...
机译:微电子互连结构的表面和界面处铜扩散的非线性光学研究
Univ Illinois, Dept Chem & Biomol Engn, Urbana, IL 61801 USA;
interfaces; surface diffusion; copper; INDUCED THERMAL-DESORPTION; 2ND HARMONIC-GENERATION; 2ND-HARMONIC MICROSCOPY; SILICON DIOXIDE; THIN-FILMS; HYDROGEN; NI(100); CONTAMINATION; TECHNOLOGY; NITRIDE;
机译:图案化铜互连结构中界面扩散引起的应力松弛的数值模拟和实验测量
机译:微电子学中与铜互连的微结构相关问题
机译:微电子学中与铜互连的微结构相关问题
机译:具有氧化物浮雕结构的850 nm Zn扩散垂直腔面发射激光器,用于从非常短到中等(2km)范围的高速和节能光互连
机译:微电子学中用于接触和互连的金属化的扩散研究:硅化铂和铜。
机译:纳米多孔铜韧带的温度诱导表面重建和界面结构演变
机译:ru钝化和ru掺杂ε-棕褐色表面作为铜互连的组合屏障和衬垫材料:第一个原理研究
机译:热扩散波干涉法对光学涂层,界面和表面的热传输研究。