掌桥科研
一站式科研服务平台
科技查新
收录引用
专题文献检索
外文数据库(机构版)
更多产品
首页
成为会员
我要充值
退出
我的积分:
中文会员
开通
中文文献批量获取
外文会员
开通
外文文献批量获取
我的订单
会员中心
我的包量
我的余额
登录/注册
文献导航
中文期刊
>
中文会议
>
中文学位
>
中国专利
>
外文期刊
>
外文会议
>
外文学位
>
外国专利
>
外文OA文献
>
外文科技报告
>
中文图书
>
外文图书
>
工业技术
基础科学
医药卫生
农业科学
教科文艺
经济财政
社会科学
哲学政法
其他
工业技术
基础科学
医药卫生
农业科学
教科文艺
经济财政
社会科学
哲学政法
其他
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
材料科学
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
马克思主义、列宁主义、毛泽东思想、邓小平理论
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
文化、科学、教育、体育
语言、文字
文学
艺术
历史、地理
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
生物科学
医药、卫生
农业科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
综合性图书
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
材料科学
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
材料科学
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
美国国防部AD报告
美国能源部DE报告
美国航空航天局NASA报告
美国商务部PB报告
外军国防科技报告
美国国防部
美国参联会主席指示
美国海军
美国空军
美国陆军
美国海军陆战队
美国国防技术信息中心(DTIC)
美军标
美国航空航天局(NASA)
战略与国际研究中心
美国国土安全数字图书馆
美国科学研究出版社
兰德公司
美国政府问责局
香港科技大学图书馆
美国海军研究生院图书馆
OALIB数据库
在线学术档案数据库
数字空间系统
剑桥大学机构知识库
欧洲核子研究中心机构库
美国密西根大学论文库
美国政府出版局(GPO)
加利福尼亚大学数字图书馆
美国国家学术出版社
美国国防大学出版社
美国能源部文献库
美国国防高级研究计划局
美国陆军协会
美国陆军研究实验室
英国空军
美国国家科学基金会
美国战略与国际研究中心-导弹威胁网
美国科学与国际安全研究所
法国国际关系战略研究院
法国国际关系研究所
国际宇航联合会
美国防务日报
国会研究处
美国海运司令部
北约
盟军快速反应部队
北约浅水行动卓越中心
北约盟军地面部队司令部
北约通信信息局
北约稳定政策卓越中心
美国国会研究服务处
美国国防预算办公室
美国陆军技术手册
一般OA
科技期刊论文
科技会议论文
图书
科技报告
科技专著
标准
其它
美国卫生研究院文献
分子生物学
神经科学
药学
外科
临床神经病学
肿瘤学
细胞生物学
遗传学
公共卫生&环境&职业病
应用微生物学
全科医学
免疫学
动物学
精神病学
兽医学
心血管
放射&核医学&医学影像学
儿科
医学进展
微生物学
护理学
生物学
牙科&口腔外科
毒理学
生理学
医院管理
妇产科学
病理学
生化技术
胃肠&肝脏病学
运动科学
心理学
营养学
血液学
泌尿科学&肾病学
生物医学工程
感染病
生物物理学
矫形
外周血管病
药物化学
皮肤病学
康复学
眼科学
行为科学
呼吸学
进化生物学
老年医学
耳鼻喉科学
发育生物学
寄生虫学
病毒学
医学实验室检查技术
生殖生物学
风湿病学
麻醉学
危重病护理
生物材料
移植
医学情报
其他学科
人类生活必需品
作业;运输
化学;冶金
纺织;造纸
固定建筑物
机械工程;照明;加热;武器;爆破
物理
电学
人类生活必需品
作业;运输
化学;冶金
纺织;造纸
固定建筑物
机械工程;照明;加热;武器;爆破
物理
电学
马克思主义、列宁主义、毛泽东思想、邓小平理论
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
文化、科学、教育、体育
语言、文字
文学
艺术
历史、地理
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
生物科学
医药、卫生
农业科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
综合性图书
主题
主题
题名
作者
关键词
摘要
高级搜索 >
外文期刊
外文会议
外文学位
外国专利
外文图书
外文OA文献
中文期刊
中文会议
中文学位
中国专利
中文图书
外文科技报告
清除
历史搜索
清空历史
首页
>
外文会议
>
电子学、通信
>
Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA
Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA
召开年:
召开地:
出版时间:
-
会议文集:
-
会议论文
热门论文
全部论文
相关中文期刊
电子器件
广东数据通信
半导体光子学与技术(英文版)
电子设计工程
世界专业音响与灯光
电子电路与贴装
中兴通讯技术
电子元器件应用
信息技术
集成电路应用
更多>>
相关外文期刊
RFID Journal
IEEE Transactions on Systems, Man, and Cybernetics
FITCE Forum
Fernmelde-Ingenieur
RadCom
Television
Asian Communications
The journal of the Institute of Telecommunications Professionals
Theoretical Issues in Ergonomics Science
Optical Switching and Networking
