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Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
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1.
THERMO-PNEUMATICALLY ACTUATED PISTON MIRROR ARRAYS
机译:
热气动驱动活塞镜阵列
作者:
Armin Werber
;
Hans Zappe
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
2.
Two decades of MEMS -- from surprise to enterprise -
机译:
二十年的MEMS - 从惊喜到企业 -
作者:
Hiroyuki Fujita
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
3.
ELECTRICALLY DRIVEN VARIFOCAL MICRO LENS FABRICATED BY DEPOSITING PARYLENE DIRECTLY ON LIQUID
机译:
通过直接在液体上沉积聚对聚丙烯制备的电驱动的变性微透镜
作者:
Binh-Khiem Nguyen
;
Eiji Iwase
;
Kiyoshi Matsumoto
;
Isao Shimoyama
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
4.
Sequential parylene lift-off process for selective patterning of biological materials
机译:
生物材料选择性图案化的顺序聚对聚环剥离工艺
作者:
Kuribayashi K.
;
Hiratsuka Y.
;
Yamamura T.
;
Takeuchi S.
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
5.
Low Temperature Ion Beam Sputter Deposition of Amorphous Silicon Carbide for Wafer-Level Vacuum Sealing
机译:
用于晶片级真空密封的非晶硅碳化硅的低温离子束溅射沉积
作者:
Debbie G. Jones
;
Robert G. Azevedo
;
Matthew W. Chan
;
Albert P. Pisano
;
Muthu B. J. Wijesundara
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
6.
Highly adaptable MEMS-based display with wide projection angle
机译:
高度适应性的基于MEMS的基于展开宽度
作者:
Milanovic Veljko
;
Castelino Kenneth
;
McCormick Daniel T.
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
7.
NANOELECTROMECHANICAL SYSTEMS: POTENTIAL, PROGRESS, PROJECTIONS
机译:
纳米机电系统:潜在,进展和预测
作者:
M. L. Roukes
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
8.
Chip-to-chip fluidic connectors via near-field electrospinning
机译:
通过近场静电纺丝芯片芯片流体连接器
作者:
SangHoon Lee
;
Limkrailassiri Kevin
;
Yuan Gao
;
Chieh Chang
;
Liwei Lin
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
9.
Fabrication of Monolithic 1-Chip FBAR Duplexer for W-CDMA Handsets
机译:
用于W-CDMA手机的单片1芯片FBAR双工器的制造
作者:
Park Yun-Kwon
;
Nam Kuang-Woo
;
Yun Seok-Chool
;
Ha Byeoung-Ju
;
Hong Seog-Woo
;
Kim Chul-Soo
;
Shin Jea-Shik
;
Song In-Sang
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
关键词:
FBAR;
1-chip duplexer;
Shunt inductor;
10.
In-channel particle position and velocity detectors based on particle transit time across uneven inter-gap electrodes
机译:
基于间隙间间隙电极的粒子过渡时间的沟道内颗粒位置和速度检测器
作者:
Tae Yoon Kim
;
Dong Woo Lee
;
Young-Ho Cho
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
11.
Thermal actuated multi-probes cantilever array for scanning probe parallel nano writing system
机译:
用于扫描探头并联纳米书写系统的热驱动多探针悬臂阵列
作者:
Naoki Watanabe
;
Yoshitada Isono
;
Takamitsu Kakinaga
;
Toshihiko Nagamura
;
Tohru Sasaki
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
12.
A novel sacrificial layer technology based on highly selective etching of silicon-germanium in CLF3
机译:
基于CLF3中硅 - 锗的高选择性蚀刻的新型牺牲层技术
作者:
Leinenbach Christina
;
Seidel Helmut
;
Fuchs Tino
;
Kronmueller Silvia
;
Laermer Franz
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
13.
GHZ HIGHER ORDER CONTOUR MODE ALN ANNULAR RESONATORS
机译:
GHz高阶轮廓模式ALN环形谐振器
作者:
P. J. Stephanou
;
A. P. Pisano
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
14.
SILICON CARBIDE COATED MEMS STRAIN SENSOR FOR HARSH ENVIRONMENT APPLICATIONS
机译:
用于苛刻环境应用的碳化硅涂层MEMS应变传感器
作者:
Robert G. Azevedo
;
Jingchun Zhang
;
Debbie G. Jones
;
David R. Myers
;
Anand V. Jog
;
Babak Jamshidi
;
Muthu B. J. Wijesundara
;
Roya Maboudian
;
Albert P. Pisano
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
15.
