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机译:非化学计量非晶氧化铟锡薄膜退火过程中氧扩散的研究
Fraunhofer Inst Surface Engn & Thin Films, D-38108 Braunschweig, Germany;
Tech Univ Carolo Wilhelmina Braunschweig, Inst Appl Phys, D-38106 Braunschweig, Germany;
indium tin oxide; heat treatment; secondary ion mass spectroscopy; oxidation; crystallization; X-ray diffraction; NO2 GAS SENSORS;
机译:氧分压对热退火制备非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管电性能的影响
机译:溅射非化学计量的铝和钛氧化物层钝化的非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管的比较研究
机译:高温退火工艺中掺锡氧化铟薄膜的最佳堆积密度和晶体结构
机译:O_2退火对固溶非晶态氧化铟锌薄膜晶体管传输特性的影响
机译:通过轧制溅射沉积工艺沉积在柔性玻璃基板上的氧化铟锌,氧化铟锡和钼薄膜的表征
机译:光谱椭圆形表征沉积和退火的非化学计量铟锌氧化锌薄膜
机译:光谱椭圆形表征沉积和退火的非化学计量铟锌氧化锌薄膜