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机译:氢对SiCl4 / H-2沉积多晶硅薄膜低温生长的影响
S China Univ Technol, Dept Phys, Ghangzhou 510641, Guangdong, Peoples R China;
crystallization; hydrogen; SiCl4; plasma processing and deposition; CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION; OPEN-CIRCUIT VOLTAGE; MICROCRYSTALLINE SILICON; SOLAR-CELLS; PLASMA; DILUTION; RAMAN; PHOTOLUMINESCENCE; MICROSTRUCTURE; TRANSITION;
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