摘要：由于第二代高温超导带材YBa2Cu3O7-x(简称YBCO)具有较高的不可逆磁场，可以在较高的温度和外加磁场下应用，是近年来高温超导材料研究的热点之一。目前有数种方法，包括运用物理的和化学的方法都可以用来制备YBC0薄膜。与这些方法相比，三氟酸盐-金属有机沉积法(TFA-MOD)制备YBC0薄膜有众多优点。第一，溶液涂层技术能够满足工业上对涂层的宽度和长度要求。第二，与磁控溅射、金属有机化学气相沉积和脉冲激光沉积(PLD)需要使用真空系统和昂贵的设备相比，金属有机沉积成本低，沉积速率高。第三，成份容易控制，可以精确控制金属组员的配比，并可以在复杂形状表面均匀成膜。本文采用TFA-MOD法在LaAlO3单晶基体成功地制备了YBCO超导薄膜，并采用X射线衍射仪(XRD)对YBCO薄膜进行结构和物相分析，采用扫描电镜(SEM)对YBCO薄膜进行表面形貌分析，采用四引线法测试系统和jc-scan Leipzig系统分别测试薄膜的超导转变温度(Tc)和样品的临界电流密度(Jc)值。在N2为200sccm、O2为8scccm、低温热处理温度为400℃、高温烧结温度为820℃、退火温度为520℃、水压为6mbar的条件下，所制备的YBCO薄膜完全呈c-轴取向，无a-轴取向的晶粒和杂质相存在，YBCO薄膜的表面无裂纹存在，表面平整，没有a轴晶粒生长，超导转变温度TC≈90K，转变宽度△Tc=1K，临界电流密度(Jc)可达1.2MA/cm2(77K,0T)。
