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Conference on Soft X-Ray and EUV Imaging Systems 3-4 August 2000 San Diego, USA
Conference on Soft X-Ray and EUV Imaging Systems 3-4 August 2000 San Diego, USA
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1.
Mirror substrates for EUV-lithography: progress in metrology and optical fabrication technology
机译:
EUV光刻的镜面基板:计量学和光学制造技术的进步
作者:
U. Dinger
;
F. Eisert
;
H. Lasser
;
M. Mayer
;
A. Seifert
;
G. seitz
;
S. Stacklies
;
F.-J. Stickel
;
M. Weiser
会议名称:
《Conference on Soft X-Ray and EUV Imaging Systems 3-4 August 2000 San Diego, USA》
|
2000年
2.
Optimization of air gap for two-dimensional imaging system using synchrotron radiation
机译:
利用同步加速器辐射优化二维成像系统的气隙
作者:
Tsutomu Zeniya
;
Tohoru Takeda
;
Quanwen Yu
;
Kazuyuki Hyodo
;
Tetsuya Yuasa
;
Yuji Aiyoshi
;
Yukio Hiranaka
;
Yuji Itai
;
Takao Akatsuka
会议名称:
《Conference on Soft X-Ray and EUV Imaging Systems 3-4 August 2000 San Diego, USA》
|
2000年
关键词:
air gap;
synchrotron radiation;
scattered x-ray;
two-dimensional x-ray imaging;
image quality;
3.
Compact debris shutter design of a laser-produced plasma source for high NA application
机译:
激光产生等离子体源的紧凑型碎屑百叶窗设计,适用于高NA应用
作者:
Masaki Yamamoto
;
Minaji Furudate
;
Norio Sato
;
Hiroshi Takagi
会议名称:
《Conference on Soft X-Ray and EUV Imaging Systems 3-4 August 2000 San Diego, USA》
|
2000年
关键词:
debris shutter;
laser produced plasma source;
extreme ultraviolet light;
high numerical aperture;
4.
Multilayer reflectance during exposure to EUV radiation
机译:
暴露于EUV辐射期间的多层反射率
作者:
Sebastian Oestreich
;
Roman Klein
;
Frank Scholze
;
Jeroen Jonkers
;
Eric Louis
;
Andrey Yakshin
;
Peter Gorts
;
Gerhard Ulm
;
Markus Haidl
;
Fred Bijkerk
会议名称:
《Conference on Soft X-Ray and EUV Imaging Systems 3-4 August 2000 San Diego, USA》
|
2000年
关键词:
extreme ultraviolet lithography;
EUV optics;
surface contamination;
multilayer mirrors;
hydrocarbon contamination;
ozone cleaning;
5.
The new PTB beamlines for high-accuracy EUV reflectometry at BESSY II
机译:
BESSY II上用于高精度EUV反射仪的新型PTB光束线
作者:
F. Scholze
;
B. Beckhoff
;
G. Brandt
;
R. Fliegauf
;
R. Klein
;
B. Meyer
;
D. Rost
;
D. Schmitz
;
M. Veldkampl J. Weser
;
G. Ulm
;
E. Louis
;
A. E. Yakshin
;
S. Oestreich
;
F. Bijkerk
会议名称:
《Conference on Soft X-Ray and EUV Imaging Systems 3-4 August 2000 San Diego, USA》
|
2000年
6.
Portable diagnostics for EUV light sources
机译:
EUV光源的便携式诊断
作者:
R. Stuik
;
R. Constantinescu
;
P. Hegeman
;
J. Jonkers
;
H.F. Fledderus
;
V. Banine
;
F. Bijkerk
会议名称:
《Conference on Soft X-Ray and EUV Imaging Systems 3-4 August 2000 San Diego, USA》
|
2000年
关键词:
EUV;
source;
lithography;
EUV diagnostics;
7.
Trends in Optical Design of Projection lenses for UV-and EUV-Lithography
机译:
UV和EUV光刻的投影镜头的光学设计趋势
作者:
Willi Ulrich
;
Susanne Beiersdorfer
;
Hans-Jurgen Mann
会议名称:
《Conference on Soft X-Ray and EUV Imaging Systems 3-4 August 2000 San Diego, USA》
|
2000年
关键词:
lens design;
optical systems;
microlithography;
UV;
EUV;
8.
