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1.
Reactive Ion Etching of Al-lCu alloy thin films
机译:
Al-1%Cu合金薄膜的反应离子刻蚀
作者:
Gou Jun
;
Wu Zhi-ming
;
Tai Hui-ling
;
Yuan Kai
会议名称:
《MEMS/NEMS technology and applications》
|
2009年
关键词:
RIE;
AlCu;
sidewall protection;
residue;
2.
STUDY ON ELECTROFORMING Ni-Fe ALLOY MICROSTRUCTURE
机译:
Ni-Fe合金电铸组织的研究
作者:
ZHENG Xiaohu
;
LIU Yuanwei
;
GU Feng
会议名称:
《MEMS/NEMS technology and applications》
|
2009年
关键词:
Ni-Fe deposit;
composition;
electromagnetism property;
MEMS;
3.
Design and Characterization of a Gas Actuated Pump for μTAS
机译:
μTAS气体驱动泵的设计与表征
作者:
Xiuhan Lil
;
Xiaomei Yu
会议名称:
《MEMS/NEMS technology and applications》
|
2009年
关键词:
micro-jet pump;
FLUENT;
nozzle;
diffuser;
throat pipe;
4.
A simulation of dielectrophoresis force actuated liquid lens
机译:
介电泳力致动液体透镜的模拟
作者:
Xiaoyin Yao
;
Jun Xia
会议名称:
《MEMS/NEMS technology and applications》
|
2009年
关键词:
dielectrophoresis (DEP);
liquid lens;
electrowetting on dielectric (EWOD);
5.
Detection system of capillary array electrophoresis microchip based on optical fiber
机译:
基于光纤的毛细管阵列电泳微芯片检测系统
作者:
Yang Xiaobo
;
Bai Haiming
;
Yan Weiping
会议名称:
《MEMS/NEMS technology and applications》
|
2009年
关键词:
optical fiber;
multi-channel capillary electrophoresis microchip;
avalanche diode;
embedded operating system;
6.
The real-time infrared image denoising method of double buffering for Microcantilever-based infrared imaging system
机译:
基于微悬臂梁的红外成像系统双缓冲实时红外图像去噪方法
作者:
Gong Cheng
;
Hui Mei
;
Dong liquan
;
Zhao Yuejin
会议名称:
《MEMS/NEMS technology and applications》
|
2009年
关键词:
double buffer;
real-time;
denoising;
microcantilever;
infrared image;
7.
Tunable RF MEMS Capacitor for Wireless Communication
机译:
用于无线通信的可调谐RF MEMS电容器
作者:
Xiuhan Li
;
Yu Xia
;
Jian Liu
;
Li Yin
;
Yu Liu
;
Dongming Fang
;
Haixia Zhang
会议名称:
《MEMS/NEMS technology and applications》
|
2009年
关键词:
RF MEMS;
tunable capacitor;
electrostatic actuation;
8.
Analysis of cylindrical subwavelength diffractive optical elements by an approximate vectorial diffraction method
机译:
近似矢量衍射法分析圆柱亚波长衍射光学元件
作者:
Jia-Sheng Ye
;
Yan Zhang
会议名称:
《MEMS/NEMS technology and applications》
|
2009年
关键词:
improved first rayleigh-sommerfeld method;
scalar diffraction methods;
vectorial boundary element method;
subwavelength diffractive optical elements;
cylindrical microlenses;
metallic cylindrical focusing micromirrors;
optical designs;
simulated annealing method;
9.
An analysis on the urban spatial expansion of Hangzhou based on remote sensing
机译:
基于遥感的杭州城市空间扩展分析。
作者:
Qianhu Chen
;
Jun Zhou
;
Chudong Huang
;
Kaike Li
会议名称:
《MEMS/NEMS technology and applications》
|
2009年
关键词:
urban spatial expansion;
remote sensing;
Hangzhou;
intensivism;
10.
Kernel Regression Image Processing Method for Optical Readout MEMS based Uncooled IRFPA
机译:
基于非制冷IRFPA的光读出MEMS核回归图像处理方法
作者:
Liquan Dong
;
Xiaohua Liu
;
Yuejin Zhao
;
Mei Hui
;
Xiaoxiao Zhou
会议名称:
《MEMS/NEMS technology and applications》
|
2009年
关键词:
MEMS;
infrared focal plane array;
optical readout;
kernel regression;
11.
Influence of PECVD Process on the etching Rate of SiN_x Films
机译:
PECVD工艺对SiN_x薄膜蚀刻速率的影响
作者:
Gou Jun
;
Wu Zhi-ming
;
Tai Hui-ling
;
Yuan Kai
会议名称:
《MEMS/NEMS technology and applications》
|
2009年
关键词:
SiNx;
PECVD;
Process Parameters;
RIE;
ER;
12.
