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Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on

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召开地：Kauai, HI
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1.MicroOptoMechanical characterization of a mechanically deflectedfree-standing polymer waveguides

机译：MicroOpto机械偏转的机械特性独立式聚合物波导
- 作者：Moo-Jin Choi;Kyoung-Sun Seo;Young-Hyun Jin;Young-Ho Cho
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
2.A novel refractive silicon microlens array using bulkmicromachining technology

机译：一种使用块体的新型折射硅微透镜阵列微加工技术
- 作者：Choon-Sup Lee;Chul-Hi Han
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
3.Deep lithography with protons: a generic technology for thefabrication of refractive micro-optical modules

机译：带有质子的深光刻技术：折射微光学模块的制造
- 作者：Volckaerts B.;Ottevaere H.;Vila A.;Muruzabal M.;Debaes C.;Vynck P.;Tuteleers P.;Baukens V.;Hermanne A.;Veretennicoff I.;Thienpont H.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
4.An accelerometer incorporating a micro-laser encoder for a widemeasurable range for earthquake detection

机译：集成了微型激光编码器的加速度计可测量范围用于地震检测
- 作者：Sawada R.;Higurashi E.;Itoh T.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
5.Compact Fourier transform spectrometer based on sampling a standingwave

机译：基于立式采样的紧凑型傅立叶变换光谱仪波
- 作者：Kung H.L.;Bhalotra S.R.;Mansell J.D.;Miller A.B.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
6.A high performance 4×4 free-space fiber-optic crossconnection

机译：高性能4×4自由空间光纤交叉连接
- 作者：Liu A.Q.;Zhang X.M.;Lam Y.L.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
7.Optical fiber switch using a deformable mirror for a large numberof interconnects

机译：大量使用可变形镜的光纤开关的互连
- 作者：Peter Y.-A.;Gonte F.;Herzig H.-P.;Dandliker R.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
8.Polysilicon 3D-mirror frequency shifter for WDM fibre-opticcommunication applications

机译：用于WDM光纤的多晶硅3D镜频移相器通讯应用
- 作者：Zhang X.M.;Chollet F.;Chau F.S.;Quan C.;Liu A.Q.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
9.Tunable red vertical cavity surface emitting lasers using flexiblemicro-electro-mechanical top mirrors

机译：使用柔性可调谐红色垂直腔表面发射激光器微机电顶镜
- 作者：Lott J.A.;Noble M.J.;Ochon E.M.;Starman L.A.;Cowan W.D.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
10.Tunable VCSEL with integrated heater and planar waveguidewavelength monitor

机译：具有集成加热器和平面波导的可调VCSEL波长监控器
- 作者：Blau G.;Gale M.T.;Sochtig J.;Zscholle Ch.;Hovel R.;Gulden K.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
11.Measurement of MEMS mechanical parameters by injectioninterferometry

机译：通过注入测量MEMS机械参数干涉仪
- 作者：Donati S.;Nogia M.;Lodi V.A.;Merlo S.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
12.Micro solid immersion lens fabricated by micro-molding fornear-field optical data storage

机译：通过微成型制造的微固体浸没透镜近场光学数据存储
- 作者：Youngjoo Yee;Jong Uk Bu;Il-Joo Cho;Euisik Yoon;Su-Dong Moon;Shinill Kang
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
13.Parallel-plate MEMS mirror design for large on-resonancedisplacement

机译：平行板MEMS反射镜设计可实现大的共模谐振移位
- 作者：Bhalotra S.R.;Mansell J.D.;Kung H.L.;Miller D.A.B.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
14.Development of 4×4 MEMS optical switch

机译：4×4 MEMS光开关的开发
- 作者：Kato Y.;Mori K.;Mase T.;Takahashi A.;Imaki O.;Kaku R.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
15.Design and fabrication of electromagnetic micromirror with bulksilicon mirror plate and aluminum spring

机译：大体积电磁微镜的设计与制造硅镜板和铝弹簧
- 作者：Chang-Hyeon Ji;Yong-Kweon Kim;Bum-Kyoo Choi
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
16.Design, fabrication and packaging of micro-optical components andsystems

