摘要:为了考察高温下Pd膜与Ti-Al合金支撑体之间的相互扩散现象,分别对Pd/Ti-Al合金复合膜进行500°C/H2/40 h、600°C/H2/40 h和700°C/H2/40 h高温处理,然后采用背散射和线扫描进行表征测试.结果发现:当Pd/Ti-Al合金复合膜经过500°C/H2/40 h处理后,Pd膜与Ti-Al合金之间没有明显的相互扩散发生.但是当Pd/Ti-Al合金复合膜经过较高温度(≥600°C)处理后,Pd膜与Ti-Al合金之间发生了相互扩散,并且随着温度的升高,膜层之间的相互扩散越明显.说明在较低温度下Pd/Ti-Al合金复合膜相互扩散较慢,但是当温度过高时,Pd/Ti-Al合金复合膜相互扩散明显,需要制备中间过渡膜层来阻止Pd膜与Ti-Al合金之间的相互扩散.