
2014年
关键词:
Design for Manufacturing;
DFM;
Electrical DFM;
EDFM;
Process Variability;
Parametric Yield;
Resolution Enhancement Techniques;
RET;
Strained Silicon;
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