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机译:在不同丁醇铝输入下通过化学气相沉积法制备的钛酸铝薄膜的性能
Natl Dong Hwa Univ, Dept Mat Sci & Engn, Shoufeng, Hualien, Taiwan;
chemical vapor deposition; electrical properties and measurements; dielectric properties; optical properties; THIN-FILMS; TIO2 FILMS; ATMOSPHERIC-PRESSURE; GROWTH; AL2O3; OXIDE; CVD;
机译:使用三仲丁醇铝和原硅酸四乙酯的金属有机化学气相沉积法制备非晶硅酸铝膜
机译:电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积法制备纳米晶氧氮化铝薄膜的光学和力学性能
机译:化学气相沉积前驱体化学.5。化学气相沉积对铝薄膜的光解激光沉积
机译:沉积温度和热退火对薄雾化学气相沉积法制备二氧化钛薄膜结构性能的影响
机译:通过铝的物理气相沉积和等离子体增强的三甲基硅烷化学气相沉积产生的薄膜的原位X射线光电子能谱分析。
机译:通过低温原子层沉积制备的用于封装有机电致发光器件的氧化铝薄膜的方法
机译:由乙酰丙酮铝化学气相沉积制备的氧化铝薄膜
机译:衬底对金属有机化学气相沉积制备的外延pbTiO(sub 3)薄膜的结构和光学性质的影响