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Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection Jun 20-21, 2001, Munich, Germany
Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection Jun 20-21, 2001, Munich, Germany
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1.
Three-dimensional device characterization by high-speed cinematography
机译:
高速摄影对三维设备进行表征
作者:
C. Maier
;
E.P. Hofer
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection Jun 20-21, 2001, Munich, Germany》
|
2001年
关键词:
device characterization;
highly dynamical phenomena;
high-speed photography;
3-D visualization;
free surface microflows;
2.
Characterization of Thin Film MEMS Using Photo-Acoustic Microscopy
机译:
使用光声显微镜表征薄膜MEMS
作者:
Carmen M. Hernandez
;
Todd W. Murray
;
Sridhar Krishnaswamy
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection Jun 20-21, 2001, Munich, Germany》
|
2001年
关键词:
thin films;
photoacoustics;
laser ultrasonics;
MEMS;
3.
Inspection system for MEMS characterization on wafer level using ESPI
机译:
使用ESPI的晶圆级MEMS表征检查系统
作者:
Petra Aswendt
;
Claus-Dieter Schmidt
;
Dirk Zielke
;
Steffen Schubert
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection Jun 20-21, 2001, Munich, Germany》
|
2001年
关键词:
electronic speckle pattern interferometry;
MEMS characterization;
vibration measurement;
quality assurance;
4.
Fully integrated on-chip laboratories for Mems-based material and structure mechanical analysis
机译:
完全集成的片上实验室,用于基于Mems的材料和结构力学分析
作者:
Patrice Minotti
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection Jun 20-21, 2001, Munich, Germany》
|
2001年
关键词:
mems;
material;
mechanical characterization;
polysilicon fracture strength;
tensile fracture;
bending fracture;
microactuator loading characteristics;
electrostatic actuators;
contact interactions;
5.
Microphotogrammetry for 3D strain measurement and microassembly control
机译:
用于3D应变测量和微装配控制的显微摄影测量
作者:
R. Tutsch
;
R. Ritter
;
D. Ispas
;
M. Petz
;
L. Casarotto
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection Jun 20-21, 2001, Munich, Germany》
|
2001年
关键词:
photogrammetry;
material testing;
strain measurement;
positioning control;
microtechnology;
6.
Fabrication of multi-layer GaAlAs/GaAs microtips for VCSEL-based optical near-field sensors
机译:
用于基于VCSEL的光学近场传感器的多层GaAlAs / GaAs微尖端的制造
作者:
C. Gorecki
;
S. Khalfallah
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection Jun 20-21, 2001, Munich, Germany》
|
2001年
7.
High resolution measurement of thin metallic films and multi-layers by femtosecond laser pulses
机译:
飞秒激光脉冲高分辨率测量金属薄膜和多层薄膜
作者:
Jacqueline Vollmann
;
Dieter M. Profunser
;
Juerg Dual
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection Jun 20-21, 2001, Munich, Germany》
|
2001年
关键词:
laser based ultrasonics;
femtosecond laser acoustics;
photo-acoustics;
thin film metrology;
pump probe measurement;
MEMS inspection;
8.
Resolution improvement of pulsed laser experiments with a micro-optomechanical focussing tip
机译:
微光机聚焦尖端提高了脉冲激光实验的分辨率
作者:
Dieter M. Profunser
;
Jacqueline Vollmann
;
Juerg Dual
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection Jun 20-21, 2001, Munich, Germany》
|
2001年
关键词:
pump-probe technique;
pulsed laser experiment;
scanning probe method;
wave propagation in tips;
simulation of wave propagation;
ultrasonic wave focusing;
ultrasonic waves in cones;
arbitrary cross-section;
9.
Optical Measurement Methods to Study Dynamic Behavior in MEMS
机译:
研究MEMS动态行为的光学测量方法
作者:
Christian Rembe
;
Rishi Kant
;
Richard S. Muller
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection Jun 20-21, 2001, Munich, Germany》
|
2001年
关键词:
MEMS;
MEMS testing;
MEMS characterization;
stroboscopic interferometer;
microvision system;
vibrometer;
10.
A new measurement system for microscopic formtesting of microstructures by means of multiple wavelength interferometry
机译:
一种通过多波长干涉法对微观结构进行微观形式测试的新测量系统
作者:
Karsten Schneefuss
;
Tilo Pfeifer
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection Jun 20-21, 2001, Munich, Germany》
|
2001年
关键词:
interferometry;
microstructures;
multiple wavelength interferometry;
step-and-repeat process;
formtesting of microstructures;
production of large area microstructures;
11.
