反応性プラズマ中の斜め堆積による微絨毛構造状窒化物薄膜の形成

摘要

3種類の反応性プラズマプロセス（RIP,RSP,REV）にrn斜め堆積法を適用し，小腸の徴絨毛状構造を模倣したINCrn構造化InN帳を堆積した．徴絨毛状構造化により，InN膜rnのEC現象に伴う色変化量を，平滑な緻密膜と比較して大幅rnに増大させることに成功した．