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Microsystems Metrology and Inspection
Microsystems Metrology and Inspection
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1.
Wafer level inspection for determination of yield of surface-micromachined pressure sensors
机译:
晶圆级检查以确定表面微机械压力传感器的合格率
作者:
Martin Hill
;
National Microelectronics Research Ctr.
;
Cork
;
Ireland
;
Helen Berney
;
National Microelectronics Research Ctr.
;
Cork
;
Ireland
;
Bill Lane
;
National Microelectronics Research Ctr.
;
Limerick
;
Ireland
;
Eamon Hynes
;
Analog Devices
;
Limerick
;
Irelan
会议名称:
《Microsystems Metrology and Inspection》
|
1999年
2.
Versatile microscopic profilometer-vibrometer for static and dynamic characterization of micromechanical devices
机译:
用于微机械设备静态和动态表征的多功能显微轮廓仪-振动仪
作者:
Alain Bosseboeuf
;
Univ. de Paris-Sud
;
Orsay Cedex
;
France
;
Jean P. Gilles
;
Univ. de Paris-Sud
;
Orsay
;
France
;
Kamran Danaie
;
Univ. de Paris-Sud
;
Orsay
;
France
;
Reda Yahiaoui
;
Univ. de Paris-Sud
;
Orsay
;
France
;
Michel Dupeux
;
LTPCM
;
Saint Martin dHeres
;
F
会议名称:
《Microsystems Metrology and Inspection》
|
1999年
3.
Novel optical sensors fabricated by Si micromachining
机译:
通过硅微加工制造的新型光学传感器
作者:
Minoru Sasaki
;
Tohoku Univ.
;
Sendai Miyagi
;
Japan.
会议名称:
《Microsystems Metrology and Inspection》
|
1999年
4.
Bondability of processed glass wafers
机译:
加工玻璃晶圆的粘合性
作者:
Gregory Pandraud
;
Univ. of Twente
;
Enschede AE
;
Netherlands
;
C.Gui
;
Univ. of Twente
;
Enschede
;
Netherlands
;
Florent Pigeon
;
Univ. Jean Monnet
;
St Etienne
;
France
;
Paul V. Lambeck
;
Univ of Twente
;
Enschede
;
Netherlands
;
Olivier M. Parriaux
;
Univ. Jean Monn
会议名称:
《Microsystems Metrology and Inspection》
|
1999年
5.
Fiber optic probe for in-situ inspection of surface cracks in steam generator tubes
机译:
用于现场检查蒸汽发生器管道表面裂纹的光纤探头
作者:
Carlos Lopez
;
Univ. de Vigo
;
Vigo
;
Spain
;
Angel F. Doval
;
Univ. de Vigo
;
Vigo
;
Spain
;
Benito V. Dorrio
;
Univ. de Vigo
;
Vigo
;
Spain
;
J.Bugarin
;
Univ. de Vigo
;
Vigo
;
Spain
;
Jose M. Alen
;
Univ. de Vigo
;
Vigo
;
Spain
;
J.L. Fernandez
;
Univ. de Vigo
;
Vigo
;
Spain
会议名称:
《Microsystems Metrology and Inspection》
|
1999年
6.
Controlling diode laser bar temperature by micro channel liquid cooling
机译:
通过微通道液体冷却控制二极管激光棒温度
作者:
Katrin Unger
;
Chemnitz Univ. of Technology
;
Chemnitz
;
Germany
;
Dietmar Mueller
;
Chemnitz Univ. of Technology
;
Chemnitz
;
Germany
;
Dirk Lorenzen
;
Jenoptik Laserdiode GmbH
;
Jena
;
Germany
;
Franz X. Daiminger
;
Jenoptik Laserdiode GmbH
;
Jena
;
Germany.
会议名称:
《Microsystems Metrology and Inspection》
|
1999年
7.
Generation of thin film micro-optics by crossed deposition through wire-grid masks
机译:
通过线栅掩模的交叉沉积生成薄膜微光学
作者:
Uwe Griebner
;
Max-Born-Institute for Nonlinear Optics
;
Short-Pul se Spectroscopy
;
Berlin
;
Germany
;
Ruediger Grunwald
;
Max-Born-Institute for Nonlinear Optics
;
Short-Pul se Spectroscopy
;
Berlin
;
Germany.
会议名称:
《Microsystems Metrology and Inspection》
|
1999年
8.
Investigation of heat transfer in micromirrors
机译:
微镜传热研究
作者:
Kersten Kehr
;
Chemnitz Univ. of Technology
;
Chemnitz
;
Germany
;
Steffen Kurth
;
Chemnitz Univ. of Technology
;
Chemnitz
;
Germany
;
Jan Mehner
;
Chemnitz Univ. of Technology
;
Chemnitz
;
Germany
;
Wolfram Doetzel
;
Chemnitz Univ. of Technology
;
Chemnitz
;
Germany
;
T
会议名称:
《Microsystems Metrology and Inspection》
|
1999年
9.
Role of interfacial properties on MEMS performance and reliability
机译:
界面性质对MEMS性能和可靠性的作用
作者:
Maarten P. de Boer
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA
;
J.A. Knapp
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA
;
T.M. Mayer
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA
;
Terry A. Michalske
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA.