Demonstration of cortical recording and reduced inflammatory response using flexible polymer neural probes
机译:
使用柔性聚合物神经探针证明皮质记录和降低炎症反应
作者:
Mercanzini Andre
;
Cheung Karen
;
Buhl Derek
;
Boers Marc
;
Maillard Anne
;
Colin Philippe
;
Bensadoun Jean-Charles
;
Bertsch Arnaud
;
Carleton Alan
;
Renaud Philippe
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
16.
DETERMINATION OF PACKAGING INDUCED 3D STRESS UTILIZING A PIEZOCOEFFICIENT MAPPING DEVICE
机译:
利用压电映射装置的封装诱导3D应力的确定
作者:
J. Richter
;
A. Hyldgard
;
K. Birkelund
;
M. B. Arnoldus
;
O. Hansen
;
E. V. Thomsen
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
17.
Single layer tilting actuator with multiple close-gap electrodes
机译:
具有多个近距间隙电极的单层倾斜致动器
作者:
Shmilovich T.
;
Krylov S.
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
18.
Electrochromic voxel array for 3D display
机译:
用于3D显示屏的电致变色体仪阵列
作者:
Takamatsu S.
;
Nguyen B.K.
;
Iwase E.
;
Matsumoto K.
;
Shimoyama I.
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
19.
PRODUCTION OF SOLDER MICRODROPLETS USING A HIGHLY PARALLEL AND CONTACT-FREE PRINTING METHOD
机译:
使用高度平行和无接触的印刷方法生产焊料微型电流
作者:
D. Schuhmacher
;
R. Niekrawietz
;
H. Scheithauer
;
B. de Heij
;
M. Alavi
;
R. Zengerle
;
P. Koltay
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
20.
Electrically driven varifocal micro lens fabricated by depositing parylene directly on liquid
机译:
通过直接在液体上沉积聚对聚丙烯制备的电驱动的变性微透镜
作者:
Binh-Khiem Nguyen
;
Eiji Iwase
;
Kiyoshi Matsumoto
;
Isao Shimoyama
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
21.
MECHANICAL CHARACTERIZATION OF SILICON NITRIDE THIN-FILMS USING MICROTENSILE SPECIMENS WITH INTEGRATED 2D DIFFRACTION GRATINGS
机译:
具有集成2D衍射光栅的微调试样的氮化硅薄膜的机械表征
作者:
J. Gaspar
;
Y. Nurcahyo
;
P. Ruther
;
O. Paul
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
22.
VARIABLE PIVOT SEESAW ACTUATED RF MEMS SWITCH FOR RECONFIGURABLE SYSTEM APPLICATION
机译:
可变枢轴跷跷板驱动RF MEMS开关,可用于可重新配置系统应用
作者:
Jongseok Kim
;
Sangwook Kwon
;
Youngtack Hong
;
Heemoon Jeong
;
Sanghoon Lee
;
Cheheung Kim
;
Kyongsoo Lee
;
Byeongkwon Ju
;
Insang Song
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
23.
HIGHLY RELIABLE AND EXTREMELY STABLE SIGE MICRO-MIRRORS
机译:
高度可靠,非常稳定的SiGe微镜
作者:
M. Gromova
;
L. Haspeslagh
;
A. Verbist
;
B. Du Bois
;
R. Van Hoof
;
B. Eyckens
;
B. Sijmus
;
I. De Wolf
;
V. Simons
;
Ph. Muller
;
T. Lauwagie
;
M. Willegems
;
S. Locorotondo
;
W. Boullart
;
K. Baert
;
A. Witvrouw
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
24.
On-the-fly tunable liquid microlenses capable of both in situ integration within microfluidics and real-time tuning
机译:
在微流体和实时调整中,能够在原位集成中的常规可调谐液体微透镜
作者:
Liang Dong
;
Hongrui Jiang
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
25.
PROMOTION EFFECT OF IODIZATION ON CARBONIZATION FOR MEMS APPLICATION
机译:
碘化促进效应对MEMS应用的碳化
作者:
Ken Yoshioka
;
Keisuke Naka
;
Satoshi Konishi
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
26.
