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水晶振動子型水素漏洩検知器における温度の影響とその補正方法

机译:温度对石英晶体氢检漏仪的影响及其校正方法

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摘要

水晶振動子式水素漏洩検知器について,使用可能温度範囲で測定器であるQゲージ指示値の温度依存について調べ,水素濃度換算で最大7 vol.%程度の影響があることがわかつた.また水晶振動子の共振周波数は温度と強い相関を持つこ とからこれを温度測定の代替とした温度補正が可能なことが示された.
机译:关于晶体振荡器型氢泄漏检测器,我们在可用温度范围内研究了作为测量仪器的Q标尺读数的温度依赖性,发现最大氢浓度换算约为7 vol。%。由于振荡器的谐振频率与温度具有很强的相关性,因此表明可以使用它作为温度测量的替代方法来执行温度补偿。

著录项

  • 来源
    《真空》 |2013年第8期|330-332|共3页
  • 作者单位

    産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門(〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1中央第2);

    バキュームプロダクツ株式会社(〒187-0012 東京都小平市御幸町16-2);

    ブイピィアイ株式会社(〒401-0302 山梨県南都留郡富士河口湖町小立67);

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