机译：微光学元件的设计，制造和包装系统
- 作者：Kopola H.;Hiltunen J.;Hakkila J.;Karioja P.;Kololnoma T.;Karkkainen A.;Paaso J.;Rantala J.T.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
17.Closed-loop feedback-control system for improved tracking inmagnetically actuated micromirrors

机译：闭环反馈控制系统可改善跟踪磁驱动微镜
- 作者：Pannu S.;Chang C.;Muller R.S.;Pisano A.P.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
18.Micromachined wavelength tunable filter integrated with opticalfiber

机译：集成了光学元件的微加工波长可调滤光片纤维
- 作者：Junting Liu;Jeong J.Y.;Minfan Pai;Pollock C.R.;Tien N.C.;Ast D.G.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
19.Directly patternable thick film hybrid glass materials formicro-opto-mechanical structures

机译：可直接图案化的厚膜混合玻璃材料，用于微光机械结构
- 作者：Rantala J.T.;Juuso S.;Levy R.;Kivimaki L.;Descour M.R.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
20.Precision passive alignment technologies for low cost array FTTHcomponent

机译：用于低成本阵列FTTH的精密无源对准技术零件
- 作者：Ericson T.;Palmskog G.;Eriksen P.;Lundstrom P.;Granberg M.;Backlin L.;Frojd K.;Vieider C.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
21.LPCVD polysilicon films with controlled curvature for optical MEMS:the MultiPolyTM process

机译：用于光学MEMS的曲率可控的LPCVD多晶硅膜：MultiPoly TM 流程
- 作者：Heuer A.H.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
22.Scanning near-field optical microscope using cantilever integratedwith light emitting diode, waveguide, aperture, and photodiode

机译：使用悬臂集成扫描近场光学显微镜带有发光二极管，波导，光圈和光电二极管
- 作者：Sasaki M.;Tanaka K.;Hane K.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
23.Silicon bolometer and micro variable infrared filter for CO₂ measurement

机译：用于CO _{2的硅辐射热计和微可变红外滤光片测量}
- 作者：Hara H.;Kishi N.;Iwaoka H.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
24.Fiber-optic accelerometer with micro-optical shutter modulation andintegrated damping

机译：带有微光学快门调制的光纤加速度计和集成阻尼
- 作者：Guldimann B.;Clerc P.A.;De Rooij N.F.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
25.High-accuracy micro-encoder based on the higher-order diffractedlight interference

机译：基于高次衍射的高精度微编码器光干扰
- 作者：Higurashi E.;Sawada R.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
26.Multiple wavelength micromachined GaAlAs/GaAs vertical cavityfilter array

机译：多波长微加工GaAlAs / GaAs垂直腔过滤器阵列
- 作者：Amano T.;Koyama F.;Nishiyama N.;Iga K.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
27.Optical-layer networking with lightwave micromachines: what doservice-providers need and when do they need it?

机译：光波微机的光层联网：做什么服务提供者需要什么，何时需要？
- 作者：Goldstein E.L.;Lin L.Y.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
28.Micro-machined optical add/drop multiplexer with clientconfigurability

机译：带客户端的微加工光分插复用器可配置性
- 作者：Chuan Pu;Lin L.Y.;Goldstein E.L.;Tkach R.W.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
29.Magnetostrictive 2-D scanners and pig-tailed tunable MEMSfilters-studies on vacuum packaging and interconnection of optical MEMS

机译：磁致伸缩二维扫描仪和尾纤可调MEMS过滤器-光学MEMS的真空包装和互连研究
- 作者：Fujita H.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
30.Design optimization and improved performance on the link beamdriven, miniaturized scanning mirror device

机译：优化设计并提高链接梁的性能驱动的小型扫描镜装置
- 作者：Konno N.;Tsugai M.;Yoshikawa E.;Usami T.;Fujita R.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
31.Compact optical delay line based on scanning surface micromachinedpolysilicon mirrors

