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Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference
Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference
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1.
Shape of grain size distributions during crystal grain nucleation in a-Si
机译:
在A-Si中晶粒成核期间晶粒尺寸分布的形状
作者:
Corrado Spinella
;
Salvatore A. Lombardo
;
Francesco Priolo
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
nucleation;
amorphous silicon;
rapid thermal anneals;
2.
High rate deposition of ta-C:H using an electron cyclotron wave resonance plasma source
机译:
使用电子回旋波共振等离子体源的Ta-C:H的高速率沉积
作者:
N. A. Morrison
;
S. E. Rodil
;
A. C. Ferrari
;
J. Robertson
;
W. I. Milne
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
electron cyclotron wave resonance;
tetrahedral amorphous carbon;
high rate deposition;
3.
Optical Properties of LPCVD silicon oxynitride
机译:
LPCVD氧氮化硅的光学性质
作者:
M. Modreanu
;
N. Tomozeiu
;
P. Cosmin
;
Mariuca Gartner
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
low pressure chemical vapour deposition;
oxynitride;
thin films;
optical;
infrared absorption;
4.
Sensor properties of Pt doped SnO_2 thin films for detecting CO
机译:
PT掺杂SnO_2薄膜检测CO的传感器性能
作者:
A. V. Tadeev
;
G. Delabouglise
;
M. Labeau
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
Sensor properties;
Pt-doped SnO_2;
carbon monoxide;
5.
Coplanar amorphous silicon thin film transistor fabricated by inductively-coupled plasma CVD
机译:
Coplanar非晶硅薄膜晶体管,由电感耦合等离子体CVD制造
作者:
Sung Ki Kim
;
Se Il Cho
;
Young Jin Choi
;
Kyu Sik Cho
;
S. M. Pietruszko
;
Jin Jang
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
thin film transistor;
amorphous silicon;
plasma deposition;
6.
Stability and quantum efficiency of a novel type of a-Si:H/a-SiC:H based UV detector
机译:
一种新型A-Si:H / A-SiC:H基于UV检测器的稳定性和量子效率
作者:
P. Mandracci
;
M. L. Rastello
;
P. Rava
;
F. Giuliani
;
F. Giorgis
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
thin film;
UV detectors;
photoelectrical properties;
amorphous silicon;
7.
In-situ diagnostics for preparation of laser crystallized silicon films on glass for solar cells
机译:
用于在玻璃上制备用于太阳能电池的激光结晶硅膜的原位诊断
作者:
G. Andra
;
J. Bergmann
;
F. Falk
;
E. Ose
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
polycrystalline silicon layers;
laser crystallization;
optical diagnostics;
time resolved measurement;
8.
Electronic properties of bottom gate silicon nitride/hydrogenated amorphous silicon structures
机译:
底栅氮化硅/氢化非晶硅结构的电子性能
作者:
J. P. Kleider
;
C. Longeaud
;
F. Dayoub
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
amorphous silicon;
silicon nitride;
bottom gate;
defect pool;
9.
Nitrogen-added Al rare-earth alloys for thin film transistors
机译:
用于薄膜晶体管的氮气稀土合金
作者:
Toshiaki Arai
;
Hiroshi Takatsuji
;
Hideo Iiyori
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
aluminum-rare-earth alloy;
nitrogen;
void;
hillock;
10.
Influence of surface morphology of the polycrystalline silicon on field electron emission
机译:
多晶硅表面形态对现场电子发射的影响
作者:
Anatoli A. Evtukh
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
Field electron emission;
polycrystalline silicon;
asperities;
11.
Structure of polycrystalline silicon films deposited at low temperature by plasma CVD on substrates exposed to different plasma
机译:
在暴露于不同等离子体上的基板上通过等离子体CVD沉积在低温下沉积多晶硅膜的结构
作者:
S. Moniruzzaman
;
T. Inokuma
;
Y. Kurata
;
S. Takenaka
;
S. Hasegawa
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
poly-Si;
surface treatment;
structural properties;
plasma enhanced chemical vapor deposition;
nucleation density;
12.
