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1.
Hybrid neural networks for ISFET source separation
机译:
用于ISFET源分离的混合神经网络
作者:
Sergio Bermejo
;
Guillermo Bedoya
;
Joan Cabestany
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
ion-selective field effect transistors;
array processing;
neural networks;
radial basis functions (RBF) and independent component analysis;
2.
Optical components and actuators for integrated near-field optical data storage
机译:
用于集成近场光学数据存储的光学组件和执行器
作者:
K.Hane
;
Y.Kanamori
;
M.Sasaki
;
J.H.Song
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
optical MEMS;
micro-probe;
micro-stage;
actuator;
3D lithography;
3.
Low Temperature InO_X Thin Films for O_3 and NO_2 Gas Sensing
机译:
用于O_3和NO_2气敏的低温InO_X薄膜
作者:
G. Kiriakidis
;
H. Ouacha
;
N. Katsarakis
;
K. Galatsis
;
W. Wlodarski
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
thin films;
InO_X;
transparent conducting films;
TCO;
gas sensors;
ozone-nitrogen oxides detectors;
4.
Integrated near-field optical head for hybrid recording
机译:
集成近场光学头,用于混合记录
作者:
Y. Chiu
;
M. Wu
;
H.P. D. Shieh
;
Y.T. Sun
;
H.L. Chou
;
W. Hsu
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
near-field recording;
hybrid recording;
solid immersion lens;
micro coil;
fiber lens;
sub-wavelength aperture;
air bearing surfaces;
5.
Long periodic grating in multimode fiber for measuring traces of chromium in water
机译:
多模光纤中的长周期光栅,用于测量水中的痕量铬
作者:
P. Suresh Kumar
;
C. P. G. Vallabhan
;
V.P.N. Nampoori
;
P. Radhakrishnan
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
fiber optic evanescent wave sensor;
electro optic devices;
fiber optic chromium sensor;
chemical sensing using LPGs;
6.
FABRICATION OF NANO INTERDIGITATED ELECTRODES
机译:
纳米分散电极的制造
作者:
Luca Berdondini
;
Martin Kalbac
;
Sebastian Gautsch
;
Maurizio Gullo
;
Urs Staufer
;
Milena Koudelka-Hep
;
Nico F. de Rooij
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
7.
Modified Sol-Gel Derived PZT Ceramics
机译:
改性的溶胶凝胶衍生的PZT陶瓷
作者:
S. A. Ibrahim
;
M. S. Ahmed
;
R. M. Ramadan
;
A. M. Amer
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
PZT ceramics;
sol-gel process;
sintering;
piezoelectric properties;
8.
Micro-fluid pump in brass with a built in magnetic driver
机译:
黄铜微流体泵,带内置磁力驱动器
作者:
R. M. H. Atta
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
micropump;
MEMs;
flat micro coils;
magnetic activators;
9.
Resonating cantilever mass sensor with mechanical on-plane excitation
机译:
具有机械平面激励的共振悬臂质量传感器
作者:
J. Teva
;
G. Abadal
;
X. Jorda
;
X. Borrise
;
Z. Davis
;
N. Bamiol
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
MEMS;
NEMS;
mass sensor;
resonant cantilever;
MEMS dynamic simulation;
on-plane excitation;
shear mode piezoelectric;
H-bridge power circuit;
10.
Sigma-Delta Microsystems for readout and servo control
机译:
用于读取和伺服控制的Sigma-Delta Microsystems
作者:
Nicolas Delorme
;
Cyril Condemine
;
Daniel Barbier
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
sigma-delta;
MEMs;
sensor;
actuator;
readout;
servo control;
11.
Smart Tong Grippers for Micro-Parts
机译:
微型钳用智能钳
作者:
Jochen Schlick
;
Detlef Zuehlke
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
micro-assembly;
gripper;
gripping force;
flexure hinges;
magnetic displacement sensor;
12.
Stereolithography of lead zirconate titanate ceramics for MEMS applications
机译:
MEMS应用中锆钛酸铅陶瓷的立体光刻
作者:
Olivier Dufaud
;
Herve Le Gall
;
Serge Corbel
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
stereolithography;
microfabrication;
PZT;
microsystems;
microfluidic;
13.