更多>>
相关中文会议
2009国际传输与覆盖研讨会
'99联合结构与工艺学术年会
2010年全国信息技术与应用学术会议
2013无线电、电离辐射计量与测试学术交流会
中国兵工学会第十二届测试技术学术年会
第九届京、津、沪、渝有线电视业务&技术研讨会暨第九届全国城市有线电视业务&技术研讨会
四川省电子学会电子测量与仪器专委会第十四届学术年会
全国电磁兼容学术研讨会
第六届SMT/SMD学术研讨会
第十一届保密通信与信息安全现状研讨会
更多>>
相关外文会议
Liquid Crystals VIII
Three-Dimensional Image Capture and Applications VII; Electronic Imaging Science and Technology
Optoelectronic materials and devices VI
Laser sources and applications.
28th European mask and lithography conference.
Conference on Active and Passive Optical Components for WDM Communications Ⅱ, Jul 29-Aug 1, 2002, Boston, USA
Optical Interconnects XVI
High-power diode laser technology and applications XIV
Defense Transformation and Network-Centric Systems 2007; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6578
Satellite data compression, communications, and processing XI
更多>>
热门会议
Meeting of the internet engineering task force;IETF
日本建築学会;日本建築学会大会
日本建築学会(Architectural Institute of Japan);日本建築学会年度大会
日本建築学会学術講演会;日本建築学会
日本建築学会2010年度大会(北陸)
Korean Society of Noise & Vibration Control;Institute of Noise Control Engineering;International congress and exposition on noise control engineering;ASME Noise Control & Acoustics Division
土木学会;土木学会全国大会年次学術講演会
応用物理学会秋季学術講演会;応用物理学会
総合大会;電子情報通信学会
The 4th International Conference on Wireless Communications, Networking and Mobile Computing(第四届IEEE无线通信、网络技术及移动计算国际会议)论文集
更多>>
最新会议
2011 IEEE Cool Chips XIV
International workshop on Java technologies for real-time and embedded systems
Supercomputing '88. [Vol.1]. Proceedings.
RILEM Proceedings PRO 40; International RILEM Conference on the Use of Recycled Materials in Buildings and Structures vol.1; 20041108-11; Barcelona(ES)
International Workshop on Hybrid Metaheuristics(HM 2007); 20071008-09; Dortmund(DE)
The 57th ARFTG(Automatic RF Techniques Group) Conference, May 25, 2001, Phoenix, AZ
Real Time Systems Symposium, 1989., Proceedings.
Conference on Chemical and Biological Sensing V; 20040412-20040413; Orlando,FL; US
American Filtration and Separations Society conference
Combined structures congress;North American steel construction conference;NASCC
更多>>
全选(
0
)
清除
导出
1.
Whole Wafer Critical Point Drying of MEMS Devices
机译:
MEMS器件的整个晶圆关键点干燥
作者:
P.J. Resnick
;
PJ. Clews
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
MEMS;
supercritical;
CO_2;
stiction;
drying;
2.
Stroboscopic Interferometry for Characterization and Improvement of Flexural Plate-Wave Transducers
机译:
频闪干涉法表征和改进挠性板波传感器
作者:
Christian Rembe
;
Pamela Caton
;
Richard M. White
;
Richard S. Muller
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
MEMS;
MEMS testing;
MEMS characterization;
stroboscopic interferometer;
laser-doppler vibrometer;
flexural plate wave;
3.