Varied-line-spacing laminar-type holographic grating for the standard soft X-ray flat-field spectrograph
机译:
标准软X射线平场光谱仪的变线间隔层流型全息光栅
作者:
Masato Koike
;
Takeshi Namioka
;
Eric Gullikson
;
Yoshihisa Harada
;
Sadayuki Ishikawa
;
Takashi Imazono
;
Stanley Mrowka
;
Noboru Miyata
;
Mihiro Yanagihara
;
James H. Underwood
;
Kazuo Sano
;
Tokuo Ogiwara
;
Osamu Yoda
;
Shiro Nagai
会议名称:
《Conference on Soft X-Ray and EUV Imaging Systems 3-4 August 2000 San Diego, USA》
|
2000年
关键词:
diffraction grating;
holographic grating;
diffraction efficiency;
spectrometer;
flat-field spectrograph;
soft x-ray;
9.
XM-1, the high-rsolution soft x-ray microscope at the Advanced Light Source
机译:
XM-1,先进光源的高分辨率软X射线显微镜
作者:
Angelic L. Pearson
;
Weilun Chao
;
Gregory Denbeaux
;
Thomas Eimuller
;
Peter Fischer
;
Lewis Johnson
;
Matthias Koehler
;
Carolyn Larabell
;
Mark Le Gros
;
Deborah Yager
;
David Attwood
会议名称:
《Conference on Soft X-Ray and EUV Imaging Systems 3-4 August 2000 San Diego, USA》
|
2000年
关键词:
x-ray microscope;
XM-1;
spatial resolution;
X-MCD;
magnetic imaging;
computer processing;
10.
Mo/Si multilayer coating technology for EUVL, coating uniformity and time stability
机译:
用于EUVL的Mo / Si多层涂层技术,涂层均匀性和时间稳定性
作者:
E. Louis
;
A.E. Yakshin
;
P.C. Gorts
;
S. Oestreich
;
E.L.G. Maas
;
M.J.h. Kessels
;
D. Schmitz
;
F. Scholze
;
G. Ulm
;
S. Mullender
;
F. Bijkerk
会议名称:
《Conference on Soft X-Ray and EUV Imaging Systems 3-4 August 2000 San Diego, USA》
|
2000年
关键词:
Mo/Si multilayer coatings;
normal-incidence reflectivity;
electron-beam deposition;
EUVL;
11.
Si-based multilayers with high thermal stability
机译:
高热稳定性的硅基多层
作者:
N. Kaiser
;
S. Yulin
;
T. Feigl
会议名称:
《Conference on Soft X-Ray and EUV Imaging Systems 3-4 August 2000 San Diego, USA》
|
2000年
关键词:
Mo/Si;
Mo_2C/Si;
Mo/Mo_2C/Si/Mo_2C;
multilayers;
magnetron sputtering;
thermal stability;
NIR;
EUVl;
12.
The design, fabrication and characterization of broadband multilayer mirrors for EUV optics at normal incidence
机译:
垂直入射的EUV光学宽带多层反射镜的设计,制造和表征
作者:
Zhanshan Wang
;
Changjun Kun
;
Yueying Ma
;
Bin Chen
;
Jianlin Cao
;
Zhuying Zhou
;
Xingdan Chen
;
Alan G. Michette
会议名称:
《Conference on Soft X-Ray and EUV Imaging Systems 3-4 August 2000 San Diego, USA》
|
2000年
关键词:
broadband multilayer;
EUV optics;
13.
Present Status of the ASET At-Wavelength Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer
机译:
ASET波长相移点衍射干涉仪的现状
作者:
Katsumi Sugisaki
;
Yucong Zhu
;
Yoshio Gomei
;
Masahito Niibe
;
Takeo Watanabe
;
Hiroo Kinoshita
会议名称:
《Conference on Soft X-Ray and EUV Imaging Systems 3-4 August 2000 San Diego, USA》
|
2000年
关键词:
optical testing;
interferometry;
phase-shifting point diffraction interferometer;
EUV lithography;
14.
