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机译:硼掺杂多晶硅的反向退火
Department of Materials Science and Engineering, Hongik University, Seoul, 121-791, Korea;
doping; activation; reverse annealing; poly-si; TFT;
机译:强掺杂多晶硅/氮掺杂硅薄双层中的复杂硼重分布动力学
机译:氮对多晶硅/掺氮硅薄膜热处理过程中硼扩散的影响
机译:硼掺杂微晶氧化硅膜用作铸造多晶硅太阳能电池的背面场
机译:硼掺杂多晶硅的反向退火
机译:化学气相沉积硼掺杂多晶金刚石薄膜在硅和蓝宝石上的生长:生长,掺杂,金属化和表征
机译:PECVD对低温生长的掺硼氢化晶体硅的退火
机译:活化退火过程中P +掺杂的多晶硅/氮掺杂的硅双层中硼的复杂分布
机译:硼离子注入激光退火硅的热退火效应