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マイクロマシン?センサシステム研究会

召开年：2010
召开地：金沢市(JP)
出版时间：-

会议文集：-

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1.焦電効果を用いた高温環境用静電アクチュエータの特性評価

机译：利用热电效应对高温环境下静电致动器的特性评估
- 作者：尾﨑　隼人;神田　岳文
- 会议名称：《マイクロマシン?センサシステム研究会》 | 2016年
- 焦電効果;
- 静電アクチュエータ;
- 高温環境;
2.片面励起型振動子を用いた無線発振式QCMの電極形状の最適化

机译：单面激励型振荡器优化无线振荡型QCM的电极形状
- 作者：坂口　淳;寒川　雅之;安部　隆
- 会议名称：《マイクロマシン?センサシステム研究会》 | 2016年
- 水晶振動子微小天秤, 無線, 電極径;
- 結晶方向;
- 片面励起;
3.反応性イオンエッチングで形成した高密度ナノチャネルをもつオンチップマイクロクヌーセンポンプ

机译：具有通过反应离子刻蚀形成的高密度纳米通道的片上微型Knudsen泵
- 作者：諏訪亘;猪股直生;小野崇人
- 会议名称：《マイクロマシン?センサシステム研究会》 | 2016年
- マイクロポンプ;
- クヌーセンポンプ;
- ナノチャネル;
- 反応性イオンエッチング;
4.水晶発振回路を用いた2チャンネル型非接触液体センサの開発

机译：利用晶体振荡器电路开发2通道非接触式液体传感器
- 作者：矢田　直人;寒川　雅之;安部　隆
- 会议名称：《マイクロマシン?センサシステム研究会》 | 2016年
- 非接触測定;
- 水晶発振回路;
- 容量型センサ;
- 2チャンネル;
- 液体センサ;
5.Ni-W合金を用いたマイクロ熱電子発電素子のためのめっき膜低応力化

机译：镍钨合金微热电发电装置用镀膜的低应力
- 作者：河田　晋弥;岩見　健太郎;梅田　倫弘
- 会议名称：《マイクロマシン?センサシステム研究会》 | 2016年
- 熱電子発電;
- Ni-W合金;
- 電解めっき;
- 内部応力;
- 自立構造;
- MEMS;
6.金ナノグレーティング構造の静電駆動による光位相変調

机译：静电驱动金纳米光栅结构的光相位调制
- 作者：木下　卓哉;志村　崇;石井　美帆;岩見　健太郎;梅田　倫弘
- 会议名称：《マイクロマシン?センサシステム研究会》 | 2016年
- MEMS;
- メタサーフェス;
- ナノグレーティング;
- 複屈折;
- 静電アクチュエータ;
- 位相変調;
7.薄膜シリコンの破断における切り欠き形状がき裂進展に与える影響

机译：缺口形状对薄膜硅断裂中裂纹扩展的影响
- 作者：中村真也;安藤妙子;上野晃平
- 会议名称：《マイクロマシン?センサシステム研究会》 | 2016年
- シリコン;
- ナノスケール;
- 転位;
- 破壊靭性;
- き裂進展;
- スケール効果;
8.128 × 96画素並列16 bit出力3次元構造CMOSイメージセンサ

机译：128 x 96像素的并行16位输出3D结构CMOS图像传感器
- 作者：後藤　正英;萩原　啓;本田　悠葵;渡部　俊久;難波　正和;井口　義則;更屋　拓哉;小林　正治;日暮　栄治;年吉　洋;平本　俊郎
- 会议名称：《マイクロマシン?センサシステム研究会》 | 2016年
- イメージセンサ;
- 3次元集積化技術;
- 接合;
- SOI;
- フォトダイオード;
- A/D変換回路;