摘要：分析研究和测试数据表明,密封元器件符合标准但偏大的漏率常是造成贮存后内部水汽含量超标的重要原因,加压法氦质谱检漏的灵敏度较低,检漏仪本底和氦气吸附均是影响检漏灵敏度的因素.提出了由于水汽凝露可阻塞漏孔的漏率的概念,并初步给出了相应的等效标准漏率L和测量漏率R<,1>的数值.作者主张采取减少和消除氦气吸附漏率的措施,在工艺控制中采用了充入法、在检验中采用加压法进行氦质谱细检漏.建议进行有关密封元器件内部水汽含量合理要求的研究,进行如何从结构与工艺上保证密封性和水汽含量要求的研究,并建议制订元器件密封性检测的通用标准.