Quantitative optical measurement of microcantilever vibration; Applications to near-field microsensors
机译:
微悬臂振动的定量光学测量;在近场微传感器中的应用
作者:
Pascal Vairac
;
Rodrigue Rousier
;
Raphael Patois
;
Bernard Cretin
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection Jun 20-21, 2001, Munich, Germany》
|
2001年
关键词:
optical detection;
heterodyne laser probe;
microcantilever;
vibration analysis;
MEMS;
12.
Waveguide microinterferometry system for microelements investigation
机译:
用于微元素研究的波导微干涉测量系统
作者:
Leszek Salbut
;
Michal Jozwik
;
Christophe Gorecki
;
Seung Seoup Lee
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection Jun 20-21, 2001, Munich, Germany》
|
2001年
关键词:
optical methods of testing;
interferometry;
grating interferometer;
MEMS;
MOEMS;
13.
The application of Digital Holography for the inspection of microcomponents
机译:
数字全息技术在微零件检测中的应用
作者:
Wolfgang Osten
;
Soenke Seebacher
;
Werner Jueptner
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection Jun 20-21, 2001, Munich, Germany》
|
2001年
关键词:
digital holography;
direct phase measurement;
multi-wavelengths contouring;
microcomponent testing;
materials parameters;
14.
An automated interferometric system for bulge and blister test measurements of micromachined membranes
机译:
自动干涉仪系统,用于微加工膜的凸起和起泡测试测量
作者:
Reda Yahiaoui
;
Kamran Danaie
;
Sylvain Petitgrand
;
Alain Bosseboeuf
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection Jun 20-21, 2001, Munich, Germany》
|
2001年
关键词:
membranes;
interferometry;
bulge test;
blister test;
thin films mechanical properties;
15.
Micro fabricated ZnSe Diffractive Optical Elements for CO_2 laser
机译:
用于CO_2激光的微制造ZnSe衍射光学元件
作者:
Keiji Ebata
;
Keiji Fuse
;
Kenichi Kurisu
;
Takeshi Okada
;
Takayuki Hirai
;
Hirokuni Nanba
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection Jun 20-21, 2001, Munich, Germany》
|
2001年
关键词:
ZnSe;
DOE;
spot array generation;
CO_2 laser;
photolithography;
reactive ion etching;
hydrocarbon;
chlorine;
16.
MECHANICAL PROPERTIES OF POLARIMETRIC SMART STRUCTURES
机译:
极化智能结构的力学性能
作者:
Witold Konopka
;
Tomasz R. Wolinski
;
Grzegorz Dymny
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection Jun 20-21, 2001, Munich, Germany》
|
2001年
关键词:
smart structures;
polarimetric sensors;
highly birefringent fibers;
grating interferometry;
17.
3D Full field dynamical characterization of micromechanical devices by stroboscopic white light scanning interferometry
机译:
频闪式白光扫描干涉仪对微机械装置的3D全场动态表征
作者:
Alain Bosseboeuf
;
Philippe Nerin
;
Pascal Vabre
;
Sylvain Petitgrand
;
Reda Yahiaoui
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection Jun 20-21, 2001, Munich, Germany》
|
2001年
关键词:
low coherence interferometry;
stroboscopy;
vibration modes;
MEMS;
mechanical properties;
18.
Quantitative time-averaged microscopic interferometry for micromechanical device vibration mode characterization
机译:
定量时间平均显微干涉仪用于微机械装置振动模式表征
作者:
Sylvain Petitgrand
;
Reda Yahiaoui
;
Alain Bosseboeuf
;
Kamran Danaie
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection Jun 20-21, 2001, Munich, Germany》
|
2001年
关键词:
MEMS;
interferometry;
vibration modes;
mechanical properties;
microscopy;
19.
Paraboloidal Ellipsometer with Accurate Retardance and Latitude
机译:
具有精确延迟和纬度的抛物面椭圆仪
作者:
Jiun-Yan Wu
;
Shuen-Chen Shiue
;
Chih-Kung Lee
;
Solomon J.H. Lee
会议名称:
《Conference on Microsystems Engineering: Metrology and Inspection Jun 20-21, 2001, Munich, Germany》
|
2001年
关键词:
ellipsometry;
ellipsometer;
variable angle;
phase modulation;
in-situ measurement;
nematic liquid crystal;
thin-film measurement;
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