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机译:在高纵横比通孔中提高电解质对硅基材料的润湿性对无空隙铜沉积的影响
Micromachines Centre, Nanyang Technological University, 50 Nanyang Avenue, Singapore 639798, Singapore;
through-wafer electroplating; wettability; surface treatment; deep reactive ion etching;
机译:研究用于改善高纵横比通孔电镀铜的硅基材料润湿性的表面处理工艺
机译:增强衬有LPCVD氮化硅或PE-ALD氮化钛的高纵横比硅通孔的可湿性,以进行无孔自底向上的铜电镀
机译:高压化学沉积,可无空隙地填充极高纵横比模板
机译:保形阻挡层/种子层沉积,用于高纵横比TSV的无孔电镀铜
机译:含硅化合物的化学和基于硅的微电子材料的分子方法。制备金属甲硅烷基络合物,研究亚烷基与硅烷之间的反应以及氧化钛薄膜的沉积。
机译:通过组合激光诱导的背面湿法蚀刻和激光诱导的化学液相沉积方法将耐用的微铜图案沉积到玻璃中
机译:使用新戊硅烷的硅基材料的化学气相沉积外延
机译:甲醇电解液中润湿的燃料箱材料的腐蚀/劣化