High quality, relaxed SiGe epitaxial layers for solar cell application
机译:
高品质,轻松的SiGe外延层,用于太阳能电池应用
作者:
K. Said
;
J. Poortmans
;
M. Caymax
;
R. Loo
;
A. Daami
;
G. Bremond
;
O. Kruger
;
M. Kittler
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
Si_(-x)Ge_x layers;
reduced pressure chemical vapor deposition;
electron beam induced current;
dislocation;
13.
Control of orientation from random to (220) or (400) in polycrystalline silicon films
机译:
控制从多晶硅膜中随机到(220)或(400)的取向
作者:
T. Kamiya
;
K. Nakahata
;
A. Miida
;
C. M. Fortmann
;
I. Shimizu
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
polycrystalline silicon thin film;
orientation control;
tetra-fluoro silane;
remote type microwave plasma;
chemical vapor deposition;
14.
Properties of polycrystalline silicon films prepared from fluorinated precursors
机译:
由氟化前体制备的多晶硅膜的性质
作者:
Swati Ray
;
Sumita Mukhopadhyay
;
S. C. Saha
;
Sukti Hazra
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
polycrystalline silicon;
thin film;
PECVD;
characterization;
15.
Role of the resistive layer on the performances of 2D a-Si:H thin film position sensitive detectors
机译:
电阻层对2D A-Si:H薄膜位置敏感探测器性能的作用
作者:
R. Martins
;
E. Fortunato
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
position sensors;
devices;
amorphous silicon;
thin films;
16.
Performances exhibited by large area ITO layers produced by r.f. magnetron sputtering
机译:
由R.F产生的大面积ITO层表现出的性能。磁控溅射
作者:
I. Baia
;
M. Quintela
;
L. Mendes
;
P. Nunes
;
R. Martins
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
indium tin oxide;
r.f. magnetron sputtering;
annealing;
reannealing;
17.
Ion implantation of microcrystalline silicon for low process temperature top gate thin film transistors
机译:
低工艺温度顶栅薄膜晶体管微晶硅的离子植入
作者:
V. Chu
;
H. Silva
;
L. M. Redondo
;
C. Jesus
;
M. F. Silva
;
J. C. Soares
;
J. P. Conde
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
microcrystalline silicon;
ion implantation;
thin film transistors;
18.
Al-based sputter-deposited films for large liquid-crystal-display
机译:
用于大型液晶显示器的基于Al的溅射沉积薄膜
作者:
Hiroshi Takatsuji
;
Toshiaki Arai
;
Satoshi Tsuji
;
K. Kuroda
;
H. Saka
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
taguchi methods;
large glass substrate;
aluminum thin film;
thin-film-transistor liquid-crystal displays;
sputtering;
19.
Deposition, defect and weak bond formation processes in a-Si:H
机译:
A-Si的沉积,缺陷和弱键形成过程:H
作者:
J. Robertson
;
M. J. Powell
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
Deposition;
weak bond formation;
hydrogenated amorphous silicon;
20.
Al-based aputter-deposited films for large liquid-crystal-display
机译:
用于大型液晶显示器的基于Al的Apoutt沉积薄膜
作者:
Hiroshi Takatsuji
;
Toshiaki Arai
;
Satoshi Tsuji
;
K.Kuroda
;
H.Saka
;
European Materials Research Society
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
Taguchi methods;
Large glass substrate;
Aluminum thin film;
Thin-film;
Thin-film-transistor liquid-crystal displays;
Sputtering;
21.
Device-quality polycrystalline silicon films deposited at low process temperatures by hot-wire chemical vapor deposition
机译:
通过热线化学气相沉积在低处理温度下沉积的装置质量多晶硅膜
作者:
S. C. Saha
;
J. Guillet
;
B. Equer
;
J. E. Bouree
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
polycrystalline silicon;
thin films;
hot-wire CVD;
low-temperature deposition;
UV-visible ellipsometry;
dark conductivity;
22.