High-Precision Micromechanical Tunable Capacitors Using Parallel-Interconnected Digital Actuators
机译:
使用并行互连的数字执行器的高精度微机械可调电容器
作者:
Won Han
;
Young-Ho Cho
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
27.
TENSILE-MODE FATIGUE TESTS AND FATIGUE LIFE PREDICTIONS OF SINGLE CRYSTAL SILICON IN HUMIDITY CONTROLLED ENVIRONMENTS
机译:
湿度控制环境中单晶硅的拉伸模式疲劳试验和疲劳寿命预测
作者:
Yusuke Yamaji
;
Koji Sugano
;
Osamu Tabata
;
Toshiyuki Tsuchiya
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
28.
SU-8 SURFACE-MICROMACHINING PROCESS UTILIZING PMGI AS A SACRIFICIAL MATERIAL
机译:
SU-8表面微量机制工艺利用PMGI作为牺牲材料
作者:
I. G. Foulds
;
R. W. Johnstone
;
M. Parameswaran
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
29.
Shape control of filamentous motor proteins for bio-nano driving units
机译:
生物纳米驱动装置丝状电机蛋白的形状控制
作者:
Hajime Nakamura
;
Yuichi Hiratsuka
;
Ryoki Ishikawa
;
Kazuhiro Kohama
;
Shoji Takeuchi
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
30.
MICROSYSTEMS FOR UV-VISIBLE AND X-RAY ANALYSIS OF PROTEIN CRYSTALS
机译:
蛋白质晶体UV可见和X射线分析的微系统
作者:
L. S. L. Cheung
;
R. Quick
;
S. K. Singh
;
A. Weichsel
;
W. R. Montfort
;
Y. Zohar
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
31.
The layer-built sensor/actuator integrated array for the 2D feedback conveyance
机译:
图层构建的传感器/执行器集成阵列,用于2D反馈输送
作者:
Ataka Manabu
;
Mita Makoto
;
Fujita Hiroyuki
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
关键词:
arrayed micro actuators;
feedback control;
micro conveyance system;
32.
SINGLE LAYER TILTING ACTUATOR WITH MULTIPLE CLOSE-GAP ELECTRODES
机译:
具有多个近距间隙电极的单层倾斜致动器
作者:
T. Shmilovich
;
S. Krylov
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
33.
Composite flexural-mode resonator with controllable turnover temperature
机译:
具有可控周转温度的复合弯曲模式谐振器
作者:
Melamud Renata
;
Kim Bongsang
;
Hopcroft Matthew A.
;
Chandorkar S.
;
Agarwal M.
;
Jha C.M.
;
Kenny T.W.
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
34.
A FAST LIQUID-METAL DROPLET SWITCH USING EWOD
机译:
使用EWOD的快速液态金属液滴开关
作者:
Prosenjit Sen
;
Chang-Jin C. J. Kim
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
35.
Mechanical calibration of MEMS spring with 0.1-#x03BC;n force resolution
机译:
MEMS弹簧的机械校准,具有0.1μN力分辨率
作者:
Kenji Miyamoto
;
Tomoya Jomori
;
Koji Sugano
;
Osamu Tabata
;
Toshiyuki Tsuchiya
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
36.
Liquid jet propeller integrated with reservoir, channel, and cover
机译:
液体喷射螺旋桨与储存器,通道和盖子一体化
作者:
Dutta Joyita
;
Hongyu Yu
;
Chuang-Yuan Lee
;
Eun Sok Kim
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
37.
Intergrated resonant cantilever sensors with 2nd torsion-mode for fg-level resoluble biomedical detection
机译:
具有2
Nd sup>扭转模式的集成谐振悬臂传感器,用于FG级分辨生物医学检测
作者:
Dazhong Jin
;
Xinxin Li
;
Zhixiang Zhang
;
Hanhan Bao
;
Yuelin Wang
;
Jian Liu
;
Haitai Yu
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
38.
Effect of nano stripe carbonized-polymer electrode on high S/N ratio in electrochemical detection
机译:
纳米条纹碳化 - 聚合物电极对电化学检测高S / N比的影响
作者:
Keisuke Naka
;
Hiroki Hayashi
;
Mitsugi Senda
;
Haruki Shiraishi
;
Satoshi Konishi
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
39.