Optical layout of BACH: a Beamline for Advanced diCHrosim at ELETTRA
机译:
BACH的光学布局:ELETTRA的高级diCHrosim光束线
作者:
M. Zangrando
;
M. Finazzi
;
F. Parmigiani
;
G. Paolucci
;
D. Cocco
会议名称:
《Conference on Soft X-Ray and EUV Imaging Systems 3-4 August 2000 San Diego, USA》
|
2000年
关键词:
synchrotron radiation;
soft x-ray optics;
beamline design;
monochromator;
15.
DUV or EUV, that is the question
机译:
DUV或EUV,就是这个问题
作者:
David M. Williamson
会议名称:
《Conference on Soft X-Ray and EUV Imaging Systems 3-4 August 2000 San Diego, USA》
|
2000年
关键词:
microlithography;
DUV;
EUV;
optical design;
diffraction;
limited;
catadioptric;
catoptric;
dioptric;
16.
High precision measurements of the groove density of diffraction gratings
机译:
高精度测量衍射光栅的凹槽密度
作者:
Daniele Cocco
;
Rudi Sergo
;
Giovanni Sostero
;
Marco Zangrando
会议名称:
《Conference on Soft X-Ray and EUV Imaging Systems 3-4 August 2000 San Diego, USA》
|
2000年
关键词:
LTP;
VLS gratings;
grating metrology;
groove density;
17.
Illumination Optics Design for EUV-Lithography
机译:
EUV平版印刷术的照明光学设计
作者:
Martin Antoni
;
Wolfgang Singer
;
Jorg Schultz
;
Johannes Wangler
;
Isabel Escudero-Sanz
;
Bob Kruizinga
会议名称:
《Conference on Soft X-Ray and EUV Imaging Systems 3-4 August 2000 San Diego, USA》
|
2000年
关键词:
EUV lithography;
illumination optics;
etendue;
fly's-eye condenser;
conical reflection;
18.
High Resolution Soft X-ray Microscopy
机译:
高分辨率软X射线显微镜
作者:
Weilun Chao
;
Erik H. Anderson
;
Gregory Denbeaux
;
Bruce Harteneck
;
Mark Le Gros
;
Angelic L. Pearson
;
Deirdre Olynick
;
David Attwood
会议名称:
《Conference on Soft X-Ray and EUV Imaging Systems 3-4 August 2000 San Diego, USA》
|
2000年
关键词:
x-ray microscope;
XM-1;
zone plate;
resolution;
19.
Extreme ultraviolet source development: A comparison of different concepts
机译:
极端紫外线源的发展:不同概念的比较
作者:
G. schriever
;
M. Rahe
;
U. Rebhan
;
D. Basting
;
W. J. Walecki
;
H. Lauth
;
R. Lebert
;
K. Bergmann
;
D. Hoffmann
;
O. Rosier
;
W. Neff
;
R. Poprawe
;
R. Sauerbrey
;
H. Schwoerer
;
S. Dusterer
;
C. Ziener
;
P. Nickles
;
H. Stiehl
;
I. Will
;
W. Sandner
;
G. Schmahl
;
D. Rudo
会议名称:
《Conference on Soft X-Ray and EUV Imaging Systems 3-4 August 2000 San Diego, USA》
|
2000年
关键词:
extreme ultraviolet;
EUV source;
gas discharge source;
Z-pinch;
laser produced plasma;
20.
A laser-generated water plasma source for extreme-ultraviolet lithography and at-wavelength interferometry
机译:
激光产生的水等离子体源,用于极紫外光刻和波长干涉测量
作者:
Raluca C. Constantinescu
;
Jeroen Jonkers
;
Petra Hegeman
;
Matthieu Visser
会议名称:
《Conference on Soft X-Ray and EUV Imaging Systems 3-4 August 2000 San Diego, USA》
|
2000年
关键词:
EUV lithography;
laser-geenrated plasma;
plasma characterisation;
EUV optics contamination;
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