A Novel Method for the Measurement of the Residual Stress of Surface-micromachined Structures for MEMS
机译:
一种测量MEMS表面微机械结构残余应力的新方法
作者:
Jong-Hoon Kim
;
Jeong-Gil Kim
;
Soon-Chang Yeon
;
Jun-Hee Hahn
;
Ho-Young Lee
;
Yong-Hyup Kim
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
MEMS;
surface-micromachined;
residual stress;
14.
Fluidic Technology: Adding Control, Computation and Sensing Capability to Microfluidics
机译:
流体技术:为微流控技术增加控制,计算和传感功能
作者:
Tadeusz M. Drzewiecki
;
Narciso F. Macia
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
fluidics;
microfluidics;
MEMS;
fluid amplifier;
vortex valves;
micropropulsion;
gas-analyzer-on-a-chip;
signal processing;
15.
DESIGN AND FABRICATION OF A THREE-DIMENSIONAL LONG-STRETCH MICRO DRIVE BY ELECTROPLATING
机译:
电镀长三维微驱动器的设计与制造
作者:
Cheen-Tai Wu
;
Wen-Chuan Tai
;
Chen-Peng Hsu
;
Wensyang Hsu
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
electro-thermal;
three-dimensional;
microactuator;
hinge;
electroplating;
16.
Characterization of SU-8 as a resist for electron beam lithography
机译:
SU-8作为电子束光刻的抗蚀剂的特性
作者:
Arun Kumar Nallani
;
Sang Won Park
;
Jeong Bong Lee
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
electron beam lithography;
SU-8 negative photo resist;
high aspect ratio;
electroplating;
NEMS;
17.
Development of strain sensors utilizing giant magnetorestistive and tunneling magnetoresistive devices
机译:
利用巨型磁阻和隧穿磁阻器件开发应变传感器
作者:
Markus Loehndorf
;
Stefani Dokupil
;
Manfred Ruehrig
;
Joachim Wecker
;
Eckhard Quandt
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
strain sensors;
magnetostriction;
giant magnetoresistance (GMR);
magnetic tunneling junctions (MTJ's);
18.
Design fabrication and test of micromachined silicon capacitive gas sensors with integrated read-out
机译:
具有集成读出功能的微机械硅电容式气体传感器的设计制造和测试
作者:
Jorge Amirola
;
Angel Rodriguez
;
Luis Castaner
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
MEMS;
microcantilever;
gas sensors;
capacitive sensing;
19.
Dynamic characterization of SiO_2-Au microcantilevers using Michelson interferometer
机译:
用迈克尔逊干涉仪动态表征SiO_2-Au微悬臂梁
作者:
Guillaume Marinier
;
Stefan Dilhaire
;
Luis David Patino Lopez
;
Mohamed Benzohra
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
MEMS;
michelson interferometer;
microcantilevers;
resonant frequency;
young's modulus;
20.
IC Technology Trends for Wireless Local Area Networks
机译:
无线局域网的IC技术趋势
作者:
Neil Weste
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
WLAN;
UNII;
WiFi;
OFDM;
DSSS;
CMOS;
SOC;
21.
Observability and exact controllability of piezoelectric medium coupled to electronic systems
机译:
与电子系统耦合的压电介质的可观察性和精确可控性
作者:
Ghouti Senouci Bereksi
;
Abdellatef Benchaib
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
observability;
exeat controllability;
electro-mechanical system;
22.
Overview of MEMS/NEMS Technology Development for Space Applications at NASA/JPL
机译:
NASA / JPL用于太空应用的MEMS / NEMS技术开发概述
作者:
Thomas George
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
MEMS;
NEMS;
space;
sensor;
NASA;
JPL;
inertial guidance;
micro-propulsion;
micro-electroplating;
micro-instruments;
TRL;
PICOSAT;
23.
Laser beam micro forming as a new adjustment technology using dedicated actuator structures
机译:
激光束微成型是使用专用执行器结构的新调整技术
作者:
A. Olowinsky
;
L. Bosse
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
laser beam micro forming;
actuators;
upsetting mechanism;
lens adjustment;
24.