Self-assembly of ultrathin composite TiO_2/polymer films
机译:
超薄复合材料TiO_2 /聚合物薄膜的自组装
作者:
N. Kovtyukhova
;
P. J. Ollivier
;
S. Chizhik
;
A. Dubravin
;
E. Buzaneva
;
A. Gorchinskiy
;
A. Marchenko
;
N. Smirnova
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
titanium oxide;
polymer;
wet layer-by-layer deposition;
surface morphology;
electrical properties;
23.
Surface melt dynamics and super lateral growth regime in long pulse duration excimer laser crystallization of amorphous Si films
机译:
无定形Si薄膜长脉冲持续时间准分子激光结晶的表面熔体动力学和超横向生长状态
作者:
E. Fogarassy
;
S. de Unamuno
;
P. Legagneux
;
F. Plais
;
D. Pribat
;
B. Godard
;
M. Stehle
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
excimer laser;
silicon crystallization;
melting grains;
24.
Surface passivation of silicon by rf magnetron-sputtered silicon nitride films
机译:
通过RF磁控溅射氮化硅膜的硅表面钝化
作者:
M. Vetter
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
silicon nitride;
sputtering;
passivation;
solar cell;
hetero junction;
field-effect passivation;
25.
Improved characterization of polycrystalline silicon film, by resonant Raman scattering
机译:
通过谐振拉曼散射改善了多晶硅膜的表征
作者:
V. Paillard
;
P. Puech
;
P. Temple-Boyer
;
B. Caussat
;
E. Scheid
;
J. P. Couderc
;
B. de Mauduit
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
polycrystalline silicon;
low pressure chemical vapor deposition;
Raman scattering;
26.
Laser crystallised poly-Si TFTs for AMLCDs
机译:
激光结晶的Poly-Si TFT为AMLCDS
作者:
S. D. Brotherton
;
J. R. Ayres
;
M. J. Edwards
;
C. A. Fisher
;
C. Glaister
;
J. P. Gowers
;
D. J. McCulloch
;
M. Trainor
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
poly-Si TFTs;
AMLCDs;
27.
Low temperature silicon deposition for large area sensors and solar cells
机译:
大面积传感器和太阳能电池的低温硅沉积
作者:
M. B. Schubert
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
thin film sensors;
amorphous silicon;
hot-wire deposition;
28.
Large area X-ray detectors based on amorphous silicon technology
机译:
基于非晶硅技术的大面积X射线探测器
作者:
Jean-Pierre Moy
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
X-ray imaging;
amorphous silicon;
pixel;
array;
scintillator;
photoconductor;
29.
Temperature analysis of polysilicon thin-film transistors made by excimer laser crystallization
机译:
通过准分子激光结晶制造多晶硅薄膜晶体管的温度分析
作者:
V. Foglietti
;
L. Mariucci
;
G. Fortunato
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
excimer laser crystallization;
density of states (DOS) model;
kink effect;
30.
Deposition of nanocrystalline silicon mediated by ultrathin aluminum underlayers by PCVD and sputter-deposition at 500 K
机译:
通过PCVD和溅射沉积在500 k下沉积由超薄铝底层介导的纳米晶硅沉积
作者:
Tilo P. Drusedau
;
Anette Diez
;
Jurgen Blasing
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
nanocrystallites;
metal-induced crystallization;
PCVD;
magnetron-sputtering;
31.
XPS characterization of tungsten-based contact layers on 4H-SiC
机译:
4H-SIC基于钨的接触层的XPS表征
作者:
A. Kakanakova-Georgieva
;
Ts. Marinova
;
O. Noblanc
;
C. Arnodo
;
S. Cassette
;
C. Brylinski
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
X-ray photoelectron spectroscopy;
interface reaction;
WN/SiC structure;
32.