Surface Preparation for Selective Tungsten Deposition on MEMS Structures
机译:
在MEMS结构上进行选择性钨沉积的表面处理
作者:
P.J. Resnick
;
S.S. Mani
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
MEMS;
coatings;
selective;
tungsten;
wear;
HF;
vapor;
CVD;
surface treatment;
4.
Printing System for MEMS Packaging
机译:
MEMS包装印刷系统
作者:
Donald J. Hayes
;
W. Royall Cox
;
David B. Wallace
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
Microdispensing, ink-jet, micro-optics, MEMS, MOEMS;
5.
PHYSICAL AND RELIABILITY ISSUES IN MEMS MICRO-RELAYS WITH GOLD CONTACTS
机译:
具有金触点的MEMS微继电器的物理和可靠性问题
作者:
Xavier LAFONTAN
;
Francis PRESSECQ
;
Guy PEREZ
;
Christian DUFAZA
;
Jean-Michel KARAM
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
MEMS relay;
reliability;
contact quality;
gold contact modeling;
micro-switch characterization;
MUMPs;
6.
Reliability of self-assembled 3D microstructures: Dynamic Snap-Through modeling and experimental validation
机译:
自组装3D微结构的可靠性:动态快速建模和实验验证
作者:
Olivier Millet
;
Lionel Buchaillot
;
Emmanuel Quevy
;
Dominique Collard
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
7.
Reliability of Microelectromechanical Systems (MEMS)
机译:
微机电系统(MEMS)的可靠性
作者:
Srinivas Tadigadapa
;
Nader Najafi
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
microelectromechanical systems;
packaging;
reliability testing;
capacitive pressure sensors;
pressure sensor reliability;
biomedical pressure sensors;
8.
Parametric yield enhancement of a microresonator using statistical optimization tools
机译:
使用统计优化工具提高微谐振器的参数产量
作者:
Flavien DELAUCHE
;
Bachar AFFOUR
;
Christian DUFAZA
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
parametric yield management;
statistical optimization;
variability minimization;
DFM;
DOE;
Taguchi method;
MEMS resonator;
9.
Detailed study of scratch drive actuator characteristics using highspeed imaging
机译:
使用高速成像技术对刮板驱动执行器特性进行详细研究
作者:
Lijie Li
;
J. Gordon Brown
;
Deepak Uttamchandani
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
microactuator;
scratch drive;
surface micromachining;
MEMS characterization;
high-speed imaging;
10.
Fracture toughness and fatigue investigations of polycrystalline silicon
机译:
多晶硅的断裂韧性和疲劳研究
作者:
Joerg Bagdahn
;
Jan Schischka
;
Matthias Petzold
;
William N. Sharpe
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
11.
High speed, 3D optical imaging and failure analysis of high- and low-frequency movements in micro-electromechanical systems (MEMS) with nanometer resolution
机译:
纳米分辨率的微机电系统(MEMS)中的高速3D光学成像以及高频和低频运动的故障分析
作者:
W. Merlijn van Spengen
;
Ingrid De Wolf
;
Robert Puers
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
MEMS;
microsystems;
3D imaging;
high speed imaging;
resonance;
deflection;
deformation;
characterization;
interferometer;
failure analysis;
12.
Holographic rapid access system for onboard testing of MEMS in microgravity
机译:
用于微重力MEMS的车载测试的全息快速访问系统
作者:
Valery Petrov
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
research aboard the international space station;
innovative spacecraft research technologies and devices;
MEMS testing in microgravity;
holographic rapid access system;
real time in situ holographic data acquisition and display in weightlessness;
high vol;
13.
Method for Testing Electrostatic Discharge Tolerance for Fingerprint Sensor LSI
机译:
指纹传感器LSI的静电放电容限测试方法
作者:
Yasuyuki Tanabe
;
Hideyuki Unno
;
Katsuyuki Machida
;
Norio Sato
;
Hiromu Ishii
;
Satoshi Shigematsu
;
Hiroki Morimura
;
Hakaru Kyuragi
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
fingerprint sensor LSI;
sensor structure;
electrostatic discharge;
ESD;
contact discharge;
air discharge;
14.