机译：基于微加工扫描面的紧凑型光学延迟线多晶硅镜
- 作者：Cornett K.T.;Heritage J.P.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
32.1×8 micro-mechanical switches based on moving waveguides foroptical fiber network switching

机译：基于移动波导的1×8微机械开关光纤网络交换
- 作者：Oilier E.;Chabrol C.;Enot T.;Brunet-Manquat P.;Margail J.;Mottier P.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
33.High optical power handling of pop-up microelectromechanicalmirrors

机译：弹出式微机电的高光功率处理镜子
- 作者：Spahn O.B.;Tigges C.;Shul R.;Rodgers S.;Polosky M.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
34.Fluidic self-assembly of micromirrors onto surface micromachinedactuators

机译：微镜的流体自组装到微加工的表面上执行器
- 作者：Srinivasan U.;Helmbrecht M.;Rembe C.;Muller R.S.;Howe R.T.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
35.Micromachined pixel arrays integrated with CMOS for infraredapplications

机译：集成了用于红外的CMOS的微加工像素阵列应用领域
- 作者：Cole B.E.;Higashi R.E.;Wood R.A.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
36.The use of micro-optics for miniaturized chemical and biomedicalanalysis systems

机译：微光学在微型化学和生物医学中的应用分析系统
- 作者：Nikolajeff F.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
37.Low power wireless readout of autonomous sensor wafer using MEMSgrating light modulator

机译：使用MEMS的自主传感器晶圆的低功率无线读数光栅光调制器
- 作者：Kruger M.V.P.;Guddal M.H.;Belikov R.;Bhatnagar A.;Solgaard O.;Spanos C.;Poolla K.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
38.An 8 mm3 digitally steered laser beam transmitter

机译：8 mm 3 数字控制的激光发射器
- 作者：Last M.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
39.Bulk-etched surface micromachined and flip-chip integratedmicromirror array for infrared applications

机译：整体蚀刻表面微加工和倒装芯片集成红外应用微镜阵列
- 作者：Tuantranont A.;Liew L.-A.;Bright V.M.;Jianglong Zhang;Wenge Zhang;Lee Y.C.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
40.Stroboscopic interferometer with variable magnification to measuredynamics in an adaptive-optics micromirror

机译：具有可变放大倍率的频闪干涉仪进行测量自适应光学微镜中的动力学
- 作者：Rembe C.;Hart M.;Helmbrecht M.A.;Srinivasan U.;Muller R.S.;Lau K.Y.;Howe R.T.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
41.Author Index

机译：作者索引
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
42.MEM's modulated photonic crystals

机译：MEM的调制光子晶体
- 作者：Yablonovitch E.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
43.Single molecule and cell manipulation in soft microfluidic devices

机译：软微流控设备中的单分子和细胞操作
- 作者：Quake S.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
44.2000 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS (Cat.No.00EX399)

机译：2000年IEEE / LEOS光学MEMS国际会议（目录No.00EX399）
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
45.Microelectromechanical intersecting waveguide optical switch basedon thermo-capillarity

机译：基于微机电交叉波导光开关关于热毛细管
- 作者：Makihara M.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
46.An SOI optical microswitch integrated with silicon waveguides andtouch-down micromirror actuators

机译：SOI光学微动开关集成了硅波导和落地微镜执行器
- 作者：Young-Hyun Jin;Kyoung-Sun Seo;Young-Ho Cho;Sang-Shin Lee;Ki-Chang Song;Jong-Uk Bu
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
47.Extending the travel range of electrostatic micro-mirrors using insulator coated electrodes

机译：使用绝缘体涂层电极扩展静电微镜的行程范围
- 作者：Xing-tao Wu;Brown R.A.;Mathews S.;Farmer K.R.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》
48.New self-aligned micromachining process for large free-spaceoptical cross-connects

机译：适用于大自由空间的新型自对准微加工工艺光学交叉连接
- 作者：Helin P.;Bourouina T.;Mita M.;Reyne G.;Fujita H.
- 会议名称：《Optical MEMS, 2000 IEEE/LEOS International Conference on》