High performance polysilicon air-gap thin film transistor on low temperature substrates
机译:
低温基板上的高性能多晶硅气隙薄膜晶体管
作者:
H. Mahfoz-Kotb
;
A.C. Salauen
;
T. Mohammed-Brahim
;
N. Coulon
;
O. Bonnaud
;
J-Y Mevellec
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
doped polysilicon;
residual stress;
germanium;
μ-raman;
air-gap;
25.
Thermal actuator improvements: tapering and folding
机译:
热促动器的改进:渐缩和折叠
作者:
Michael J Sinclair
;
Kerwin Wang
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
thermal actuator;
electrothermal;
thermomechanical;
microactuator;
26.
Optomechanical cycles of photochromic-polymer microsystems induced by laser irradiation
机译:
激光辐照引起的光致变色聚合物微系统的光机械循环
作者:
A. Athanassiou
;
M. Kalyva
;
K. Lakiotaki
;
S.Georgjou
;
C. Fotakis
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
laser;
photochromic polymers;
spiropyran;
optomechanical actuation;
27.
Microstructuring of PYREX glass and polymers by excimer laser
机译:
准分子激光对PYREX玻璃和聚合物的微结构化
作者:
Bernd Keiper
;
Robby Ebert
;
Rico Boehme
;
Horst Exner
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
microstructuring;
excimer laser;
PYREX glass;
polymers, microsystems technology;
28.
Rapid prototyping and structure generation using three-dimensional nanolithography with electron beam induced chemical reactions
机译:
使用电子束诱导的化学反应的三维纳米光刻技术,快速进行原型制作和结构生成
作者:
Hans W.P. Koops
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
nanolithography;
electron beam;
deposition;
etching;
nano-electronics;
nano-optics;
nano-analytics;
nano-biotechnology;
29.
Polymeric mechanical sensors with integrated readout in a microfluidic system
机译:
聚合物机械传感器,在微流体系统中具有集成读数
作者:
M. Calleja
;
P. Rasmussen
;
A. Johansson
;
A. Boisen
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
biosensors;
microfluidics;
piezoresistive read-out;
micromechanical sensors;
polymer cantilevers;
30.
Polymer-based MEMS accelerometer with modified organic electronics and thin film transistor
机译:
基于聚合物的MEMS加速度计,具有改进的有机电子器件和薄膜晶体管
作者:
Vijay K. Varadan
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
31.
Shell-type micromechanical oscillator
机译:
壳型微机械振荡器
作者:
Maxim Zalalutdinov
;
Keith Aubin
;
Christopher Michael
;
Robert B. Reichenbach
;
Tuncay Alan
;
Alan Zehnder
;
Brian Houston
;
Jeevak Parpia
;
Harold Craighead
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
shell;
resonator;
thermal drive;
positive feedback;
self-sustained oscillations;
frequency stability;
32.
Simulation of bulk micromachined dvibration sensors with low noise
机译:
低噪声大体积微机械振动传感器的仿真
作者:
Liu Xiaowei
;
Huo Mingxue
;
Chen Weiping
;
Chen Qiang
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
micro-vibration sensor;
multi-folding beam;
FEM;
MEMS;
33.
Smart sensors development based on a distributed bus for microsystems applications
机译:
基于分布式总线的微系统智能传感器开发
作者:
C. Ferrer
;
B. Lorente
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
microsystems;
smart sensors;
VHDL;
IP;
aensor bus;
microinstrumentation;
34.
Smart electrostrictive composite materials for actuators
机译:
用于执行器的智能电致伸缩复合材料
作者:
N. Yu
;
T. Somphone
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
actuator;
smart material;
electrostrictive material;
electro-mechanical coupling;
PMN;
composite material;
35.
Soft lithographic patterning of oxide thin films
机译:
氧化物薄膜的软光刻图案
作者:
Estefania Abad
;
Roger W. Whatmore
;
Qi Zhang
;
Zhaorong Huang
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
soft lithography;
micro- and nano-fabrication;
lead zirconate titanate oxide (PZT);
micro contact printing (mCP) and self assembled monolayers (SAMs);
36.