Nondestructive Acoustic Micro Imaging (AMI) analysis of MEMS materials, manufacturing and packaging
机译:
MEMS材料,制造和包装的无损声学微成像(AMI)分析
作者:
Steven R. Martell
;
Janet E. Semmens
;
Lawrence Kessler
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
AMI;
MEMS;
MEOMS;
acoustic microscopy;
reliability;
bonded wafers;
stiction;
delamination hermeticity;
15.
Moisture and impurities detection and removal in packaged MEMS
机译:
封装MEMS中的水分和杂质检测与去除
作者:
Stefano Tominetti
;
Anna Delia Porta
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
vacuum encapsulation;
getter;
dryer;
outgassing;
residual gas analysis;
16.
Characterisation of MEMS mechanical properties using nanoscale techniques
机译:
使用纳米技术表征MEMS机械性能
作者:
Nicholas X. Randall
;
Richard A. J. Soden
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
MEMS;
mechanical properties;
indentation;
scratch;
accelerometer;
microswitch;
printer head;
17.
Characterization of an inchworm actuator fabricated by polysilicon surface micromachining
机译:
多晶硅表面微加工制造的尺inch致动器的表征
作者:
Maarten P. de Boer
;
David L
;
Luck
;
Jeremy Walraven
;
James M. Redmond
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
actuation;
friction;
force characterization;
optical moire michelson metrology;
wear;
18.
Design for Reliability of MEMS /MOEMS for Lightwave Telecommunications
机译:
面向光波通信的MEMS / MOEMS的可靠性设计
作者:
Susanne Arney
;
Vladimir A. Aksyuk
;
David J. Bishop
;
Cristian A. Bolle
;
Robert E. Frahm
;
Arman Gasparyan
;
C. Randy Giles
;
Suresh Goyal
;
Flavio Pardo
;
Herbert R. Shea
;
Michael T. Lin
;
Carolyn D. White
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
optical MEMS;
MOEMS;
microsystems;
reliability;
design for reliability;
built-in-reliability;
lightwave telecommunications;
19.
Design and Fabrication of MEMS-Based Micropropulsion Devices at JPL
机译:
JPL的基于MEMS的微推进装置的设计和制造
作者:
Juergen Mueller
;
Eui-Hyeok Yang
;
Amanda Green
;
Victor White
;
Indrani Chakraborty
;
Robert Reinicke
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
micropropulsion;
microvalves;
microfabrication;
microspacecraft;
20.
MEMS Reliability, Characterization and Test
机译:
MEMS可靠性,表征和测试
作者:
Allyson Hartzell
;
David Woodilla
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
21.
Analysis and Design of a Capacitive Accelerometer Based on a Electrostatically Levitated Micro-disk
机译:
基于静电悬浮微盘的电容式加速度计的分析与设计
作者:
Ruth Houlihan
;
Alena Kukharenka
;
Mircea Gindila
;
Michael Kraft
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
electrostatic levitation;
capacitance sensing;
electrostatic forces and moments;
22.
THERMALLY INDUCED CHANGE IN DEFORMATION OF MULTIMORPH MEMS STRUCTURES
机译:
热变形引起的多态MEMS结构变形
作者:
David C. Miller
;
Martin L. Dunn
;
Victor M. Bright
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
MEMS;
multimorph;
reliability;
temperature;
heat-treatment;
energy storage;
23.
Strength assessment of wafer-bonded micromechanical components using the Micro-Chevron-Test
机译:
使用微雪佛龙测试评估与晶圆粘合的微机械零件的强度
作者:
Matthias Petzold
;
Heiko Knoll
;
Joerg Bagdahn
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
24.
Study on Packaging issues using FEA and Experimental Verification on Si based Capacitive Microrelay
机译:
基于FEA的封装问题研究以及基于Si的电容式微继电器的实验验证
作者:
C.S.Premachandran
;
Xiaowu Zhang
;
Chai TC
;
Victor Samper
;
TB Lim
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
microrelay;
MEMS packaging;
FEA modeling;
airloading;
warpage;
stress;
25.
