外径70mmのコンフラットフランジにマウントしたミニチュア電子・イオン・軟X線検出器の製作

摘要

We introduce a miniature electron/ion/soft-X-ray detector mounted on a conflat flange with an outer diameter of 70 mm. It consists of an extraction/retarding electrode, microchannel plates, and a conflat flange with an outer diameter of 70 mm. This detector can be used for measurements of electrons, ions, or soft-X-rays generated in the gas phase and those emitted from surfaces.%真空装置の高度化に伴い，複数の小型真空機器を超高真空 槽に取り付けて使用する例が増えている．特に外径70mm のコンフラットフランジ（以下ICF70と略記する）を備え た内径38mmのポートは汎用超高真空槽に予備として用意 されていることが多いため，ICF70マウント型真空機器の需 要は高い．そこで我々は，これまでにICF70マウント型電 子銃内蔵リトラクタブルオージェ電子分光器，ICF70マウ ント型円筒鏡型イオンエネルギー分析器，ICF70マウント 型加熱冷却機構付きシリコン単結晶ホルダーなどの開発を 行なってきた．