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18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California
18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California
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1.
The Verification of Analytical Ultrapure Water Instrumentation Performance using an Automated Standard Dilution Apparatus
机译:
使用自动化标准稀释仪器验证超纯水分析仪器的性能
作者:
Richard Godec
;
Karen Franklin
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
2.
Selecting Particle Filters for Semiconductor Chemical Processing
机译:
选择用于半导体化学处理的颗粒过滤器
作者:
Joseph Zahka
;
Zhenwu Lin
;
Saksatha Ly
;
Mutsuhiro Amari
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
3.
Si_3N_4 Etching With Ethylene Glycol - HF Chemistries
机译:
乙二醇蚀刻Si_3N_4-HF化学
作者:
Kurt Christenson
;
Mike Fussy
;
Boyd Wiedenman
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
4.
The Behavior of Surfactant Adsorption and Minimization of Particle Contamination in HF Solution
机译:
表面活性剂在HF溶液中的吸附行为和颗粒污染的最小化
作者:
T.Kezuka
;
F.Kamiya
;
M.Itano
;
T.Ohmi
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
5.
POST-CMP CLEANING USING A SINGLE WAFER MEGASONIC CLEANER
机译:
使用单晶圆超音速清洁剂进行CMP后清洁
作者:
Cole Franklin
;
Yi Wu
;
Michael Olesen
;
Mario Bran
;
Brian Fraser
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
6.
Clean Room Contamination Monitoring: A Comparison of Traditional Measurements with the Mass Loading Concept
机译:
洁净室污染监测:传统测量与大负荷概念的比较
作者:
Mike Settell
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
7.
Material Selection and Wafer Environment Control
机译:
材料选择和晶圆环境控制
作者:
Sheng-Bai Zhu
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
8.
Light Dependent Compensation of TOC Measurement and its Relationship with Dissolved Oxygen Concentrations in Ultrapure Rinse Waters for Semiconductor Manufacturing
机译:
半导体制造用超纯冲洗水中TOC测量的光依赖性补偿及其与溶解氧浓度的关系
作者:
Patrick Gallegos
;
John Stillian
;
Rick Blades
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
9.
End of Pipe Water Recycling for the Semiconductor Industry - A Point of Reference
机译:
半导体行业的管道水回收结束-参考点
作者:
David Lopez
;
Taso Iraclidis
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
10.
Evaluation of Contaminants in the Cleanroom Atmosphere and on Silicon Wafer Surface (IV) -Evaluation and Prediction of Outgas Concentration from Construction Materials-
机译:
洁净室气氛和硅片表面污染物的评估(IV)-建筑材料中废气浓度的评估和预测-
作者:
Tatsuo NONAKA
;
Taketoshi FUJIMOTO
;
Kikuo TAKEDA
;
Toshikazu TAIRA
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
11.
Application of TMAH Reclamation in LSI/LCD Manufacturing
机译:
TMAH回收在LSI / LCD制造中的应用
作者:
Hiroshi Sugawara
;
Hiromi Hemmi
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
12.
Analysis of Trace Anions in Concentrated Weak Acids Using Ion Chromatography
机译:
离子色谱法分析浓缩弱酸中的痕量阴离子
作者:
Beverly Newton
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
13.
Use Of An Asymmetric Polysulfone Membrane Filter For The Filtration Of Liquid Corrosive Chemicals In The Electronics Industry
机译:
电子工业中不对称聚砜膜过滤器在液体腐蚀性化学品过滤中的应用
作者:
Thomas Gutowski
;
Anthony Shucosky
;
Mark Gogol
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
14.
Sub Monolayer Silicon Oxide Growth Rate versus Oxygen Concentration in UPW
机译:
UPW中亚单层氧化硅的生长速率与氧浓度的关系
作者:
Fuhe Li
;
Marjorie K. Balazs
;
Bruce E. Deal
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
15.
The Impurities Monitor Technology of Clean Room
机译:
洁净室杂质监测技术
作者:
Motonori Yanagi
;
Takashi Matsuo
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
16.
Performance Testing of 0.1μm Rated Microfilters for Ultra Pure Water Applications
机译:
适用于超纯水应用的额定0.1μm微型过滤器的性能测试
作者:
Hsiao-Show (Mike) Tseng
;
Thomas P. OBrien
;
Gary R. Husted
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
17.
Removal of Photoresist with Ozonated DI Water in a Centrifugal Spray Processor
机译:
在离心喷雾处理器中用臭氧水去除光致抗蚀剂
作者:
Steve Nelson
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
18.
'Compatibility Advances in Water Conservation for Post CMP Cleaning'
机译:
“ CMP后清洗用水节约的兼容性进展”
作者:
Robert Small
;
Zhefei Chen
;
Alisa Flores
;
Larry McGhee
;
Maria Peterson
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
19.
New Instrumentation for Accurate, Low-Level TOC Measurement
机译:
精确,低水平TOC测量的新仪器
作者:
Karen L. Franklin
;
Slava Petropavlovskikh
;
Stephen Poirier
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
20.
Method For Identification And Quantitation Of Sub- Parts-Per Billion Levels Of Semi-Volatile Organic Contaminants In UPW
机译:
UPW中半挥发性有机污染物的十亿分之一部分的鉴定和定量方法
作者:
Mark J. Camenzind
;
Charles J. Chargin
;
Anurag Kumar
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
21.
Material Purity, Handling and Installation Advances in Mechanical Brush Scrubbing Applications
机译:
机械刷擦应用中的材料纯度,处理和安装方面的进展
作者:
Kristan Bahten
;
Daniel T. McMullen
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
22.
Light Organic Removal with Ozonated DI Water
机译:
用臭氧水去除有机物
作者:
Kurt Christenson
;
Steve Nelson
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
23.
Electrodeionization Evaluation In A Semiconductor Fab Recycle System
机译:
半导体晶圆回收系统中的电去离子评估
作者:
Russ Parker
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
24.
Dynamic Adsorption of Gas Phase Media and Filters
机译:
气相介质和过滤器的动态吸附
作者:
C. F. Dwiggins
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
25.
Design of Recycling System for Spent Rinse Water from Sandia's Microelectronics Development Laboratory (MDL)
机译:
桑迪亚微电子发展实验室(MDL)设计的废冲洗水回收系统设计
作者:
Robert P. Donovan
;
Dennis J. Morrison
;
Robert P. Timon
;
John DeGenova
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
26.
Comparison Of Optical Particle Sensors Used To Measure Particle Concentrations In High-Purity Chemicals Phase I - Sensor comparison in water
机译:
用于测量高纯度化学品第一阶段中的粒子浓度的光学粒子传感器的比较-水中的传感器比较
作者:
Donald C. Grant
;
Wayne Kelly
;
Debra Carrieri
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
27.
Analysis of Organic-combined Chloride, Sulfate and Nitrate Ions in Ultrapure Water
机译:
超纯水中有机物结合的氯离子,硫酸根和硝酸根离子的分析
作者:
Tetsuo Mizuniwa
;
Katsunobu Kitami
;
Masayoshi Ito
;
Ryohei Miwa
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
28.
Analytical Challenges at the fg/g Level in Ultrapure Water
机译:
超纯水中fg / g的分析挑战
作者:
David Bollinger
;
Barton Tilloston
;
Scott Anderson
;
Anthony Schleisman
会议名称:
《18th Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference, 18th, Mar 1-4, 1999, Santa Clara, California》
|
1999年
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