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机译:感应耦合射频等离子体辅助磁控溅射合成外延氧化碳钼薄膜
Nanoelectronics Research Institute, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba, Ibaraki, 305-8568, Japan;
epitaxial; molybdenum oxycarbide; sputtering; superconducting; MgO;
机译:电感耦合射频等离子体辅助磁控溅射制备氧化铬薄膜
机译:电感耦合射频等离子体辅助磁控溅射合成碳氧化钨薄膜的结构和力学性能
机译:电感耦合等离子体辅助脉冲直流磁控溅射合成纯氮掺杂碳薄膜的杀菌处理研究
机译:电感耦合等离子体辅助磁控溅射制备Co-Cr膜
机译:磁控溅射合成氮化钽薄膜的表征。
机译:在不加热衬底的情况下通过射频磁控等离子体溅射沉积的铝掺杂氧化锌薄膜的空间分辨光电性能
机译:基板DC偏置电压对镍薄膜结构性能的依赖性,具有磁控溅射,具有电感耦合等离子体辅助的多极磁等离子体限制