Versatile Method of Sub-Micro Particle Pattern Formation Using Self-Assembly and Two-Step Transfer
机译:
使用自组装和两步转印的子微粒图案形成的多功能方法
作者:
Takashi Ozaki
;
Koji Sugano
;
Toshiyuki Tsuchiya
;
Osamu Tabata
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
40.
PYROLYZED POLYMER MESH ELECTRODE INTEGRATED INTO FLUIDIC CHANNEL FOR GATE TYPE SENSOR
机译:
热解的聚合物网电极集成到用于门式传感器的流体通道中
作者:
Kensaku Yamamoto
;
Keisuke Naka
;
Yasuhiro Nagaura
;
Hironobu Sato
;
Shuichi Shoji
;
Satoshi Konishi
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
41.
Novel shear strength evaluation of MEMS materials using asymmetrical four-point bending technique
机译:
使用不对称四点弯曲技术的MEMS材料的新型剪切强度评价
作者:
Masato Ogawa
;
Yoshitada Isono
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
42.
Embedded self-circulation of liquid fuel for a micro direct methanol fuel cell
机译:
用于微直接甲醇燃料电池的液体燃料的嵌入式自循环
作者:
Desheng Meng Dennis
;
Chang-Jin CJ Kim
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
43.
Unidirectional motion of microtubules and microspheres by Dynein motor protein
机译:
通过Dynein Motor蛋白的微管和微球的单向运动
作者:
Tetsutaro Murakami
;
Takeshi Sugie
;
Takahide Kon
;
Ryuji Yokokawa
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
44.
Retro-reflection VOA using parabolic mirror for low insertion loss and linear attenuation relationship
机译:
复古 - 反射VOA使用抛物面镜,用于低插入损耗和线性衰减关系
作者:
Zhang X. M.
;
Liu A. Q.
;
Cai H.
;
Yu A. B.
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
45.
A FULLY INTEGRATED HIGH-EFFICIENCY PERISTALTIC 18-STAGE GAS MICROPUMP WITH ACTIVE MICROVALVES
机译:
具有主动微型阀的完全集成的高效蠕动18级气体微泵
作者:
Hanseup Kim
;
Aaron A. Astle
;
Khalil Najafi
;
Luis P. Bernal
;
Peter D. Washabaugh
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
关键词:
Electrostatic gas micropump;
Peristaltic pump;
Fluidic resonance;
Active microvalves;
46.
Fabrication and characterization of an integrated schottky emitter array for multi-beam lithography applications
机译:
用于多光束光刻应用的集成肖特基发射器阵列的制造与表征
作者:
Ching-Hsiang Tsai
;
Takahito Ono
;
Masayoshi Esashi
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
47.
Conductometric sensors based on InGaAs/GaAs nanocoils
机译:
基于InGaAs / GaAs纳米蹄系的电导传感器
作者:
Bell Dominik J.
;
Rust Philipp
;
Dong Lixin
;
Schon Silke
;
Nelson Bradley J.
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
48.
An SOI-MEMS Tuning Fork Gyroscope With Linearly Coupled Drive Mechanism
机译:
具有线性耦合驱动机构的SOI-MEMS调谐叉陀螺
作者:
K. Azgin
;
Y. Temiz
;
T. Akin
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
49.
ELECTROSTATIC FRINGING-FIELD ACTUATOR (EFFA): APPLICATION towards A Low-Complexity RF-MEMS technology
机译:
静电流场执行器(Effa):朝向低复杂性RF-MEMS技术的应用
作者:
X. Rottenberg
;
P. Nolmans
;
P. Ekkels
;
P. Czarnecki
;
R. P. Mertens
;
B. Nauwelaers
;
I. De Wolf
;
W. De Raedt
;
H. A. C. Tilmans
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
关键词:
MEMS;
Electrostatic;
Actuator;
Thin-film;
50.
NANO-METAL-INK-BASED ELECTRODE EMBEDDED IN PARYLENE HARS WITH THE AID OF THE CAPILLARY EFFECT
机译:
含有含有毛细血管的纳米金属墨水基电极含有毛细血管效果
作者:
Takumi Tsutsumino
;
Yuji Suzuki
;
Noriko Sakurai
;
Nobuhide Kasagi
;
Yoshihiko Sakane
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
51.
