机译:铜扩散阻挡电介质的特性和集成比较
Department of Materials Science and Engineering, National Chiao-Tung University, Hsin-Chu, Taiwan;
barrier layer; low dielectric constant; adhesion strength; capacitance;
机译:钛酸钙钛矿丙烯腈 - 丁二烯橡胶复合材料的固化特性,物理机械和介电性能评价:钛钛酸钙载量的影响
机译:集成气体簇工艺以实现铜互连的可靠性和对BEOL介电材料的工艺影响评估
机译:在0.12-μm节点互连中将铜与有机低k电介质集成
机译:毫米波区域中夹层型介电基板的电导率评价及铜包层电介质基板的比较
机译:无障碍电介质的开发及其与铜的集成,用于纳米器件布线。
机译:铜基和纸基摩擦材料的摩擦磨损特性比较
机译:不同介电液体铜和石墨电极电气放电后AISI 304L的加工和表面特性