SOI-Silicon as structural layer for NEMS applications
机译:
SOI硅作为NEMS应用的结构层
作者:
M. Villarroya
;
E. Figueras
;
F. Perez-Murano
;
F. Campabadal
;
J. Esteve
;
N. Barniol
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
NEMS;
cantilever sensor;
nanoresonator;
CMOS-compatibilization;
SOI substrate;
microelectronic technology;
nanofabrication;
system-on-chip;
37.
Surface Microstructuring of Biocompatible Bone Analogue Material HAPEX~(TM) using LIGA Technique and Embossing
机译:
使用LIGA技术并压花的生物相容性骨类似物HAPEX〜(TM)的表面微结构化
作者:
Andreas Schneider
;
Susan Rea
;
Ejaz Huq
;
William Bonfield
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
HAPEX~(TM);
LIGA;
microstructuring;
surface morphology;
biocompatible material;
38.
Adhesive wafer bonding for MEMS applications
机译:
MEMS应用的粘合晶圆键合
作者:
V. Dragoi
;
T. Glinsner
;
G. Mittendorfer
;
B. Wieder
;
P. Lindner
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
MEMS;
adhesive wafer bonding;
dissimilar materials;
spin-on glass;
BCB;
low temperature processing;
39.
A Pencil Probe System for Electrochemical Analysis and Modification in Nanometer Dimensions
机译:
用于纳米级电化学分析和修饰的笔式探针系统
作者:
R. J. Fasching
;
Y. Tao
;
K. Hammerick
;
F. B. Prinz
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
NEMS-technology;
SECM;
nano-electrodes;
tip probes;
40.
Fusion-Bonded Multilayered SOI for MEMS Applications
机译:
适用于MEMS应用的融合多层SOI
作者:
Kumaresa Somasundram
;
David Cole
;
Cormac McNamara
;
Anne Boyle
;
Paul McCann
;
Claire Devine
;
Andrew Nevin
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
MEMS;
MEOMS;
SOI;
fusion bonding;
multilayer-stack SOI;
stress, buried layer;
41.
Compatibility of Gas and Flow Sensor Technology Fabrication
机译:
气体和流量传感器技术制造的兼容性
作者:
Neus Sabate
;
Isabel Gracia
;
Carles Cane
;
Jordi Puigcorbe
;
Judith Cerda
;
Joan Ramon Morante
;
Javier Berganzo
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
42.
Contactless laser bending of silicon microstructures
机译:
硅微结构的非接触式激光弯曲
作者:
Exner
;
H.
;
Loeschner
;
U.
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
laser bending;
micro systems;
silicon;
contactless;
43.
Characterization of Embedded Root Method in UV-LIGA Process
机译:
UV-LIGA工艺中嵌入根法的表征
作者:
Chien-Hung Ho
;
Wensyang Hsu
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
embedded root;
SU-8;
UV-LIGA;
electroplating;
44.
Compact and smart laser diode systems for cancer treatment
机译:
紧凑而智能的激光二极管系统,用于癌症治疗
作者:
Vyacheslav Svirin
;
Victor Sokolov
;
Tatiana Solovieva
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
diode laser;
fiber cable;
thermosensor;
cancer;
photodynamic therapy (PDT);
laser-induced thermotherapy (LITT);
45.
Electroactive characteristics of hydrogels composed of poly(vinyl alcohol) and poly(N-isopropylacrylamide)
机译:
聚乙烯醇和聚N-异丙基丙烯酰胺组成的水凝胶的电活性特性
作者:
Seon Jeong Kim
;
Sang Jun Park
;
Sun I. Kim
;
In Young Kim
;
Young Moo Lee
;
Hee Chan Kim
;
Taek Dong Chung
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
hydrogel;
swelling;
bending behavior;
ionic conductivity;
46.
Electronic circuitry development in a Micropyrotechnic system for micropropulsion applications
机译:
用于微推进应用的微烟火系统中的电子电路开发
作者:
Manel Puig-Vidal
;
Jaime Lopez
;
Pere Miribel
;
Enric Montane
;
Jose Ma Lopez-Villegas
;
Josep Samitier
;
Carole Rossi
;
Thierry Camps
;
Maxime Dumonteuil
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
microthruster;
polysilicon resistor;
ignition;
pre-heating process;
2D addressing;
47.
