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SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics
SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics
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1.
Modeling of Vertical Transistor with Electrically Variable Junctions inISE TCAD
机译:
垂直晶体管用电变频结建模Inise TCAD
作者:
A .E. Rogozhin
;
I.A. Khorin
;
D.G. Drozdov
;
A.G. Vasiliev
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
vertical MOSFET;
electrically variable source-drain junctions;
ISE TCAD;
Hydrodynamic transport model;
Monte-Carlo simulation;
2.
Formation of thin ZrO_2 layers for nanotransistor gate structures byelectron beam evaporation
机译:
形成薄ZrO_2层,用于纳米晶体管栅极结构按电子束蒸发
作者:
D.G. Drozdov
;
I.A. Khorin
;
V.B. Kopylov
;
A.A. Orlikovsky
;
A.E. Rogozhin
;
A.G. Vasiliev
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
nanotransistor;
high-k gate dielectric;
3.
The method of thin metal films adhesion increasing for the lowered dimensions structures
机译:
薄金属膜的粘合方法对降低尺寸结构的粘附性增加
作者:
N.L. Kazanskiy
;
V.A. Kolpakov
;
V.D. Paranin
;
M.S. Polikarpov
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
adhesion;
ion-electron flux;
film;
gas-discharge plasma;
surface;
4.
Effects of spatial reproduction at the interference of the electron waves in semiconductor 1D nanostructures with parabolic quantum wells
机译:
抛物线量子阱的半导体1D纳米结构中电子波干涉在抛光液阱中的影响
作者:
V. A. Petrov
;
A. V. Nikitin
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
semiconductor 1D nanostructure;
electron interference effects;
quantum wires;
the probability current density;
5.
Modelling of non-stationary electron transport in semiconductor nanowires and carbon nanotubes
机译:
半导体纳米线和碳纳米管中非平稳电子传输的建模
作者:
Dmitry Pozdnyakov
;
Andrei Borzdov
;
Vladimir Borzdov
;
Fadei Komarov
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
Electron transport;
GaAs quantum nanowire;
armchair single-wall carbon nanotube;
6.
Reactive sputtering of metal targets: influence of reactive atoms implantation
机译:
金属靶的反应溅射:活性原子植入的影响
作者:
V.A.Marchenko
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
Reactive sputtering;
Ion implantation;
Recoil implantation;
7.
Graphene nanoelectronics: electrostatics and kinetics
机译:
石墨烯纳米电子产品:静电和动力学
作者:
G. I. Zebrev
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
graphene;
minimum conductivity;
mobility;
electrostatics;
gate screening;
quantum capacitance;
8.
Theoretical study of ionization processes in BF_3 plasma
机译:
BF_3等离子体中电离过程的理论研究
作者:
Kudrya V. P.
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
BF_3 plasma;
atomic boron ionization;
boron monofluoride ionization;
9.
Stable silicon resistors at 20-160°C due to divacancy involving in highpurity neutron doped Si
机译:
由于在掺杂Si的高分子中的范围内,稳定的硅电阻导致20-160°C
作者:
Gennady N. Kamaev
;
Mikhail D. Efremov
;
Victor A. Stuchinsky
;
Boris I. Mikhailov
;
Stepan G.Kurkin
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
FZ silicon;
divacancies;
multi-charge centers;
electron irradiation;
power electronics;
10.
A new model for the copper CMP kinetics
机译:
铜CMP动力学的新模型
作者:
R. Goldstein
;
T. Makhviladze
;
M. Sarychev
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
copper;
polishing;
diffusion;
passivating layer;
chemical reactions;
tunneling;
11.
Finite size effects in antiferromagnetic multilayers
机译:
防冻多层的有限尺寸效应
作者:
Victor V. Kostyuchenko
;
Marina V. Kostyuchenko
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
Magnetic multilayers;
field induced transition;
finite size effect;
12.
Multilayer Zr/Si filters for EUV lithography and for radiation source metrology
机译:
用于EUV光刻和辐射源计量的多层Zr / Si过滤器
作者:
M. S. Bibishkin
;
N. I. Chkhalo
;
S. A. Gusev
;
E. B. Kluenkov
;
A. Ya. Lopatin
;
V. I. Luchin
;
A. E. Pestov
;
N. N. Salashchenko
;
L. A. Shmaenok
;
N. N. Tsybin
;
S. Yu. Zuev
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
EUV lithography;
spectral purity filter;
freestanding multilayer;
13.