A DYNAMIC FERROFLUID PLATFORM FOR MICROMANIPULATION
机译:
用于微操纵的动态铁磁流体平台
作者:
Woo-Bin Song
;
Zhenwen Ding
;
Chulwoo Son
;
Babak Ziaie
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
52.
MEMS TUNING MECHANISM FOR ELIMINATING MODE HOPPING PROBLEM IN EXTERNAL-CAVITY LASERS
机译:
用于消除外腔激光器模式跳跃问题的MEMS调整机制
作者:
H. Cai
;
X. M. Zhang
;
A. B. Yu
;
Q. X. Zhang
;
A. Q. Liu
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
53.
Chemical sensor utilizing indium phosphide cantilevers and pentacene as a functionalization layer
机译:
利用磷化铟悬臂器和五价作为官能化层的化学传感器
作者:
Siwak Nathan
;
Xiao Fan
;
Hines Dan
;
Williams Ellen
;
Goldsman Neil
;
Ghodssi Reza
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
54.
2D ELECTRO-THERMAL MICROGRIPPERS WITH LARGE CLAMPING AND ROTATION MOTION AT LOW DRIVING VOLTAGE
机译:
2D电热微血管,具有大的夹紧和旋转运动的低驱动电压
作者:
T. Chu Duc
;
G. K Lau
;
J. Wei
;
P. M. Sarro
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
关键词:
2D microgripper;
Constrained polymer;
Electro-thermal actuator;
Forward actuator;
55.
HIGH ASPECT RATIO NANO-SCALE CF{sub}X STRUCTURES FABRICATED BY DEEP-RIE
机译:
高纵横比纳米尺度CF {Sub} X结构由深rie制造
作者:
Takahiro Arakawa
;
Hiroyuki Kusakawa
;
Shuichi Shoji
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
56.
Fluorescence Detection System Using A Metal-Coated Glass Micropipette
机译:
荧光检测系统使用金属涂覆的玻璃微量纤维
作者:
Masaki Shuzo
;
Koutaroh Okada
;
Ryohei Kanzaki
;
Isao Shimoyama
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
57.
A simple determination method of in-plane Poisson#x2019;s ratio for MEMS materials by means of on-chip pure bending test
机译:
通过片上纯弯曲试验的MEMS材料的平面内泊松比的简单测定方法
作者:
Takahiro Namazu
;
Mitsuhiro Tanaka
;
Shozo Inoue
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
58.
THE SERIAL DILUTION CHIP FOR CYTOTOXICITY AND CELL DIFFERENTIATION TEST
机译:
细胞毒性和细胞分化试验的连续稀释芯片
作者:
Choong Kim
;
Kang Sun Lee
;
Sung Shin Ryu
;
Kyung Sik Shin
;
Kyu Jung Lee
;
Tae Song Kim
;
Ji Yoon Kang
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
59.
Two-phase flow oscillations in microchannel convective boiling
机译:
微通道对流沸腾中的两相流量振荡
作者:
Man Lee
;
Yi-Kuen Lee
;
Yitshak Zohar
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
60.
Micro-powder blasting simulation with mask erosion using cellular automaton
机译:
使用蜂窝自动机掩模侵蚀微粉爆破模拟
作者:
Hiromasa Yagyu
;
Osamu Tabata
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
61.
A continuous multi-size particle separator using negative dielectrophoretic virtual pillars induced by a planar spot electrode array
机译:
一种连续多尺寸粒子分离器,使用平面点电极阵列诱导的负介电泳虚柱
作者:
Sunghwan Chang
;
Young-Ho Cho
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
62.
ZINC-AIR MICROBATTERY WITH ELECTRODE ARRAY OF ZINC MICROPOSTS
机译:
锌 - 空气微滴定量,锌微孔电极阵列
作者:
Fardad Chamran
;
Hong-Seok Min
;
Bruce Dunn
;
Chang-Jin Kim
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
63.
A novel solid state tunable micro lens
机译:
一种新型固态可调微透镜
作者:
Hsi-Wen Tung
;
Sz-Yuan Lee
;
Wen-Chih Chen
;
Weileun Fang
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
64.
