真空技術者資格認定試験の問題解説(5)

摘要

真空排気に関する問題では，真空ポンプの種類と特徴，真空排気過程，真空排気系の操作方法などが出題されています.したがって，真空ポンプには気体輸送式と気体ため込み式があり，前者は容積移送式と運動量移送式に分類され，それぞれどのようなポンプがあるかを整理しておく必要があります.さらに，代表的なポンプとして，容積移送式ポンプでは油回転ポンプとルーツポンプ，運動量移送式ポンプではターボ分子ポンプと拡散ポンプ，気体ため込み式ポンプではクライオポンプとスパッタイオンポンプ，ゲッタポンプについては，ポンプの構造と排気のメカニズムや運転方法，適用圧力範囲などを把握しておいてください.