Langmuir probe applications in monitoring of plasma etching
机译:
Langmuir探测在等离子体蚀刻监测中的应用
作者:
Andrey V. Miakonkikh
;
Konstantin V. Rudenko
;
Alexander A. Orlikovsky
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
plasma diagnostics;
reactive etching;
Langmuir probe;
end-point detection;
EEDF;
optical-emission spectroscopy;
14.
Effect of quartz window temperature on plasma composition during STI etch
机译:
石英窗温度对STI蚀刻过程中等离子体组成的影响
作者:
E.V. Danilkin
;
D. Shamiryan
;
M.R. Baklanov
;
A.P. Milenin
;
W. Boullart
;
G.Y. Krasnikov
;
O.P. Gutshin
;
A.I. Mochalov
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
STI etch;
oxygen recombination on quartz;
etch stop;
15.
Creation of nanometer gaps between thin-film metal electrodes by themethod of electromigration
机译:
电迁移中的薄膜金属电极之间的纳米间隙的创建
作者:
Kuturov A.N.
;
Soldatov E.S.
;
Stepanov A.S.
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
thin films;
electromigration;
molecular transistor;
electron-beam lithography;
tunnel junctions;
16.
Direct measurement of the linewidth of relief element on AFM in nanometer range
机译:
在纳米范围内直接测量AFM的浮雕元件线宽
作者:
Yu. A. Novikov
;
M. N. Filippov
;
I. D. Lysov
;
A. V. Rakov
;
V. A. Sharonov
;
P. A. Todua
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
Atomic force microscope;
calibration;
test object;
linewidth;
17.
Nanorelief elements in reference measures for scanning electron microscopy
机译:
纳米精细元素在扫描电子显微镜的参考措施中
作者:
Yu. A. Novikov
;
S. A. Darznek
;
M. N. Filippov
;
V. B. Mityukhlyaev
;
A. V. Rakov
;
P. A. Todua
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
Test object;
linewidth;
scanning electron microscope;
calibration;
18.
Sign magnetosensitivity of dual-collector lateral bipolarmagnetotransistor
机译:
标志双收集器横向BipoLARMAGNETOTOLOSISTOR的磁化性
作者:
R. D. Tikhonov
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
Bipolar magnetotransistor;
mechanism of sensitivity;
19.
Divergence Instability of an Extensible Microplate Subjected tononlinear Electrostatic Pressure
机译:
可伸长微孔板的发散不稳定性的不稳定的静电压力
作者:
Ghader Rezazadeh
;
Hadi Yagubizade
;
Yashar Alizadeh
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
MEMS, Divergence Instability;
Extensible Microplate;
Electrostatic Pressure;
20.
Epitaxial Fe films and structures
机译:
外延Fe膜和结构
作者:
L.A.Fomin
;
V.Yu.Vinnichenko
;
G.M.Mikhailov
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
Spintronics;
epitaxy;
iron films;
magnetic force microscope;
21.
Non-equilibrium magnetism of nanoparticles revealedin 'static' and radiofrequency measurements
机译:
纳米颗粒的非平衡磁性显示出“静态”和射频测量
作者:
M. A. Chuev
;
N. P. Aksenova
;
P. G. Medvedev
;
A. M. Afanasev
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
magnetic nanomaterials;
single-domain particles;
magnetic anisotropy;
magnetic dynamics;
magnetization curves;
Moessbauer spectroscopy;
22.
All-quantum simulation of an ultra-small SOI MOSFET
机译:
超小型SOI MOSFET的全量模拟
作者:
V. Vyurkov
;
I. Semenikhin
;
V. Lukichev
;
A. Burenkov
;
A. Orlikovsky
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
quantum simulation;
nanometer field effect transistor;
23.