Photothermal transducer based on ultrathin bimetal Si resonator
机译:
基于超素双金属Si谐振器的光热传感器
作者:
Takahito Ono
;
Shinya Yoshida
;
Yusuke Kawai
;
Masayoshi Esashi
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
65.
Promotion effect of iodization on carbonization for MEMS application
机译:
碘化促进效应对MEMS应用的碳化
作者:
Yoshioka Ken
;
Keisuke Naka
;
Satoshi Konishi
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
66.
Fluid-resistive Bending Sensor Having Perfect Compatibility With Flexible Pneumatic Balloon Actuator
机译:
流体电阻弯曲传感器,具有与柔性气动气球执行器的完美兼容性
作者:
Shinya Kusuda
;
Satoshi Sawano
;
Satoshi Konishi
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
67.
A harsh environment, multi-plasma microsystem with pressure sensor, gas purifier, and chemical detector
机译:
具有压力传感器,气体净化器和化学检测器的苛刻的环境,多等离子体微系统
作者:
Wright Scott A.
;
Gianchandani Yogesh B.
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
68.
EFFECT OF NANO STRIPE CARBONIZED-POLYMER ELECTRODE ON HIGH S/N RATIO IN ELECTROCHEMICAL DETECTION
机译:
纳米条纹碳化 - 聚合物电极对电化学检测高S / N比的影响
作者:
Keisuke Naka
;
Hiroki Hayashi
;
Mitsugi Senda
;
Haruki Shiraishi
;
Satoshi Konishi
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
69.
Nano-metal-ink-based electrode embedded in parylene HARS with the aid of the capillary effect
机译:
含有含有毛细血管的纳米金属墨水基电极含有毛细血管效果
作者:
Takumi Tsutsumino
;
Yuji Suzuki
;
Noriko Sakurai
;
Nobuhide Kasagi
;
Yoshihiko Sakane
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
70.
DNA transformation by local heat shock
机译:
局部热休克的DNA转化
作者:
Sha Li
;
Meadow Anderson L.
;
Liwei Lin
;
Haw Yang
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
71.
'SILICON ON PDMS': SOI EXTRA THIN ACTIVE LAYER TRANSFERRED TO ORGANIC FILM FOR FLEXIBLE APPLICATIONS
机译:
“PDMS上的硅”:SOI超薄有源层转移到有机薄膜上进行柔性应用
作者:
S. Srisomrun
;
Y. Mita
;
K. Hoshino
;
M. Sugiyama
;
T. Shibata
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
72.
Low-power electrostatic microthruster for propulsion based on helmholtz-resonance
机译:
基于Helmholtz-Aronance的推进的低功耗静电微颗粒
作者:
Hanseup Kim
;
Jauregui Abel H.
;
Morrison Christian
;
Najafi Khalil
;
Bernal Luis P.
;
Washabaugh Peter D.
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
关键词:
Buckled Electrode;
Helmholtz resonance;
Low power and electrostatic actuation;
Microthruster;
73.
A SIMPLE DETERMINATION METHOD OF IN-PLANE POISSON'S RATIO FOR MEMS MATERIALS BY MEANS OF ON-CHIP PURE BENDING TEST
机译:
通过片上纯弯曲试验的MEMS材料的平面内泊松比的简单测定方法
作者:
Takahiro Namazu
;
Mitsuhiro Tanaka
;
Shozo Inoue
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
74.
A packaged micromachined switched tunable inductor
机译:
包装的微机械开关可调电感器
作者:
Rais-Zadeh Mina
;
Kohl Paul A.
;
Ayazi Farrokh
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
75.
Silicon carbide coated MEMS strain sensor for harsh environment applications
机译:
用于苛刻环境应用的碳化硅涂层MEMS应变传感器
作者:
Azevedo Robert G.
;
Jingchun Zhangb
;
Jonesa Debbie G.
;
Myersa David R.
;
Joga Anand V.
;
Babak Jamshidia
;
Wijesundaraa Muthu B. J.
;
Maboudianb Roya
;
Pisanoa Albert P.
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
76.
A controllable micro-lens structure for bio-analytical applications
机译:
用于生物分析应用的可控微透镜结构
作者:
Suz-Kai Hsiung
;
Gwo-Bin Lee
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
77.