A novel evaluating method for the MEMS-based uncooled IR system
机译:
基于MEMS的非制冷红外系统的一种新型评估方法
作者:
Bingqing Fan
;
Yuejin Zhao
;
Liquan Dong
会议名称:
《MEMS/NEMS technology and applications》
|
2009年
关键词:
FPA;
temperature sensitivity;
gray level difference;
NETD;
13.
Optimal algorithm to improve the calculation accuracy of energy deposition for betavoltaic MEMS batteries design
机译:
Betavolta MEMS电池设计中提高能量沉积计算精度的最佳算法
作者:
Li Sui-xian
;
Chen Haiyang
;
Sun Min
;
Cheng Zaijun
会议名称:
《MEMS/NEMS technology and applications》
|
2009年
关键词:
β energy spectrum;
low energy electrons;
solid material;
calculation error;
energy deposition;
optimal subdivision number searching algorithm;
betavoltaic MEMS battery;
14.
Simulation and Optimal Design for Deformable Mirror Supporting Structure
机译:
变形镜支撑结构的仿真与优化设计
作者:
Fu Zhao
;
Ping Wang
;
Yanjue Gong
;
Jianlong Lin
;
Huiyu Xiang
会议名称:
《MEMS/NEMS technology and applications》
|
2009年
关键词:
deformable mirror;
supporting structure;
BP neural network;
optimization design;
finite element analysis;
15.
Mechanical design and system-lever analysis of a novel micromirror array
机译:
新型微镜阵列的机械设计和系统杠杆分析
作者:
Quan Sun
;
Ming Cai
;
Ningyuan Wang
;
Edmond Cretu
会议名称:
《MEMS/NEMS technology and applications》
|
2009年
关键词:
microelectromechanical systems (MEMS);
Micro-mirror array;
adaptive optics;
16.
Out-of-plane vibration measuring technique based on dynamic AFM
机译:
基于动态原子力显微镜的面外振动测量技术
作者:
Lin-yan XU
;
Long Ma
;
Xing FU
;
Xiao-tang HU
会议名称:
《MEMS/NEMS technology and applications》
|
2009年
关键词:
out-of-plane vibration;
dynamic AFM;
nanobeam resonator;
nanoelectromechanical system;
17.
Study of SiNx Thin Film Character with Gas Flow Rate in PECVD
机译:
PECVD中气体流速下SiNx薄膜特性的研究
作者:
Kang Zhe
;
Li Weizhi
;
Jiang Yadong
会议名称:
《MEMS/NEMS technology and applications》
|
2009年
关键词:
PECVD;
elements distribution;
refractive index;
intrinsic stress;
18.
Design and Simulation of Tunable Micromirror for Two-Color Microbolometer
机译:
两色测微辐射计的可调微镜设计与仿真
作者:
Gong Yuguang
;
Li Wei
;
Cai Haihong
;
Li Zhi
;
Chen Chao
;
Jiang Yadong
会议名称:
《MEMS/NEMS technology and applications》
|
2009年
关键词:
micromirror;
microelectromechanical system (MEMS);
two-color;
microbolometer;
simulation;
19.
Effect of different support structure on the characteristic of the grating light modulators
机译:
不同支撑结构对光栅光调制器特性的影响
作者:
Wei Wei
;
Chen Weiming
;
Zhu Yong
;
Wang Ning
;
Qin Yi
;
Zhang Jie
会议名称:
《MEMS/NEMS technology and applications》
|
2009年
关键词:
grating light modulator;
MEMS;
energy method;
static electrical and mechanical model;
20.
1-dimension Nano-material-based Flexible Device
机译:
基于一维纳米材料的柔性设备
作者:
Xing Yang
;
Zhaoying Zhou
;
Fuzhong Zheng
会议名称:
《MEMS/NEMS technology and applications》
|
2009年
关键词:
carbon nanotube;
nanowire;
flexible substrate;
dielectrophoresis;
21.
Analysis and Modeling of Thermal Failure Based on a MEMS Thermally Driven Structure
机译:
基于MEMS热驱动结构的热失效分析与建模
作者:
Xiuhan Li
;
Quan Yuan
;
Leijie Lang
;
Jian Liu
;
Yu Liu
;
Dongming Fang
;
Haixia Zhang
会议名称:
《MEMS/NEMS technology and applications》
|
2009年
关键词:
MEMS;
thermal driven structure;
thermal failure;
metal MUMP;
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