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水晶振動子圧力センサ出力の安定性改善のためのプリアンプへの温度の影響低減

机译:降低对前置放大器的温度影响,以提高晶体压力传感器输出的稳定性

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摘要

温度安定型水晶振動子を用いた圧力センサのプリアンプ部への温度対策を行い,水晶振動子圧力センサ出力への温度の影響を低減することを試みた.温度対策によるプリアンプ部 への温度変化の低減により,一定の安定性の向上は見られたが,水素センサとしての実用化を図る上で必要となる安定性を得るには至らず,特に低い温度における温度の影響を排除する必要があることがわかった.本研究は科学研究費補助金基盤研究C, 24560070号により行われた.%The stability of the output of a pressure sensor using a temperature-stable quartz oscillator for outdoor use was improved. This was accomplished by reducing the temperature change in the preamp of the pressure sensor using a thermal insulation bag for the preamp. The thermal insulation bag reduced the change in temperature at the preamp by approximately several degrees centigrade. Thus, fluctuations in the output from the pressure sensor were suppressed, with increasing average atmospheric temperature. The method used in this study was less effective at lower atmospheric temperatures, probably because of the preamp temperature dependence of the pressure sensor output. It can be concluded that the method used in this study is not sufficiently effective at all atmospheric temperatures to reduce fluctuations in the output from the pressure sensor below 0.33%, which is the necessary level for practical use of a hydrogen sensor in outdoor environments.
机译:我们试图通过使用温度稳定的晶体振荡器对压力传感器的前置放大器部分采取针对温度的措施来降低温度对晶体振荡器压力传感器输出的影响。尽管通过降低将稳定性提高了一定程度,但仍未达到作为氢传感器的实际应用所需的稳定性,并且有必要消除温度的影响,尤其是在低温下。这项研究是由Grant-in-Aid进行的科学研究计划C,温度为24560070.%。改进了室外使用温度稳定的石英振荡器的压力传感器输出的稳定性。通过使用隔热袋来减少压力传感器的前置放大器的温度变化,隔热袋将前置放大器的温度变化降低了约几摄氏度,因此压力传感器的输出波动是本研究中使用的方法在较低的大气温度下效果较差,这可能是由于压力传感器输出的前置放大器温度依赖性所致。可以得出结论,本研究中使用的方法不够有效。在所有大气温度下可以将压力传感器的输出波动降低到0.33%以下,这是在室外环境中实际使用氢传感器的必要水平。

著录项

  • 来源
    《真空》 |2017年第4期|131-134|共4页
  • 作者

    鈴木 淳;

  • 作者单位

    平成28年11月29日第57回真空に関する連合講演会で発表産業技術総合研究所分析計測標準研究部門(〒305-8568茨城 県つくば市梅園1-1-1中央第2);

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