A Comparison of Fitness Function Evaluation Schedules for Multi-Objective Univariate Marginal Distribution Optimization of MixedAnalog-Digital Signal Circuits
机译:
用于多目标单变量分布优化的健身函数评估时间表的比较 - MICTRANALOG数字信号电路
作者:
Lyudmila Zinchenko
;
Matthias Radecker
;
Fabio Bisogno
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
mixed analog-digital circuits;
optimization;
evolutionary design;
fitness function schedule;
24.
Research of the disbalance mechanism of dual collector lateral bipolarmagnetotransistor
机译:
双收集器横向BIPOLARAMAGNETOTOLOSISTOR的分组机制研究
作者:
R.D. Tikhonov
;
S.A. Polomoshnov
;
A.V. Kozlov
;
A.Ju. Krasukov
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
bipolar magnetotransistor;
initial disbalance;
sesetivity;
25.
Physically based simulation of fully depleted SOI MOStransistors at nanometer gate lengths
机译:
基于物理基于纳米栅极长度的完全耗尽的SOI Mostransistors模拟
作者:
A. Burenkov
;
C. Kampen
;
J. Lorenz
;
H. Ryssel
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
MOSFET;
semiconductor process and device simulation;
mechanical stress;
silicon-on-insulator (SOI) technology;
26.
Focused ion beam source of a new type for micro- and nanoelectronics technologies
机译:
微型和纳米电子技术的新型聚焦离子束源
作者:
V. L. Varentsov
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
Laser ablation;
supersonic nozzle;
buffer gas;
RF-funnel;
computer simulation;
27.
Features of evolution of implanted profiles during RTAin non-isothermal reactor
机译:
灌肠期间植入型材的演化特征
作者:
Valery I. Rudakov
;
Alexander A. Victorov
;
Yuri I. Denisenko
;
Boris V. Mochalov
;
Vladimir V. Ovcharov
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
Thermodiffusion;
temperature gradient;
heat of transport;
28.
Silicon avalanche photodiodes for particle detection
机译:
硅雪崩光电二极管用于粒子检测
作者:
I.B. Chistokhin
;
O.P. Pchelyakov
;
E.G. Tishkovsky
;
V.I. Obodnikov
;
V.V. Maksimov
;
A.A.Ivanov
;
E. Gramsch
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
Avalanche photodiode;
gain;
particle detection;
silicon;
29.
Measurement of atomic hydrogen flow density during GaAs surface cleaning
机译:
GaAs表面清洁过程中原子氢气密度的测量
作者:
V.A. Kagadei
;
E.V. Nefyodtsev
;
D.I. Proskurovski
;
S.V. Romanenko
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
atomic hydrogen;
surface cleaning;
sensor;
flow density;
30.
An End Point Detection Method on the Base of Induced Current and an Automatic Control Device for an Ion Etching System
机译:
用于离子蚀刻系统的诱导电流基底的终点检测方法和用于离子蚀刻系统的自动控制装置
作者:
S.B.Simakin
;
G.D.Kuznetsov
;
E.A.Mitrofanov
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
ion etching;
ion beam etching;
induced current;
end point detection;
31.
A plane wave diffraction on a pin-hole in a film with a finite thickness and real electrodynamic properties
机译:
具有有限厚度和真实电动力学性质的薄膜中的引脚孔上的平面波衍射
作者:
Nikolay I. Chkhalo
;
Illarion A. Dorofeev
;
Nikolay N. Salashchenko
;
Mikhail N. Toropov
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
Diffraction on a pin-hole;
point diffraction interferometer;
Green function;
scalar diffraction theory;
32.
The new approach in the determination of the dependency of sur-face charge density on semiconductor surface potential based voltage–capacity analysis of the depletion region of MIS-structures
机译:
新方法在确定耗尽区半导体表面电位电压分析的依次依赖性的依赖性
作者:
G.V.Chucheva
;
A.G.Zhdan
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
MIS-structure;
quasistatic C-V-characteristics;
surface potential;
extra thin oxide;
degenerated and quantum electron gas;
33.
Intersubband optical transitions in InAs/GaSb broken-gap quantum wells
机译:
INAS / GASB破损间隙量子阱中的间隙光学过渡
作者:
I. Semenikhin
;
A. Zakharova
;
K. Nilsson
;
K. A. Chao
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
heterostructures;
quantum wells;
optical transitions;
34.
