資格試験と例題による解説（7）: 資格認定委員会試験委員会　（監修）委員長　中山勝矢

摘要

第4回から第6回まで，主に真空容器における気体の発rn生と，それを除去するシステムについて，例題により解説をrnしてきた．今回は「真空計測」を取り上げることにしたい．rn真空計測については用語，真空計の種類，動作原理と問題rn点，気体の種類依存性，使用可能な圧力範囲と可測限界，使rn用上の留意点，指示値と気体圧力との関係，校正方法，デーrnタの解釈，残留気体の測定などが出題の対象になる．