您现在的位置:首页> 外国专利> 物理> 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕
【机译】 照明系统装置
【机译】 聚焦照明成像装置
【机译】 带有聚焦系统的显微镜
【机译】 特别是用于EUV微光刻的投影曝光系统中的光学部件,以及制造这种光学部件的方法
【机译】 用于引导液态或气态介质的设备,用于制造相应设备的方法,视场模块和投影曝光系统
【机译】 光学元件的冷却
【机译】 厌氧镜片系统和形成不同焦距的厌氧镜片单元的方法
【机译】 工艺,光学元件,光学系统和光刻系统
【机译】 空中观察者,交易装置以及用于空中观察者的空中编队控制方法
【机译】 成像光学
【机译】 孔径,光学系统和光刻系统
【机译】 用于将照明光引导到EUV光刻的投影曝光系统的物场中的测量照明光学器件
【机译】 表征微光刻掩模的方法和装置
【机译】 确定泄漏的方法
【机译】 用于半导体光刻的运动补偿方法和投影曝光设备
【机译】 碳粉
【机译】 碳粉
【机译】 评估阻尼测量信号的程序
【机译】 碳粉
【机译】 相机的清洁度检测和车辆警报