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机译:高剂量,低剂量和内部热氧化法(通过注入氧晶片)中掩埋氧化物层中有序结构的比较
Osaka Univ, Dept Mat & Life Sci, Suita, Osaka 5650871, Japan;
SOI; SIMOX; ITOX; X-ray diffraction; buried oxide layer; synchrotron radiation; ordered SiO2; silicon oxide; implantation; RAY-DIFFRACTION EVIDENCE; SIO2 THIN-FILMS; SIMOX WAFERS; SILICON; SURFACE;
机译:植入氧晶片中绝缘体上硅层中电子陷阱状态的深入剖析以及绝缘体上硅/埋入氧化物界面附近的局部机械应力
机译:退火对低剂量植入式氧气晶片分离中结构缺陷的影响
机译:室温粘合硅在绝缘体晶片上,具有通过退火的沉积硅氧化层和表面活化粘合而形成的致密掩埋氧化物层
机译:一步高氧浓度退火对植入后非晶化低剂量SIMOX材料中掩埋氧化物层微观结构的影响
机译:砷化铝镓-砷化镓镓晶体生长,埋入式隧道接触激光器,晶片键合以及基于砷化镓铝氧化物的VCSEL。
机译:低剂量与高剂量γ-生育三烯酚对过氧化氢诱导的氧化应激和细胞凋亡暴露的骨细胞的影响
机译:SIMOX晶片中掩埋氧化物层的原子结构
机译:通过高剂量离子注入形成al(sub 2)O(sub 3)/ V(sub 2)O(sub 3)多层结构