机译:基板表面粗糙度对r.f.沉积的ZnO薄膜c轴取向的影响磁控溅射
School of Materials Science and Engineering, Seoul National University, Seoul 151-742, South Korea;
sputtering; structural properties; surface roughness; zinc oxide;
机译:溅射功率对r.f.沉积的ZnO:Ga薄膜性能的影响低温磁控溅射
机译:射频沉积在聚酰亚胺衬底上的ZnO:Ga薄膜的制备与表征磁控溅射
机译:r.f.法表征沉积在有机基质上的ZnO:Al膜磁控溅射
机译:基板粗糙度对射频磁控溅射沉积ZnO薄膜c轴择优取向的影响
机译:使用不平衡磁控溅射制造适用于薄膜晶体管的掺镓ZNO薄膜。
机译:射频直流和射频叠加直流磁控溅射沉积的透明导电掺铝ZnO多晶薄膜的载流子输运和晶体学取向特征
机译:基质 - 靶距离和Si共掺杂对磁控溅射沉积的铝锌膜性能的影响
机译:衬底表面对溅射沉积和激光照射薄膜性能的影响。