...
机译:用原子层沉积从四氯化钛和水中产生和热退火二氧化钛的机械和光学性质
VTT Tech Res Ctr Finland POB 1000 FI-02044 Espoo Finland;
VTT Tech Res Ctr Finland POB 1000 FI-02044 Espoo Finland;
Aalto Univ Sch Chem Engn Dept Chem & Met Engn POB 16100 FI-00076 Aalto Finland;
Fraunhofer IWS Dresden Winterbergstr 28 D-01277 Dresden Germany;
Univ Jyvaskyla Dept Phys POB 35 FI-40014 Jyvaskyla Finland;
Univ Jyvaskyla Dept Phys POB 35 FI-40014 Jyvaskyla Finland;
Aalto Univ Dept Elect & Nanoengn Sch Elect Engn POB 13500 FI-00076 Aalto Finland;
Aalto Univ Dept Elect & Nanoengn Sch Elect Engn POB 13500 FI-00076 Aalto Finland;
Aalto Univ Dept Elect & Nanoengn Sch Elect Engn POB 13500 FI-00076 Aalto Finland;
Univ Jyvaskyla Dept Phys POB 35 FI-40014 Jyvaskyla Finland;
Aalto Univ Sch Chem Engn Dept Chem & Met Engn POB 16100 FI-00076 Aalto Finland;
VTT Tech Res Ctr Finland POB 1000 FI-02044 Espoo Finland|Aalto Univ Sch Chem Engn Dept Chem & Met Engn POB 16100 FI-00076 Aalto Finland;
ALD; Atomic Layer Deposition; TiO2; residual stress; optical properties; elastic modulus; hardness;
机译:以四氯化钛和四异丙氧基钛为前体的二氧化钛原子层沉积
机译:使用四氯化钛和2-甲基-1,4-双(三甲基甲硅烷基)-2,5-环己二烯或1,4-双(三甲基甲硅烷基)-1,4-二氢吡嗪的钛膜热原子层沉积
机译:四乙氧基钛和水在二氧化钛薄膜上的原子层沉积
机译:热退火对直流磁控溅射锑掺杂二氧化锡(ATO)/二氧化钛涂层的结构和光学性能的影响
机译:使用四-二甲基酰胺基钛和水前体在硅和砷化镓衬底上沉积二氧化钛的原子层。
机译:快速热退火对原子层沉积生长Zr掺杂ZnO薄膜的结构电学和光学性质的影响
机译:用原子层沉积从四氯化钛和水的衍生和热退火二氧化钛的机械和光学性质