MEMS SENSOR FOR IN SITU TEM ATOMIC FORCE MICROSCOPY
机译:
MEMS传感器用于原位TEM原子力显微镜
作者:
A. Nafari
;
D. Karlen
;
C. Rusu
;
K. Svensson
;
H. Olin
;
P. Enoksson
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
78.
A NOVEL SACRIFICIAL LAYER TECHNOLOGY BASED ON HIGHLY SELECTIVE ETCHING OF SILICON-GERMANIUM IN CLF3
机译:
基于CLF3中硅 - 锗的高选择性蚀刻的新型牺牲层技术
作者:
Christina Leinenbach
;
Helmut Seidel
;
Tino Fuchs
;
Silvia Kronmueller
;
Franz Laermer
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
79.
LIQUID JET PROPELLER INTEGRATED WITH RESERVOIR, CHANNEL, AND COVER
机译:
液体喷射螺旋桨与储存器,通道和盖子一体化
作者:
Joyita Dutta
;
Hongyu Yu
;
Chuang-Yuan Lee
;
Eun Sok Kim
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
80.
MEMS scanning mirror supported by soft polymeric springs and actuated by electrostatic charge separation
机译:
MEMS扫描镜由软聚合物弹簧支撑,并通过静电电荷分离致动
作者:
Bachmann Daniel
;
Kuhne Stephane
;
Hierold Christofer
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
81.
A 10 #x03BC;m thick poly-SiGe gyroscope processed above 0.35 #x03BC;m CMOS
机译:
加工10μm厚的多SiGe陀螺仪0.35μmcmos
作者:
Scheurle A.
;
Fuchs T.
;
Kehr K.
;
Leinenbach C.
;
Kronmuller S.
;
Arias A.
;
Ceballos J.
;
Lagos M. A.
;
Mora J. M.
;
Munoz J. M.
;
Ragel A.
;
Ramos J.
;
Van Aerde S.
;
Spengler J.
;
Mehta A.
;
Verbist A.
;
Du Bois B.
;
Witvrouw A.
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
关键词:
CMOS;
Gyroscope;
Monolithic Integration;
SiGe;
Silicon-Germanium;
82.
TWO DECADES OF MEMS - FROM SURPRISE TO ENTERPRISE
机译:
二十年的MEMS - 从惊讶于企业
作者:
Hiroyuki Fujita
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
83.
RETRO-REFLECTION VOA USING PARABOLIC MIRROR FOR LOW INSERTION LOSS AND LINEAR ATTENUATION RELATIONSHIP
机译:
复古 - 反射VOA使用抛物面镜,用于低插入损耗和线性衰减关系
作者:
X. M. Zhang
;
A. Q. Liu
;
H. Cai
;
A. B. Yu
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
84.
#x201C;silicon on PDMS#x201D;: SOI extra thin active layer transferred to organic film for flexible applications
机译:
“PDMS上的硅”:SOI超薄有源层转移到有机薄膜上进行柔性应用
作者:
Srisomrun S.
;
Mita Y.
;
Hoshino K.
;
Sugiyama M.
;
Shibata T.
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
85.
MICROREACTIONS USING NANOLITER DROPLETS WITH OIL ENCAPSULATION
机译:
使用具有油封装的纳米液滴的微孔
作者:
Chuang-Yuan Lee
;
Hongyu Yu
;
Eun Sok Kim
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
86.
Polymer tactile sensing array with a unit cell of multiple capacitors for three-axis contact force image construction
机译:
聚合物触觉传感阵列,具有多个电容器的单元电池,用于三轴接触力图像构造
作者:
Hyung-Kew Lee
;
Jaehoon Chung
;
Sun-Il Chang
;
Euisik Yoon
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
87.
A Two-Axis Piezoelectric Tilting Micromirror with a Newly Developed PZT-Meandering Actuator
机译:
具有新开发的PZT曲折执行器的双轴压电倾斜微镜
作者:
Masanao Tani
;
Masahiro Akamatsu
;
Yoshiaki Yasuda
;
Hiroshi Toshiyoshi
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
关键词:
2D-optical scanner;
PZT;
Arc discharge reactive ion plating;
ADRIP;
88.