Performances presented by zinc oxide thin films deposited by spray pyrolysis
机译:
由喷雾热解沉积的氧化锌薄膜所呈现的性能
作者:
P. Nunes
;
B. Fernandes
;
E. Fortunato
;
P. Vilarinho
;
R. Martins
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
coatings;
deposition process;
zinc oxide;
electrical properties;
optical properties;
X-ray diffraction;
33.
Insulating layers of polycrystalline GaAsS compounds grown by reactive plasma sputtering
机译:
通过反应等离子体溅射生长的多晶高钾化合物的绝缘层
作者:
O. Pesty
;
P. Canet
;
F. Lalande
;
J. L. Seguin
;
H. Carchano
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
polycrystalline GaAsS;
reactive plasma sputtering;
34.
Ge:Si:O evaporated alloys as a thermosensitive layer for large area bolometers
机译:
GE:Si:o蒸发合金作为大面积钻头的热敏层
作者:
E. Iborra
;
J. Sangrador
;
M. Clement
;
J. Perriere
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
silicon;
germanium;
amorphous;
coevaporation;
thermoresistor;
35.
Single shot excimer laser crystallization and LPCVD silicon TFTs
机译:
单次拍摄准分子激光结晶和LPCVD硅TFT
作者:
Y. Helen
;
K. Mourgues
;
F. Raoult
;
T. Mohammed-Brahim
;
O. Bonnaud
;
R. Rogel
;
S. Prochasson
;
P. Boher
;
D. Zahorski
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
Polysilicon films;
thin film transistors;
amorphous silicon;
laser crystallization;
36.
A new method for the determination of the channel length reduction in polysilicon thin film transistors (TFTs)
机译:
一种确定多晶硅薄膜晶体管(TFT)中沟道长度减小的新方法
作者:
Filippos V. Farmakis
;
Jean Brini
;
Georges Kamarinos
;
Nathalie Mathieu
;
Charalabos A. Dimitriadis
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
polysilicon;
thin film transistors;
channel reduction;
37.
Transport properties of μc-Si:H analyzed by means of numerical simulation
机译:
通过数值模拟分析μC-Si:H的运输特性
作者:
Alessandro Fantoni
;
Manuela Vieira
;
Rodrigo Martins
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
transport properties;
μc-Si:H;
numerical simulation;
38.
Enhancing the field emission properties of amorphous carbon films by thermal annealing
机译:
通过热退火增强非晶碳膜的场排放性能
作者:
A. P. Burden
;
R. D. Forrest
;
S. R. P. Silva
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
amorphous hydrogenated carbon;
amorphous semiconductor;
plasma enhanced chemical vapour deposition;
annealing;
field emission;
FED;
39.
Solid-phase crystallization of amorphous SiGe films deposited by LPCVD on SiO_2 and glass
机译:
LPCVD在SiO_2和玻璃上沉积的无定形SiGe膜的固相结晶
作者:
J. Olivares
;
A. Rodriguez
;
J. Sangrador
;
T. Rodriguez
;
C. Ballesteros
;
A. Kling
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
polycrystalline-SiGe;
solid-phase crystallization;
thin film transistor;
40.
Microcrystalline silicon growth on a-Si:H: effects of hydrogen
机译:
A-Si的微晶硅生长:H:H:氢气的影响
作者:
P. Roca i Cabarrocas
;
S. Hamma
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
hydrogen;
microcrystalline silicon;
long range effects;
ellipsometry;
secondary ion mass spectrometry;
41.
Plasma enhanced chemical vapor deposition of nanocrystalline silicon films from SiF_4-H_2-He at low temperature
机译:
在低温下从SIF_4-H_2-HE的血浆增强纳米晶硅膜的化学气相沉积
作者:
G. Cicala
;
P. Capezzuto
;
G. Bruno
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
nc-Si:H;
SiF_4H_2-He plasma;
optical emission spectroscopy;
42.