Fabrication of bead size sorting chip for chemical array sensor
机译:
化学阵列传感器微珠尺寸分选芯片的制作
作者:
Byung Hwa Park
;
Yoon Seok Park
;
Young-Soo Sohn
;
Dean P. Neikirk
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
chemical array sensor;
beads;
size sorting;
48.
Fabrication of micromachined TiNi based microgripper with compliant structure
机译:
具有柔顺结构的微机械化TiNi基微抓具的制造
作者:
Yongqing Fu
;
Hejun Du
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2003年
关键词:
sputter-deposition;
TiNi thin film;
shape memory;
martensite transformation;
49.
Improved thermal and electrical design for an all-Si thermoelectric micropower source
机译:
改进了全SI热电微电子源的热电设计
作者:
I. Donmez
;
M. Salleras
;
C. Calaza
;
G. Gadea
;
A. Morata
;
A. Tarancon
;
L. Fonseca
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
50.
Powering a leadless pacemaker using a PiezoMEMS energy harvester
机译:
使用Piezomems Energy Harvester供电无侵扰的起搏器
作者:
Nathan Jackson
;
Oskar Olszewski
;
Cian OMurchu
;
Alan Mathewson
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
51.
FT-IR analysis of high temperature annealing effects in a-SiC:H thin films
机译:
A-SiC中高温退火效应的FT-IR分析:H薄膜
作者:
Tobias Frischmuth
;
Michael Schneider
;
Thomas Grille
;
U. Schmid
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
52.
MEMS-based seed generator applied to a chaotic stream cipher
机译:
基于MEMS的种子发生器应用于混沌流密码
作者:
M. Garcia-Bosque
;
A. Perez
;
C. Sanchez-Azqueta
;
G. Royo
;
S. Celma
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
53.
Actuation control of a PiezoMEMS biomimetic robotic jellyfish
机译:
压电仿真机器人水母的致动控制
作者:
Alvaro Alejandre
;
Oskar Olszewski
;
Nathan Jackson
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
54.
Identification of squid species by melting temperature shifts on fluorescence melting curve analysis (FMCA) using single dual-labeled probe
机译:
用单一双标探针熔化荧光熔化曲线分析(FMCA)对鱿鱼物种的鉴定
作者:
Eunjung Koh
;
Ha Jeong Song
;
Na Young Kwon
;
Gi Won Kim
;
Kwang Ho Lee
;
Soyeon Jo
;
Sujin Park
;
Jihyun Park
;
Eun Kyeong Park
;
Seung Yong Hwang
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
55.
Universal and inductorless DC/DC converter for multi-output power supplies in sensor and actuator networks
机译:
用于传感器和执行器网络中的多输出电源的通用和电感直流/直流转换器
作者:
Sergio Saponara
;
Gabriele Ciarpi
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
56.
MEMS direction finding acoustic sensor
机译:
MEMS方向查找声学传感器
作者:
Gamani Karunasiri
;
Fabio Alves
;
William Swan
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
57.
Comparative assessment of PVDF and PVDF-TrFE piezoelectric polymers for flexible actuators applications
机译:
PVDF和PVDF-TRFE压电聚合物对柔性执行器应用的比较评估
作者:
G. Gutierrez-Sanchez
;
J. Hernando-Garcia
;
Victor Ruiz-Diez
;
O. J. Dura
;
M. A. Lopez de la Torre
;
J. L. Sanchez-Rojas
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
58.
Comparison of methods for static charge energy harvesting on aircraft
机译:
飞机上静电能量收获方法的比较
作者:
M. E. Kiziroglou
;
Th. Becker
;
E. M. Yeatman
;
U. Schmid
;
J. W. Evans
;
P. K. Wright
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
59.
Modeling the microstructure of surface by applying BRDF function
机译:
通过应用BRDF功能来建立表面微观结构
作者:
Kamil Plachta
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
60.