Radiation induced leakage due to stochastic charge trapping inisolation layers of nanoscale MOSFETs
机译:
由于随机电荷捕获的纳米MOSFET的分离层引起辐射引起的泄漏
作者:
G. I. Zebrev
;
1 M. S. Gorbunov
;
V. S. Pershenkov
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
Leakage;
SOI;
SEE;
TID;
high-K insulators;
nanoscale MOSFET;
35.
The method for the determination of electrical self-capacitance of the atomic and molecular scale objects
机译:
用于确定原子和分子尺度对象的电自电容的方法
作者:
V.V. Shorokhov
;
E.S. Soldatov
;
V.G. Elenskiy
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
Nanoelectronics;
molecular single electronics;
molecular self-capacitance;
36.
Modeling of Powerful GaAs MESFET
机译:
强大的Gaas Mesfet建模
作者:
A. Shestakov
;
A. Myasnikov
;
K. Zhuravlev
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
modeling;
gallium arsenide;
high power MESFET;
37.
Al_xGa_(1-x)NGaN structure diagnostic by C-V characteristics method
机译:
AL_XGA_(1-X)N GAN结构通过C-V特征方法诊断
作者:
K.L. Enisherlova
;
I.B.Gulyaev
;
V.G.Goryachev
;
A.U.Dorofeev
;
E. M .Temper
;
N.B. Gladisheva
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
Al_xGaNGaN;
two-dimensional electron gas;
38.
Comparative Analysis of Pseudo-Potential and Tight-Binding BandStructure Calculations with an Analytical Two-Band k.p Model:Conduction Band of Silicon
机译:
分析双带K.P模型伪电位和紧密结合带状结构计算的比较分析:硅导通带
作者:
Viktor A. Sverdlov
;
Hans Kosina
;
Siegfried Selberherr
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
silicon band structure;
k.p theory;
tight-binding method;
empirical pseudo-potential method;
39.
Mask Image Formation by Electron Beam Deposition from Vapor Phase
机译:
通过电子束沉积从气相沉积掩模图像形成
作者:
M.A.Bruk
;
E.N.Zhikharev
;
S.L.Shevchuk
;
I.A.Volegova
;
A.V.Spirin
;
E.N.Teleshov
;
V.A.Kalnov
;
Yu.P.Maishev
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
direct mask formation;
electron beam deposition;
ion beam etching;
40.
Simulation, fabrication and dynamics characteristicsof electrostatically actuated switches
机译:
静电驱动开关的仿真,制造和动力学特性
作者:
A.V. Postnikov
;
Amirov
;
V.V. Naumov
;
V.A. Kalnov
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
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2008年
关键词:
resonators;
voltage;
fabrication;
41.
Influence of vacancy clusters on the adhesion properties of interfaces
机译:
空位簇对界面粘附性能的影响
作者:
R. Goldstein
;
T. Makhviladze
;
M. Sarychev
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
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2008年
关键词:
cluster;
interface;
surface tension;
vacancy;
supersaturation;
42.
Method of creation of monomolecular transistor with 'overhanging' electrodes
机译:
用“悬垂”电极创造单分子晶体管的方法
作者:
I.V. Sapkov
;
E.S. Soldatov
;
V.G. Elensky
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
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2008年
关键词:
mono-molecular transistor;
single-electronics;
transistor;
electromigration;
nanogap;
43.
Formation of TiN/CoSi_2 bilayer from Co/Ti/Si structurein a non-isothermal reactor
机译:
来自Co / Ti / Si结构的锡/宇宙_2双层的形成非等温反应器
作者:
Valery I. Rudakov
;
Valery N. Gusev
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
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2008年
关键词:
Rapid thermal annealing;
temperature gradient;
TiN/CoSi_2 contact system;
44.
Surprising phase transformation of a-Si:H films under femtosecond laser impact
机译:
A-Si的令人惊讶的相变:H Femtosecond激光冲击下的薄膜
作者:
Vladimir A. Volodin
;
Mikhail D. Efremov
;
Grigoriy A. Kachurin
;
Sergey A. Kochubei
;
Alexander G. Cherkov
;
M. Deutschmann
;
N. Baersch
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
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2008年
关键词:
amorphous and polycrystalline silicon;
pulse laser annealing;
Raman spectroscopy;
non-refractory substrates;
45.