From materials to products: a system perspective
机译:
从材料到产品:系统视角
作者:
Carlo Reita
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
large area electronics;
products;
displays;
43.
Transport properties of #mu#c-Si:H analyzed by means of numerical simulation
机译:
通过数值模拟分析#Mu#C-Si:H的运输属性
作者:
Alessandro Fantoni
;
Manuela Vieira
;
Rodrigo Martins
;
European Materials Research Society
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
Transport properties;
#mu#c-Si:H;
Numerica;
simulation;
44.
Crystallization control of the amorphous buffer layer in hydrogenated nanocrystalline silicon
机译:
氢化纳米晶硅中无定形缓冲层的结晶控制
作者:
F. Gourbilleau
;
A. Achiq
;
P. Viovenel
;
R. Rizk
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
hydrogenated nanocrystalline silicon;
RF sputtering;
amorphous buffer layer;
45.
Stability of the dielectric properties of PECVD deposited carbon-doped SiOF films
机译:
PECVD沉积碳掺杂SiOF膜的介电性质的稳定性
作者:
Jorge Lubguban Jr
;
Atsusi Saitoh
;
Yoshihiro Kurata
;
Takao Inokuma
;
Seiichi Hasegawa
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
SiO_2:F:C;
water resistivity;
dielectric properties;
vibrational properties;
46.
Stability of low pressure chemical vapour deposition amorphous silicon
机译:
低压化学气相沉积无定形硅的稳定性
作者:
M. Kostana
;
J. Jang
;
S. M. Pietruszko
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
amorphous silicon;
doping;
hydrogenation;
metastability;
quenching;
47.
Contactless electronic transport analysis of microcrystalline silicon
机译:
非接触式硅的电子传输分析
作者:
R. Brenot
;
R. Vanderhaghen
;
B. Drevillon
;
T. Mohammed-Brahim
;
P. Roca i Cabarrocas
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
transport;
microcrystalline silicon;
48.
Applicability of Raman scattering for the characterization of nanocrystalline silicon
机译:
拉曼散射在纳米晶体硅谱表征的适用性
作者:
Ch. Ossadnik
;
S. Veprek
;
I. Gregora
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
Raman sattering;
nanocrystalline silicon;
49.
Characteristics of a linear array of a-Si:H thin film position sensitive detector
机译:
A-Si:H薄膜位置敏感检测器线性阵列的特性
作者:
E. Fortunato
;
F. Soares
;
P. Teodoro
;
N. Guimaraes
;
M. Mendes
;
H. Aguas
;
V. Silva
;
R. Martins
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
position sensors;
devices;
amorphous silicon;
thin films;
50.
Large-grained polycrystalline silicon on glass by copper vapor laser annealing
机译:
通过铜蒸气激光退火玻璃上的大颗粒多晶硅硅
作者:
J. R. Kohler
;
R. Dassow
;
R. B. Bergmann
;
J. Krinke
;
H. P. Strunk
;
J. H. Werner
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
large-grained polycrystalline silicon;
copper vapor laser;
crystallization;
51.
Polycrystalline silicon film growth in a SiF_4/SiH_4/H_2 plasma
机译:
SIF_4 / SIH_4 / H_2等离子体中的多晶硅膜生长
作者:
B. Lee
;
L. J. Quinn
;
P. T. Baine
;
S. J. N. Mitchell
;
B. M. Armstrong
;
H. S. Gamble
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
polysilicon;
fluorine;
thin film transistor;
52.
Deposition of microcrystalline silicon in an integrated distributed electron cyclotron resonance PECVD reactor
机译:
在集成的分布式电子回旋谐振粘合剂PECVD反应器中沉积微晶硅
作者:
P. Bulkin
;
A. Hofrichter
;
R. Brenot
;
B. Drevillon
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
microcrystalline silicon;
integrated distributed electron cyclotron resonance;
plasma enhanced chemical vapour deposition;
53.
