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International Conference on Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices(RTP 2001); 20011114-20011116; Ise-Shima,Mie; JP
International Conference on Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices(RTP 2001); 20011114-20011116; Ise-Shima,Mie; JP
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1.
Hard Breakdown Characteristics in a 2.2-nm-thick SiO_2 film
机译:
2.2纳米厚SiO_2膜的硬击穿特性
作者:
Kenji Komiya
;
Masahiro Nagahara
;
Yasuhisa Omura
会议名称:
《International Conference on Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices(RTP 2001); 20011114-20011116; Ise-Shima,Mie; JP》
|
2001年
2.
Heavy Doping Characteristics of Si Films Epitaxially Grown at 4SO℃ by Alternately Supplied PH_3 and SiH_4
机译:
交替供应PH_3和SiH_4在4SO℃外延生长的Si膜的重掺杂特性
作者:
Yosuke Shimamune
;
Masao Sakuraba
;
Takashi Matsuura
;
Junichi Murota
会议名称:
《International Conference on Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices(RTP 2001); 20011114-20011116; Ise-Shima,Mie; JP》
|
2001年
3.
The Short-period (Si_(14)/Ge_1)_(20) and (Si_(28)/Ge)2)_(10) superlattices as Buffer Layers for the Growth of Si_(0.75)Ge_(0.25) Alloy Layers
机译:
短周期(Si_(14)/ Ge_1)_(20)和(Si_(28)/ Ge)2)_(10)超晶格作为生长Si_(0.75)Ge_(0.25)合金层的缓冲层
作者:
M.M. Rahman
;
K. Kurumatani
;
T. Tambo
;
C. Tatsuyama
会议名称:
《International Conference on Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices(RTP 2001); 20011114-20011116; Ise-Shima,Mie; JP》
|
2001年
4.
Steady and Transient Gas Flow Simulation of SiGe Vertical Reactor
机译:
SiGe立式反应堆的稳态和瞬态气流模拟
作者:
Akihiro Miyauchi
;
Hirohisa Yamazaki
;
Yasuhiro Inokuchi
;
Yasuo Kunii
会议名称:
《International Conference on Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices(RTP 2001); 20011114-20011116; Ise-Shima,Mie; JP》
|
2001年
5.
Role of Rapid Thermal Processing in the Development of Disruptive and Non-disruptive Technologies for Semiconductor Manufacturing in the 21st Century
机译:
快速热处理在21世纪半导体制造的破坏性和非破坏性技术发展中的作用
作者:
Rajendra Singh
;
Mohammed Fakhruddin
;
Kelvin F. Poole
会议名称:
《International Conference on Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices(RTP 2001); 20011114-20011116; Ise-Shima,Mie; JP》
|
2001年
6.
Sb Pile-up at the SiO_2/Si Interface during Drive-in Process after Predeposition using SOG Source
机译:
使用SOG源进行预沉积后的压入过程中SiO_2 / Si界面处的Sb堆积
作者:
Tomohiro Ichino
;
Hideo Uchida
;
Masaya Ichimura
;
Eisuke Arai
会议名称:
《International Conference on Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices(RTP 2001); 20011114-20011116; Ise-Shima,Mie; JP》
|
2001年
7.
Si Epitaxial Growth on the Atomic-Order Nitrided Si(100) Surface in SiH_4 Reaction
机译:
SiH_4反应中原子序氮化的Si(100)表面上Si外延生长
作者:
Youngcheon Jeong
;
Masao Sakuraba
;
Takashi Matsuura
;
Junichi Murota
会议名称:
《International Conference on Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices(RTP 2001); 20011114-20011116; Ise-Shima,Mie; JP》
|
2001年
8.
Rapid Thermal Annealing of (l-x)Ta_2O_(5-x)TiO_2 Thin Films Formed by Metalorganic Decomposition
机译:
金属有机分解形成的(l-x)Ta_2O_(5-x)TiO_2薄膜的快速热退火
作者:
K. M. A. Salam
;
H. Konishi
;
H. Fukuda
;
S. Nomura
会议名称:
《International Conference on Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices(RTP 2001); 20011114-20011116; Ise-Shima,Mie; JP》
|
2001年
9.
Rapid Thermal MOCVD Processing for InP-Based Devices
机译:
基于InP的器件的快速热MOCVD处理
作者:
Oleg Kreinin
;
Gad Bahir
会议名称:
《International Conference on Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices(RTP 2001); 20011114-20011116; Ise-Shima,Mie; JP》
|
2001年
10.
