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机译:受激准分子和Nd:Yag激光辐照的HWCVD和PECVD硅膜的光学和电子性质
Univ Dundee, Carnegie Lab Phys, Dundee DD1 4HN, Scotland;
hot-wire CVD; plasma-enhanced CVD; laser crystallisation; hydrogen dilution; AMORPHOUS-SILICON;
机译:激光退火HWCVD和PECVD薄膜。电子场发射
机译:一种新型光学诊断技术,用于分析准分子激光受正面和反面后辐照的多晶硅薄膜的重结晶特性
机译:成分和非原位激光辐照对PECVD合成As-S基薄膜结构和光学性能的影响
机译:准分子激光结晶HWCVD硅薄膜:电子场发射
机译:通过准分子激光辐照用于薄膜晶体管的晶体硅薄膜。
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:通过脉冲激光烧蚀制备的氧化硅薄膜中准分子激光照射增强光致发光
机译:时间分辨椭圆偏振测量和脉冲准分子激光照射过程中硅光学特性的反射率测量