State creation induced by gate bias stress in unhydrogenated polysilicon TFTs
机译:
栅极偏置应力在未氢化的多晶硅TFT中产生的状态创作
作者:
B. Tala-Ighil
;
A. Rahal
;
K. Mourgues
;
A. Toutah
;
L. Pichon
;
T. Mohammed-Brahim
;
F. Raoult
;
O. Bonnaud
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
polysilicon;
TFT;
reliability;
54.
Lateral growth control in excimer laser crystallized polysilicon
机译:
准分子激光结晶多晶硅中的侧向生长控制
作者:
L. Mariucci
;
R. Carluccio
;
A. Pecora
;
V. Foglietti
;
G. Fortunato
;
P. Legagneux
;
D. Pribat
;
D. Della Sala
;
J. Stoemenos
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
lateral growth;
crystallized polysilicon;
super lateral growth;
55.
Growth mechanism of microcrystalline silicon obtained from reactive plasmas
机译:
从反应等离子体获得的微晶硅的生长机理
作者:
Akihisa Matsuda
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
microcrystalline silicon;
reactive plasmas;
56.
Stability and transport properties of microcrystalline Si_(1-x)Ge_x films
机译:
微晶Si_(1-x)Ge_x薄膜的稳定性和传输性能
作者:
F. Edelman
;
T. Raz
;
Y. Komem
;
M. Stolzer
;
P. Werner
;
P. Zaumseil
;
H.-J. Osten
;
J. Griesche
;
M. Capitan
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
silicon-germanium films;
X-ray diffraction;
crystallization;
hillocks;
electron transport;
57.
The control of the high-density microwave plasma for large-area electronics
机译:
用于大面积电子产品的高密度微波等离子体的控制
作者:
Hajime Shirai
;
Yoshikazu Sakuma
;
Hiroyuki Ueyama
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
large-area plasma;
low-electron temperature;
high-density plasma;
microwave plasma;
spokewise antenna;
μc-Si:H;
SiH_2Cl_2;
high rate deposition;
58.
Design issues of two-dimensional amorphous silicon position-sensitive detectors
机译:
二维非晶硅位置敏感探测器的设计问题
作者:
Jia-Yi Shung
;
Klaus Y.-J. Hsu
;
Yeu-Long Jiang
;
Cho-Jen Tsai
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
amorphous silicon;
position-sensitive detector;
spectral response;
uniformity;
59.
The control fo the high-density microwave plasma for large-area electronics
机译:
用于大面积电子产品的高密度微波等离子体的控制
作者:
Hajime Shirai
;
Yoshikazu Sakuma
;
Hiroyuki Ueyama
;
European Materials Research Society
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
Large-area plasma;
Low-electron temperature;
High-density plasma;
Microwave plasma;
Spokewise antenna;
#mu#c-Si:H;
SiH_2Cl_2;
60.
Advanced excimer-laser annealing process for quasi single-crystal silicon thin-film devices
机译:
准单晶硅薄膜器件的先进的准分子激光退火工艺
作者:
Masakiyo Matsumura
;
Chang-Ho Oh
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
excimer-laser crystallization;
thin-film devices;
polycrystal silicon;
grain;
phase-shift;
thin-film transistors;
SOI;
solar-cells;
porous Si;
61.
Carrier transport, structure and orientation in polycrystalline silicon on glass
机译:
玻璃上多晶硅载流子运输,结构和方向
作者:
K. Nakahata
;
A. Miida
;
T. Kamiya
;
C. M. Fortmann
;
I. Shimizu
会议名称:
《Symposium E on thin film materials for large area electronics of the E-MRS 1998 spring conference》
|
1999年
关键词:
polycrystalline silicon on glass;
X-ray diffraction;
plasma enhanced chemical vapor deposition;
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