Integrated TiN coated porous silicon supercapacitor with large capacitance per foot print
机译:
集成锡涂层多孔硅超级电容器,每脚电容大电容
作者:
Kestutis Grigoras
;
Leif Gronberg
;
Jouni Ahopelto
;
Mika Prunnila
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
61.
Influence of binding material of PZT coating on microresonator's electrical and mechanical properties
机译:
PZT涂层结合材料对微生物电气和力学性能的影响
作者:
Giedrius Janusas
;
Asta Guobiene
;
Arvydas Palevicius
;
Alfredas Brunius
;
Elingas Cekas
;
Valentinas Baltrusaitis
;
Rokas Sakalys
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
62.
Inkjet-printed dissolved oxygen and pH sensors on flexible plastic substrates
机译:
柔性塑料基材上的喷墨印刷溶解氧和pH传感器
作者:
A. Moya
;
M. Zea
;
E. Sowade
;
R. Villa
;
E. Ramon
;
R. R. Baumann
;
G. Gabriel
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
关键词:
dissolved oxygen;
pH;
iridium oxide;
inkjet printed sensors;
plastic substrates;
63.
Development of biosensors for non-invasive measurements of heart failure biomarkers in saliva
机译:
唾液中心力衰竭生物标志物的非侵入性测量生物传感器的发展
作者:
Albert Alcacer
;
Angelos Streklas
;
Abdoullatif Baraket
;
Nadia Zine
;
Abdelhamid Errachid
;
Joan Bausells
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
64.
Four segment piezo based micropump
机译:
四个段压电基微型泵
作者:
Rakesh Kumar Haldkar
;
Tanuja Sheorey
;
Vijay Kumar Gupta
;
M. Zahid Ansari
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
65.
Radio link design framework for WSN deployment and performance prediction
机译:
无线电链路设计框架,用于WSN部署和性能预测
作者:
Sergio Saponara
;
Filippo Giannetti
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
66.
Asymmetric resonance response analysis of a thermally excited silicon microcantilever for mass-sensitive nanoparticle detection
机译:
热激发硅片微膜的不对称共振响应分析,用于质量敏感纳米粒子检测
作者:
Maik Bertke
;
Gerry Hamdana
;
Wenze Wu
;
Hutomo Suryo Wasisto
;
Erwin Peiner
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
67.
Thin film system with integrated load and temperature sensors for the technical application in deep drawing process
机译:
具有集成负载和温度传感器的薄膜系统,用于深度绘图过程中的技术应用
作者:
Saskia Biehl
;
Nancy Paetsch
;
Eike Meyer-Kornblum
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
68.
Mini- and microgenerators applicable in the MEMS technology
机译:
适用于MEMS技术的迷你和微生物器
作者:
P. Fiala
;
Z. Szabo
;
P. Marcon
;
Z. Roubal
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
69.
Zirconium diboride thin films for use in high temperature sensors and MEMS devices
机译:
用于高温传感器和MEMS器件的锆Diboride薄膜
作者:
David M. Stewart
;
George P. Bernhardt
;
Robert J. Lad
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
70.
Analyses of electromagnetic and piezoelectric systems for efficient vibration energy harvesting
机译:
用于高效振动能量收集的电磁和压电系统分析
作者:
Z. Hadas
;
J. Smilek
;
O. Rubes
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
71.
Alkaline fuel cell with nitride membrane
机译:
碱性燃料电池用氮化物膜
作者:
Shen-Huei Sun
;
Moritz Pilaski
;
Jens Wartmann
;
Florian Letzkus
;
Benedikt Funke
;
Georg Dura
;
Angelika Heinzel
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
72.
Programmable differential capacitance-to-voltage converter for MEMS accelerometers
机译:
用于MEMS加速度计的可编程差分电容到电压转换器
作者:
G. Royo
;
C. Sanchez-Azqueta
;
C. Gimeno
;
C. Aldea
;
S. Celma
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
73.
MEMS-based array for hydrogen sulfide detection employing a phase transition
机译:
基于MEMS的阵列用于采用相变的硫化氢检测
作者:
B. Bierer
;
C. Dinc
;
H. Gao
;
J. Wollenstein
;
S. Palzer
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
74.