THROMBUS SENSOR WITH A MICROVASCULAR HOLDING ACTUATOR
机译:
血栓传感器,带有微血管保持致动器
作者:
Takashi Mineta
;
Nozomi Kida
;
Satoshi Nomura
;
Eiji Makino
;
Takashi Sugawara
;
Satoshi Toh
;
Takayuki Shibata
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
89.
A Three-dimensional Artificial Insect Wing by Microcasting of Thermosetting Plastic Using a Thin Elastic Mold
机译:
一种三维人工昆虫翼,通过薄弹性模具微塑性塑料
作者:
Hiroto Tanaka
;
Kiyoshi Matsumoto
;
Isao Shimoyama
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
90.
Fluid-resistive bending sensor having perfect compatibility with flexible pneumatic balloon actuator
机译:
流体电阻弯曲传感器,具有与柔性气动气球执行器的完美兼容性
作者:
Shinya Kusuda
;
Satoshi Sawano
;
Satoshi Konishi
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
91.
Zinc-air microbattery with electrode array of zinc microposts
机译:
锌 - 空气微滴定量,锌微孔电极阵列
作者:
Chamran Fardad
;
Hong-Seok Min
;
Dunn Bruce
;
Chang-Jin CJ Kim
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
92.
EMBEDDED SELF-CIRCULATION OF LIQUID FUEL FOR A MICRO DIRECT METHANOL FUEL CELL
机译:
用于微直接甲醇燃料电池的液体燃料的嵌入式自循环
作者:
Dennis Desheng Meng
;
Chang-Jin C. J. Kim
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
93.
Pyrolyzed carbon biosenosor for aptamer-protein interactions using electrochemical impedance spectroscopy
机译:
用于采用电化学阻抗光谱的适于适体蛋白相互作用的热解碳生物体
作者:
Lee Jung A
;
Seongpil Hwang
;
Kwang-Cheol Lee
;
Juhyoun Kwak
;
Se Il Park
;
Lee Seung S.
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
94.
Two-Dimensional Magnetic Droplet Manipulation Platform for Miniaturized Bioanalytical Applications
机译:
用于小型生物分析应用的二维磁液滴操纵平台
作者:
U. Lehmann
;
C. Vandevyver
;
V. K. Parashar
;
D. DeCourten
;
M. A. M. Gijs
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
95.
A two-axis piezoelectric tilting micromirror with a newly developed PZT-meandering actuator
机译:
具有新开发的PZT曲折执行器的双轴压电倾斜微镜
作者:
Masanao Tani
;
Masahiro Akamatsu
;
Yoshiaki Yasuda
;
Hiroshi Toshiyoshi
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
关键词:
2D-optical scanner;
ADRIP;
PZT;
arc discharge reactive ion plating;
96.
High-order composite bulk acoustic resonators
机译:
高阶复合散装声谐振器
作者:
Ho Gavin K.
;
Abdolvand Reza
;
Ayazi Farrokh
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
97.
Micromachined linear brownian motor: Net-unidirectional transport of nanobeads by tamed brownian motion with electrostatic rectification
机译:
微机械线性褐色电机:通过抵制静电整流的布朗运动净自向运输纳米孔
作者:
Altintas Ersin
;
Bohringer Karl F.
;
Hiroyuki Fujita
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
98.
TOPOLOGICAL LAYER SWITCH TECHNIQUE FOR MONOLITHICALLY INTEGRATED ELECTROSTATIC XYZ-STAGE
机译:
单层集成静电XYZ级拓扑层开关技术
作者:
Kazuhiro Takahashi
;
Makoto Mita
;
Hiroyuki Fujita
;
Hiroshi Toshiyoshi
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
99.
MINIATURE RT-PCR SYSTEMS INTEGRATED WITH A SAMPLE PRETREATMENT DEVICE FOR VIRUS DETECTION
机译:
与样品预处理装置集成的微型RT-PCR系统用于病毒检测
作者:
Kang-Yi Lien
;
Wang-Ying Lin
;
Chih-Hao Wang
;
Huan-Yao Lei
;
Gwo-Bin Lee
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
100.
A dynamic ferrofluid platform for micromanipulation
机译:
用于微操纵的动态铁磁流体平台
作者:
Woo-Bin Song
;
Zhenwen Ding
;
Chulwoo Son
;
Babak Ziaie
;
MEMS
会议名称:
《Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2007年
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