単ーの表面吸着サイトを持つ真空容器内のガスダイナミクス : キロ秒オーダーの指数関数的排気曲線の正体

摘要

(1)式のHenry型吸脱着モデルに基づく排気過程では「吸 着平衡状態≠圧力定常状態」であり，σ-Γ平面上の点（σ (t),Γ(t))は安定点(収束点)である原点(0,0)に向かつて移動している.しばしば真空排気について「各時刻の圧力 Γ(t)における平衡吸着量σ_(eq)(Γ(t))に向かつて排気が進行している」という説明がなされているが，相図を用いた考察によって，排気過程のこのような描像は実は誤りであることが明らかになった.