机译:使用X射线技术对先进微电子工艺进行在线监测
CEA-LETI, LETI DTS SMEC, 850, rue Jean Monnet, 38926 Grenoble, Crolles Cedex 9, France;
microelectronic; X-Ray reflectivity; X-Ray fluorescence; copper interconnects; high κ; low κ;
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