机译:高密度微波等离子体对Si薄膜太阳能电池微晶硅膜生长的原位研究
Department of Functional Materials Science, Faculty of Engineering, Saitama University, 255 Shimo-Okubo, Sakura, Saitama 338-8570, Japan;
microcrystalline silicon; high-density microwave plasma; ellipsometry; FTIR-RAS; in situ monitoring;
机译:使用用于硅薄膜太阳能电池的高密度微波等离子体源从SiH2Cl2快速沉积微晶硅膜
机译:原位俄歇电子能谱研究用于微晶硅p-i-n太阳能电池的ZnO涂层玻璃基板上p型微晶硅膜的生长
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机译:利用Si薄膜太阳能电池的高密度微波等离子体源快速沉积高度结晶的微晶Si薄膜
机译:通过微波等离子体沉积技术的薄膜硅:非晶硅/晶体硅太阳能电池中的生长和器件以及界面效应。
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机译:原位拉曼光谱:研究和控制薄膜太阳能电池微晶硅生长的方法
机译:冶金硅衬底上的硅薄膜 - 阶段II。专题报告第3号。薄膜多晶硅太阳能电池的稳定性