Parasitic Bipolar Effect in Modern SOI CMOS Technologies
机译:
现代SOI CMOS技术中的寄生双极效应
作者:
V. E. Shunkov
;
M. S. Gorbunov
;
G.I. Zebrev
;
B.V. Vasilegin
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
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2008年
关键词:
Single Event Effect;
parasitic bipolar transistor;
radiation hardness;
SO1gizebrev;
46.
Monte Carlo study of influence of channel length and depth onelectron transport in SOI MOSFETs
机译:
Monte Carlo在SOI MOSFET中的信道长度和深度电气传输影响的研究
作者:
Oleg Zhevnyak
;
Vladimir Borzdov
;
ndrey Borzdov
;
Dmitry Pozdnyakov
;
Fadei Komarov
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
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2008年
关键词:
Monte Carlo simulation;
SOI MOSFET;
channel length;
channel depth;
fully depleted SOI;
drift velocity;
47.
High energy microelecromechanical oscillatorbased on the electrostatic microactuator
机译:
静电微致动器上的高能微观机械振荡器
作者:
I. Baginsky
;
E. Kostsov
;
V. Sobolev
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
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2008年
关键词:
electrostatic micromotor;
MEMS;
vibrator;
high energy output;
48.
Micro-scale domain structure formation by e-beam point writing on the Y cut surfaces of LiTaO_3 crystals
机译:
通过LiTaO_3晶体的Y切割表面上的电子束点写入微尺度域结构形成
作者:
L.S.Kokhanchik
;
D.V. Punegov
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
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2008年
关键词:
lithium tantalate;
polarization reversal;
Y-cut;
periodic domain structures;
electron beam point writing;
49.
The spatial features Al_xGa_(1-x)N/GaN heterostructure
机译:
空间特征AL_XGA_(1-x)n / gaN异质结构
作者:
K. L. Enisherlova
;
R.M.Immamov
;
Subbotin
;
T.F. Rusak
;
E.M. Temper
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
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2008年
关键词:
features;
heterostructure;
investigations;
50.
Investigation of re-switching properties of ferromagnetic contacts inPy/Mo microstructures
机译:
RING / MO微结构的铁磁性接触重新切换性能的研究
作者:
Vinnichenko V.Yu
;
Chernykh A.V.
;
Fomin L.A.
;
Mikhailov G.M.
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
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2008年
关键词:
Magnetoresistance;
cross resistance;
magnetic contrast;
51.
Electromechanical energy conversion in the nanometer gaps
机译:
纳米隙中的机电能量转换
作者:
E.G. Kostsov
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
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2008年
关键词:
MEMS;
micromotors;
electromechanical energy conversion;
nanometer gap;
high dielectric per-meability;
52.
Non-volatile electrically reprogrammable memory matrix on self-forming conducting nanostructures with an integrated transistorelectric decoupling of cells
机译:
具有细胞集成晶体管去耦的自塑导电纳米结构上的非易失性电性再编程存储矩阵
作者:
Victor M. Mordvintsev
;
Sergey E. Kudrjavtsev
;
Valeriy L. Levin
;
Ludmila A. Tsvetkova
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
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2008年
关键词:
electroforming;
self-formation;
conductive medium;
nanostructure;
non-volatile memory;
electric switching;
memory cell;
53.
Falling down capacitance impedance under light illumination of MDS-structures with three-layer SiN_X dielectrics
机译:
在带有三层SIN_X电介质的MDS结构的光照下落下电容阻抗
作者:
Sofia A. Arzhannikova
;
Mikhail D. Efremov
;
Vladimir A. Volodin
;
Genadiy N. Kamaev
;
DenisV. Marin
;
Vladimir S. Shevchuk
;
Artem A. Vaschenkov
;
Sergey A. Kochubei
;
Alexander A.Popov
;
Yuri A. Minakov
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
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2008年
关键词:
silicon nanocrystals;
non-volatile memory;
Raman scattering;
photoluminescence;
54.