Progress and profit through micro technologies. Commercial applications of MEMS / MOEMS
机译:
通过微技术获得进步和利润。 MEMS / MOEMS的商业应用
作者:
Wolfgang Ehrfeld
;
Ursula Ehrfeld
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
micro technology market;
micro fabrication;
mathematical modelling;
micro devices;
medical technology;
life sciences;
information technology;
mobility;
micro reactors;
26.
RELIABLE INTEGRATION OF PIEZOELECTRIC LEAD ZIRCONATE TITANATE WITH MEMS FABRICATION PROCESSES
机译:
压电铅钛酸酯与MEMS制备过程的可靠集成
作者:
S.J. Gross
;
Q.Q. Zhang
;
S. Tadigadapa
;
S. Trolier-McKinstry
;
T.N. Jackson
;
F. Djuth
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
27.
Parametric Monitoring for the SUMMiT V~(TM) Surface Micromachining Process
机译:
SUMMiT V〜(TM)表面微加工过程的参数监控
作者:
Andrew D. Oliver
;
Danelle M. Tanner
;
Seethambal S. Mani
;
Scot E. Swanson
;
Karen S. Helgesen
;
Norman F. Smith
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
28.
Conduction properties of microscopic gold contact surfaces
机译:
微观金接触表面的导电特性
作者:
Joseph Tringe
;
Warren Wilson
;
Jack Houston
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
contact;
MEMS;
relay;
switch;
Au;
gold;
IFM;
microcontact;
microrelay;
reliability;
29.
Failure Analysis of Radio Frequency (RF) Microelectromechanical Systems (MEMS)
机译:
射频(RF)微机电系统(MEMS)的故障分析
作者:
Jeremy A. Walraven
;
Edward I. Code Jr.
;
Lynn R. Sloan
;
Susan Hietala
;
Chris P. Tigges
;
Christopher W. Dyck
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
RF MEMS;
metal contacting series switch;
failure analysis;
focused ion beam (FIB);
scanning electron microscopy (SEM);
resistive contrast imaging (RCI);
thermally-induced voltage alteration (TIVA);
30.
Nanoscale Elastic Imaging of Micro-Electro-Mechanical System based Micro-Mirrors
机译:
基于微机电系统的微镜的纳米级弹性成像
作者:
Bruce Altemus
;
Gajendra Shekhawat
;
Bai Xu
;
Robert Geer
;
James Castracane
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
micro-electro-mechanical systems (MEMS);
ultrasonic force microscopy (UFM);
atomic force microscopy (AFM);
31.
Experimental microfluidics toolbox for MEMS characterization
机译:
用于MEMS表征的实验性微流体工具箱
作者:
Steve Wereley
;
Carl D. Meinhart
;
Shannon Stone
;
Vince Hohreiter
;
Jacob Chung
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
microfluidics;
diagnostic;
characterization;
MEMS;
PIV;
particle image velocimetry;
thermometry;
nanoscope;
32.
CNES RELIABILITY APPROACH FOR THE QUALIFICATION OF MEMS FOR SPACE
机译:
用于空间MEMS鉴定的CNES可靠性方法
作者:
Francis PRESSECQ
;
Xavier LAFONTAN
;
Guy PEREZ
;
Jean-Pierre FORTEA
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
space;
reliability;
qualification;
failure analysis;
failure mechanisms;
expertise;
33.
Optimization of Anodic Bonding to MEMS with Self-Assembled Monolayer (SAM) Coatings
机译:
利用自组装单层(SAM)涂层优化与MEMS的阳极键合
作者:
M.V. Collins
;
L.E.S. Rohwer
;
A.D. Oliver
;
M.G. Hankins
;
D.A. Hirschfeld
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
关键词:
anodic bonding;
full wafer packaging;
anti-stiction coatings;
pyrex 7740;
surface micromachines;
34.
MEMS/MOEMS Application to Optical Communication
机译:
MEMS / MOEMS在光通信中的应用
作者:
Hiroyuki Fujita
会议名称:
《Conference on Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA》
|
2001年
意见反馈
回到顶部
回到首页