会议名称:
《Microsystems Metrology and Inspection》
|
1999年
10.
Shape memory alloys for micromembrane actuation
机译:
用于微膜驱动的形状记忆合金
作者:
Patrick Surbled
;
Univ. of Tokyo
;
Tokyo
;
Japan
;
Bruno Le Pioufle
;
Univ. of Tokyo
;
Tokyo
;
Japan
;
E.H. Yang
;
Univ. of Tokyo
;
Tokyo
;
Japan
;
Hiroyuki Fujita
;
Univ. of Tokyo
;
Minato-ku Tokyo
;
Japan.
会议名称:
《Microsystems Metrology and Inspection》
|
1999年
11.
Testing microcomponents by speckle interferometry
机译:
通过斑点干涉法测试微组件
作者:
Petra Aswendt
;
Fraunhofer-Institut fuer Werkzeugmaschinen und Umform technik
;
Chemnitz
;
Germany
;
Roland Hoefling
;
Fraunhofer-Institut fuer Werkzeugmaschinen und Umform technik
;
Chemnitz
;
Germany
;
Karla Hiller
;
Chemnitz Univ. of Technology
;
Chemnitz
;
Germa
会议名称:
《Microsystems Metrology and Inspection》
|
1999年
12.
Vibration measurement of microstructures by means of laser-optical modal analysis
机译:
激光模态分析法测量微结构的振动
作者:
Rene Schnitzer
;
Chemnitzer Werkstoffmechanik GmbH
;
Chemnitz
;
Germany
;
Norbert Ruemmler
;
Chemnitzer Werkstoffmechanik GmbH
;
Chemnitz
;
Germany
;
Volker Grosser
;
Fraunhofer-Institut fuer Zuverlaessigkeit und Mikroin tegration
;
Berlin
;
Germany
;
Bernd Michel
;
F
会议名称:
《Microsystems Metrology and Inspection》
|
1999年
13.
NanoWalker: a fully autonomous highly integrated miniature robot for nanoscale measurements
机译:
NanoWalker:全自动的高度集成的微型机器人,用于纳米级测量
作者:
Sylvain M. Martel
;
Massachusetts Institute of Technology
;
Lincoln
;
MA
;
USA
;
Peter Madden
;
Massachusetts Institute of Technology
;
Cambridge
;
MA
;
USA
;
Luke Sosnowski
;
Massachusetts Institute of Technology
;
Cambridge
;
MA
;
USA
;
Ian W. Hunter
;
Massachusetts In
会议名称:
《Microsystems Metrology and Inspection》
|
1999年
14.
Qualification of optical measurement techniques for the investigation of material parameters of microcomponents
机译:
光学测量技术的资格,用于研究微组件的材料参数
作者:
Wolfgang Osten
;
Bremer Institut fuer Angewandte Strahltechnik
;
Lilienthal
;
Germany
;
Werner P. Jueptner
;
Bremer Institut fuer Angewandte Strahltechnik
;
Bremen
;
Germany
;
Soenke Seebacher
;
Bremer Institut fuer Angewandte Strahltechnik
;
Bremen
;
Germany
;
Torst
会议名称:
《Microsystems Metrology and Inspection》
|
1999年
15.
Real-time optical metrology for microsystem fabrication
机译:
用于微系统制造的实时光学计量
作者:
Peter Seitz
;
Ctr. Suisse dElectronique et de Microtechnique SA
;
Zuerich
;
Switzerland.
会议名称:
《Microsystems Metrology and Inspection》
|
1999年
16.
Preparation of oxinitride optical waveguides with piezoelectric modulation fabricated by silicon micromachining
机译:
硅微机械加工制备具有压电调制性能的氧氮化物光波导
作者:
Christophe Gorecki
;
Univ. de Franche-Comte
;
Montboillon
;
France.
会议名称:
《Microsystems Metrology and Inspection》
|
1999年
17.
Digital speckle-metrology local investigations of sedimentation and surface effects in liquids
机译:
数字斑点计量学局部研究液体中的沉积和表面效应
作者:
Ilia Roussev
;
Institute of Mechanics
;
Biomechanics
;
Sofia
;
Bulgaria
;
Todor Partalin
;
Sofia Univ.
;
Sofia
;
Bulgaria
;
Evtim Toshev
;
Institute of Mechanics
;
Biomechanics
;
Sofia
;
Bulgaria
;
Assen Choulev
;
Institute of Mechanics
;
Biomechanics
;
Sofia
;
Bulgaria
;
Pave
会议名称:
《Microsystems Metrology and Inspection》
|
1999年
18.
Inspection of microsystems with a laser scanning microscope
机译:
用激光扫描显微镜检查微系统
作者:
Gerd Dussler
;
Aachen Univ. of Technology
;
Aachen
;
Germany
;
B.Broecher
;
Aachen Univ. of Technology
;
Aachen
;
Germany
;
Tilo Pfeifer
;
Aachen Univ. of Technology
;
Aachen
;
Germany.
会议名称:
《Microsystems Metrology and Inspection》
|
1999年
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