Molecular-beam epitaxy of ultrathin Si films on sapphire
机译:
蓝宝石超薄Si薄膜的分子束外延
作者:
P.A. Shilyaev
;
D.A. Pavlov
;
E.V. Korotkov
;
M.V. Treushnikov
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
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2008年
关键词:
silicon on sapphire;
molecular-beam epitaxy;
55.
Temperature effect on electron transport in conventional shortchannel MOSFETs: Monte Carlo simulation
机译:
传统短路MOSFET中电子传输的温度效应:蒙特卡罗模拟
作者:
Oleg Zhevnyak
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
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2008年
关键词:
Monte Carlo simulation;
temperature effect;
electron scatterings;
drift velocity;
electron mobility;
short-channel MOSFETs;
56.
A new source of a reference spherical wave for a point diffraction interferometer
机译:
用于点衍射干涉仪的参考球面波的新来源
作者:
Nikolay I.Chkhalo
;
Alexander Yu. Klimov
;
Denis G. Raskin
;
Vladimir V. Rogov
;
Nikolay N. Salashchenko
;
Mikhail N. Toropov
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
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2008年
关键词:
Point diffraction interferometry;
optical fiber;
surface shape measurements;
57.
Investigation of fluorescence on wavelength 13.5 nm of x-ray tube for nanolithographer
机译:
用于纳米螺旋管X射线管波长13.5nm荧光的研究
作者:
N. Chkhalo
;
I. Zabrodin
;
I. Kaskov
;
E. Kluenkov
;
A. Pestov
;
N. Salashchenko
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
X-ray tubes;
fluorescence simulation;
Monte-Carlo method;
58.
Manufacturing and investigation of objective lens for ultrahigh resolution lithography facilities
机译:
超高分辨率光刻设施的物镜制造与调查
作者:
Nikolay I.Chkhalo
;
Evgeniy B. Kluenkov
;
Aleksey E. Pestov
;
Denis G. Raskin
;
Nikolay N. Salashchenko
;
Mikhail N. Toropov
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
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2008年
关键词:
EUV lithography;
point diffraction interferometry;
surface shape measurement and correction;
aspherical mirror;
59.
Correction of the EUV mirror substrate shape by ion beam
机译:
通过离子束校正EUV镜像形状的校正
作者:
N. Chkhalo
;
L. Paramonov
;
A. Pestov
;
D. Raskin
;
N. Salashchenko
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
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2008年
关键词:
Ion etching;
EUV lithography;
multilayer mirrors;
roughness;
60.
Capabilities of microinterferometer with digital recording of imagesfor study micro objects with sub nanometer resolution
机译:
具有亚纳米分辨率的微量录像的微交织仪的能力
作者:
Nikolay I.Chkhalo
;
Denis G. Raskin
;
Nikolay N. Salashchenko
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
Interference microscopy;
surface roughness;
thin film thickness;
space resolution;
61.
Investigation of impurity composition of atomic hydrogen beam formed by a low-pressure arc-discharge source
机译:
低压电弧源形成的原子氢束杂质组成的研究
作者:
V.A. Kagadei
;
D.I. Proskurovski
;
S.V. Romanenko
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
atomic hydrogen;
impurity composition;
sheet concentration;
silicon;
62.
Films With Regulated Optical And Electrophysical Parameters
机译:
具有调节光学和电神法参数的薄膜
作者:
A.E. Akinin
;
I.S. Borisov
;
V.V. Chernokogin
;
Y.A. Kontsevoy
;
E.A. Mitrofanov
;
S.B. Simakin
;
Y.I. Zavadsky
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
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2008年
关键词:
magnetron deposition;
ion beam deposition;
reactive deposition;
end point detection;
63.
Pulsed laser deposition of layers and nanostructures based oncadmium telluride and bismuth
机译:
脉冲激光沉积层和纳米结构基碲化镉和铋
作者:
Arsham Yeremyan
;
Hovsep Avetisyan
;
Karapet Avjyan
;
Gevorg Vardanyan
;
Ashot Khachatryan
会议名称:
《SPIE Conference on Micro- and Nanoelectronics》
|
2008年
关键词:
PLD;
multilayer structure;
monolayer;
growth temperature;
bismuth;
CdTe;
wurtzite;
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