Low cost nanomechanical surfaces stress based sensors fabricated by hybrid materials
机译:
低成本的纳米机械表面应力基于混合材料制造的传感器
作者:
P. Escudero
;
J. Yeste
;
R. Villa
;
M. Alvarez
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
75.
A multi-functional MEMS-SPM for quantitative characterization of nano-objects
机译:
用于定量表征纳米物体的多功能MEMS-SPM
作者:
Zhi Li
;
Sai Gao
;
Uwe Brand
;
Karla Hiller
;
Nicole Wollschlager
;
Xianghui Zhang
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
关键词:
microelectromechanical system (MEMS);
atomic force microscopy (AFM);
scanning probe microscopy (SPM);
nanoforce transducer;
nanodimensional measurement;
nanomechanical measurement;
nanoindentation testing;
76.
Wax microfluidics light-addressable valve with multiple actuation
机译:
蜡微流体光可寻性阀门具有多种致动
作者:
M. Diaz-Gonzalez
;
G. Boix
;
C. Fernandez-Sanchez
;
A. Baldi
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
77.
Anti-collision radio-frequency identification system using passive SAW tags
机译:
使用被动锯标签的防碰撞射频识别系统
作者:
A. V. Sorokin
;
A. P. Shepeta
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
78.
Designing, modelling and testing of vibration energy harvester with nonlinear stiffness
机译:
非线性刚度振动能量收割机的设计,建模和测试
作者:
Ondrej Rubes
;
Zdenek Hadas
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
79.
Modeling high signal-to-noise ratio in a novel silicon MEMS microphone with comb readout
机译:
用梳读出模拟新型硅MEMS麦克风中的高信噪比
作者:
Johannes Manz
;
Alfons Dehe
;
Gabriele Schrag
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
80.
Parameter identification from frequency response of MEMS energy harvesters
机译:
MEMS能量收割机频率响应的参数识别
作者:
Binh Duc Truong
;
Cuong Phu Le
;
Einar Halvorsen
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
81.
Gold/polypyrrole nanorods for gas sensing application
机译:
用于气体传感应用的金/聚吡咯纳米棒
作者:
Milena Setka
;
Jana Drbohlavova
;
Stella Vallejos
;
Marian Marik
;
Eduard Llobet
;
Jaromir Hubalek
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
82.
Topologically optimised flexure hinge based XY stage
机译:
基于拓扑优化的弯曲铰链的XY阶段
作者:
Adil Han Orta
;
Evren Samur
;
Cetin Yilmaz
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
83.
Computational model and simulation for the whispering gallery modes inside micro-optical cavity
机译:
微光腔内耳语画廊模式的计算模型和仿真
作者:
Amir R. Ali
;
Abanoub M. Erian
;
Kirelloss Shokry
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
84.
Fluid-structure interaction modelling of the roof tile-shaped modes in piezoelectric plate microresonators
机译:
压电板微谐振器屋顶瓦形模式的流体结构相互作用建模
作者:
V. Ruiz-Diez
;
J. Toledo
;
J. Hernando-Garcia
;
G. Pfusterschmied
;
U. Schmid
;
J. L. Sanchez-Rojas
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
关键词:
MEMS;
piezoelectric;
AlN;
high order out-of-plane motion;
85.
Gravimetric humidity sensor based on ZnO nanorods covered piezoresistive Si microcantilever
机译:
基于ZnO纳米棒的重力湿度传感器覆盖压阻式SI微电子
作者:
Jiushuai Xu
;
Maik Bertke
;
Xiaojing Li
;
Alaaeldin Gad
;
Hao Zhou
;
Hutomo Suryo Wasisto
;
Erwin Peiner
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
86.
Efficient fluid transport by a bionically inspired micro-flapper: fluidic investigations using fully coupled finite element simulation
机译:
通过仿生灵感的微挡板提供高效的流体运输:使用完全耦合有限元模拟的流体研究
作者:
R. Behlert
;
G. Schrag
;
G. Wachutka
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
87.
