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机译:磁控溅射放电的集成诊断
Center for Advanced Plasma Surface Technology, SungKyunKwan University, 300 Chun-Chun-Dong, Jangan-gu, Suwon 440-746, South Korea;
magnetron sputtering; fabry-perot; LIF; surface temperature; film structure;
机译:双极大功率脉冲磁控溅射放电的时间分辨Langmuir探针诊断
机译:磁控溅射溅射的激光诱导荧光诊断
机译:Ar-O-2-Ce反应磁控溅射溅射的结合光发射和共振吸收诊断
机译:磁控溅射中薄膜处理等离子体的综合诊断
机译:电子诊断磁控管放电
机译:放电功率和热处理对射频磁控溅射沉积磷酸钙涂层的影响
机译:从调制脉冲功率磁控溅射(MPPMS)到深振荡磁控溅射(DOMS)的延迟放电桥接两种溅射模式