Novel UV-assisted Rapid Thermal Annealing of Ferroelectric Materials
机译:
新型的紫外线辅助铁电材料快速热退火
作者:
E. Lynch
;
S. OBrien
;
P.V. Kelly
;
H. Guillon
会议名称:
《International Conference on Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices(RTP 2001); 20011114-20011116; Ise-Shima,Mie; JP》
|
2001年
11.
Large Refractive Index C-S-Au Composite Film Formation by Plasma Processes
机译:
等离子体法形成大折射率C-S-Au复合膜
作者:
Masaki Matsushita
;
Md. Abul Kashem
;
Shinzo Morita
会议名称:
《International Conference on Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices(RTP 2001); 20011114-20011116; Ise-Shima,Mie; JP》
|
2001年
12.
High-Performance Poly-Si TFT and its Application to LCD
机译:
高性能多晶硅TFT及其在LCD中的应用
作者:
Hiroki Hamada
;
Hisashi Abe
;
Yoshio Miyai
会议名称:
《International Conference on Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices(RTP 2001); 20011114-20011116; Ise-Shima,Mie; JP》
|
2001年
13.
Ultra-high vacuum rapid thermal chemical vapor deposition for formation of TiN as barrier metals
机译:
超高真空快速热化学气相沉积法形成TiN作为阻挡金属
作者:
S. Naito
;
M. Okada
;
O. Nakatsuka
;
T. Okuhara
;
A. Sakai
;
S. Zaima
;
Y. Yasuda
会议名称:
《International Conference on Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices(RTP 2001); 20011114-20011116; Ise-Shima,Mie; JP》
|
2001年
14.
Process and Technology Drivers for Single Wafer Processes in DRAM Manufacturing
机译:
DRAM制造中单晶片工艺的工艺和技术驱动力
作者:
R. A. Weimer
;
D
;
C
;
Powell
;
P. M
;
Lenahan
会议名称:
《International Conference on Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices(RTP 2001); 20011114-20011116; Ise-Shima,Mie; JP》
|
2001年
15.
Properties of Phosphorus-Doped Polycrystalline Silicon Films Formed by Catalytic Chemical Vapor Deposition and Successive Rapid Thermal Annealing
机译:
催化化学气相沉积和连续快速热退火形成的掺磷多晶硅薄膜的性能
作者:
Rui Morimoto
;
Akira Izumi
;
Atsushi Masuda
;
Hideki Matsumura
会议名称:
《International Conference on Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices(RTP 2001); 20011114-20011116; Ise-Shima,Mie; JP》
|
2001年
16.
Rapid Low Temperature Photo Oxidation Processing for Advanced Poly-Si TFTs
机译:
用于高级多晶硅TFT的快速低温光氧化工艺
作者:
Yukihiko Nakata
;
Takashi Itoga
;
Tetsuya Okamoto
;
Toshimasa Hamada
;
Yutaka Ishii
会议名称:
《International Conference on Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices(RTP 2001); 20011114-20011116; Ise-Shima,Mie; JP》
|
2001年
17.
Implementations of Rapid Thermal Processes in Polysilicon TFT Fabrication
机译:
快速热处理工艺在多晶硅TFT制造中的实现
作者:
Miltiadis K. Hatalis
;
Apostolos T. Voutsas
会议名称:
《International Conference on Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices(RTP 2001); 20011114-20011116; Ise-Shima,Mie; JP》
|
2001年
18.
Evaluation of Crystalline Defects in Thin, Strained Silicon-Germanium Epitaxial Layers by Optical Shallow Defect Analyzer
机译:
光学浅层缺陷分析仪评估薄应变硅锗外延层中的晶体缺陷
作者:
Yukihiro Kiyota
;
Kazuo Takeda
会议名称:
《International Conference on Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices(RTP 2001); 20011114-20011116; Ise-Shima,Mie; JP》
|
2001年
19.
Analytical Model for Spike Annealed Diffusion Profiles of Low-Energy and High-Dose Ion Implanted Impurities
机译:
低能量和高剂量离子注入杂质的尖峰退火扩散分布的解析模型
作者:
Kunihiro Suzuki
;
Hiroko Tashiro
会议名称:
《International Conference on Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices(RTP 2001); 20011114-20011116; Ise-Shima,Mie; JP》
|
2001年
20.
The LEVITOR 4000 system, Ultra-fast, Emissivity-independent, heating of substrates via heat conduction through thin gas layers
机译:
LEVITOR 4000系统,超快,与发射率无关,通过薄气体层的热传导加热基板
作者:
E.H.A. Granneman
;
V.I. Kuznetsov
;
A.B. Storm
;
H. Terhorst
会议名称:
《International Conference on Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices(RTP 2001); 20011114-20011116; Ise-Shima,Mie; JP》
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2001年
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