Colorimetric sensor for bad odor detection using automated color correction
机译:
使用自动颜色校正,比色传感器用于不良气味检测
作者:
K. Schmitt
;
K. Tarantik
;
C. Pannek
;
I. Benito-Altamirano
;
O. Casals
;
C. Fabrega
;
A. Romano-Rodriguez
;
J. Wollenstein
;
J. D. Prades
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
88.
Innovative metal thermo-compression wafer bonding for microelectronics and MEMS devices
机译:
微电子和MEMS器件的创新金属热压缩晶圆键合
作者:
B. Rebhan
;
V. Dragoi
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
89.
Robust design of an inkjet-printed capacitive sensor for position tracking of a MOEMS-mirror in a Michelson interferometer setup
机译:
喷墨印刷电容传感器的鲁棒设计,用于迈克森干涉仪安装中的MoEms镜像的位置跟踪
作者:
Lisa-Marie Faller
;
Hubert Zangl
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
90.
Direct measurement for organic solvents diffusion using ultra-sensitive optical resonator
机译:
使用超敏感光学谐振器的有机溶剂扩散的直接测量
作者:
Amir R. Ali
;
Catherine M. Elias
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
91.
Optimal design of a microgripper-type actuator based on AlN/Si heterogeneous bimorph
机译:
基于ALN / Si异质双芯片的微鳃型执行器的最佳设计
作者:
D. Ruiz
;
A. Diaz-Molina
;
O. Sigmund
;
A. Donoso
;
J. C. Bellido
;
J. L. Sanchez-Rojas
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
92.
User centered integration of Internet of Things devices
机译:
用户居中集成的东西设备
作者:
Roberto Manione
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
关键词:
Internet of Things;
Intelligent Sensors;
Reactive Systems;
Model-Based Design;
Graphical IDE;
93.
Characterization of oscillator circuits for monitoring the density-viscosity of liquids by means of piezoelectric MEMS microresonators
机译:
通过压电MEMS微生物监测液体粘度的振荡电路的表征
作者:
J. Toledo
;
V. Ruiz-Diez
;
G. Pfusterschmied
;
U. Schmid
;
J. L. Sanchez-Rojas
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
94.
Micro solid oxide fuel cells: a new generation of micro-power sources for portable applications
机译:
微固氧化物燃料电池:用于便携式应用的新一代微电源
作者:
Francesco Chiabrera
;
Inigo Garbayo
;
Nerea Alayo
;
Albert Tarancon
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
95.
Development of a lab-on-chip electrochemical immunosensor for detection of Polycyclic Aromatic Hydrocarbons (PAH) in environmental water
机译:
芯片片式电化学免疫传感器的开发,用于检测环境水中多环芳烃(PAH)
作者:
Shifa Felemban
;
Patricia Vazquez
;
Jan Dehnert
;
Vadim Goridko
;
Maria Tijero
;
Eric Moore
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
96.
An FE model of a cellular polypropylene: exploring mechanical properties
机译:
细胞聚丙烯的FE模型:探索机械性能
作者:
Pavlos Sgardelis
;
Michele Pozzi
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
97.
Thermoelectric bolometers based on silicon membranes
机译:
基于硅膜的热电钻孔计
作者:
Aapo Varpula
;
Andrey V. Timofeev
;
Andrey Shchepetov
;
Kestutis Grigoras
;
Jouni Ahopelto
;
Mika Prunnila
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
98.
Oscillator circuit for monitoring the gas damping effect of piezoelectric microresonators
机译:
用于监测压电微谐振器气体阻尼效果的振荡器电路
作者:
J. Toledo
;
V. Ruiz-Diez
;
P. Schwarz
;
H. Seidel
;
J. L. Sanchez-Rojas
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
关键词:
MEMS;
piezoelectric;
resonator;
oscillator circuit;
damping effect;
gas;
99.
Temperature simulation at ZnO surface processed by laser interference lithography
机译:
激光干扰光刻处理ZnO表面的温度模拟
作者:
L. Parellada-Monreal
;
M. Martinez-Calderon
;
I. Castro-Hurtado
;
A. Rodriguez
;
S. M. Olaizola
;
M. Gomez-Aranzadi
;
I. Ayerdi
;
E. Castano
;
G. G. Mandayo
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS》
|
2017年
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