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机译:氢原子对45nm节点的多孔低k电介质的影响
Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc., 16-1 Onogawa, Tsukuba, Ibaraki, 305-8569, Japan;
ash; Low-k; hydrogen; catalyzer;
机译:具有极低k多孔SiOCH电介质的32 nm节点BEOL集成k = 2.3
机译:低于45 nm技术节点的多孔超低k电介质的侧壁修复
机译:在充分考虑了基板影响的情况下,通过纳米压痕法确定多孔低k介电薄膜的杨氏模量和屈服强度
机译:45纳米节点器件使用多层铜互连的低k(多孔PAr /多孔SiOC(k = 2.3 / 2.3))混合结构的粘合和粘合能提高的研究
机译:用于高级互连的多孔低k电介质的机械可靠性:多孔低k电介质的不稳定性机理及其通过惰性等离子体引发的骨架结构再聚合的介导研究。
机译:用于微和纳米电子应用的低k介电薄膜的热稳定性的宽带介电光谱表征
机译:超孔SiOCH低k材料中应力引起的泄漏电流与介电性能的相关性